진공처리장치 document_id 1020050097642

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 밀폐수단은, 상기 게이트 밸브의 이동 궤적을 이탈하여사선방향구동하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 챔버 본체에는, 상기 챔버 본체의 상단면을 따라 연장 형성되며, 챔버 외측으로 돌출되는 하측 돌출부가 마련되고,상기 상부 커버에는, 상기 상부 커버의 하단면을 따라 연장 형성되며, 챔버 외측으로 돌출되는 상측 돌출부가 마련되며, 상기 밀폐수단에는, 상기 하측 돌출부와 밀착, 결합되는 하측 접촉면;과 상기 상측 돌출부와 밀착, 결합되는 상측 접촉면;이 형성되며, 상기 밀폐수단은 상기 하측 돌출부 및 상기 상측 돌출부와 동시에 밀착, 결합되어상기챔버의내부밀폐시키는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면이 빗면으로 형성되고, 상기 하측 돌출부 또는 상측 돌출부가 상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면과 대응되는빗면형성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면에 신축성이 있는 소재로 형성되어 마련되며, 상기 진공 챔버 내부의 밀폐를 보조하는 밀폐 보조구가적어도하나마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 6] 제3항에 있어서,상기 밀폐수단에는, 상기 밀폐수단과 결합되어 마련되며, 상기 밀폐수단을 사선 방향으로 이동시킬 수 있는밀폐수단구동부더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 밀폐수단 구동부는, 상기 밀폐수단의 하측 모서리 영역에 배치되며, 회전가능한 롤러;상기 롤로와 접촉하여 회전하며 상기 밀폐수단을 사선 방향으로 이동시키는 캠;을 포함하여구성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 밀폐수단 구동부에는, 상기 캠의 회전 반경을 제한하여 상기 밀폐수단의 사선 운동 범위를 제한하는캠회전 스토퍼더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 밀폐수단 구동부는, 상기 챔버 본체의 측면 중 상기 수평 구동부가 배치된측면사이의측면배치되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 수평 구동부는, 상기 상부 커버의 마주보는 양 측방에 상기 게이트 밸브의 구동 높이보다 높은 위치에 마련되며, 상기 상부 커버의 수평 이동 경로를 제공하는 상부커버 이동프레임;그 일측단은 상기 회전부에 결합되고, 타측단은 상기 상부커버 이동프레임 상에 결합되어 배치되며, 상기 상부 커버를 상기 상부커버 이동프레임을 따라 수평이동시키는 수평 구동수단;을 포함하여구성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 상부커버 이동프레임은, 그 상면에 상기 수평 구동수단의 타측단이 놓여지는 제1 수평프레임;과 상기 제1 수평프레임의 하부에 결합되어 상기 제1 수평프레임을 소정 높이에서 지지하는제1수직프레임구성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제1 수직프레임은, 상기 제1 수평프레임을 상기 상부 커버의 상단보다 높은위치지지하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 13] 제10항에 있어서,상기 수평 구동수단은, 상기 상부커버 이동프레임과 결합되어 상기 상부커버 이동프레임 상을 회전이동하는 롤링부;상기 롤링부를 상기 상부커버와 다른 높이에서 연결하는 수직 연결부;상기 롤링부를 회전시키는 동력을 제공하는 모터;를 포함하여구성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 14] 제10항에 있어서,상기 챔버 본체의 측방에 마련되며, 상기 상부커버 이동프레임에 의하여 수평 이동되는 상부 커버를 상기 챔버 본체 외측에서 수취하는지지프레임더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 지지프레임은, 상기 상부커버 이동프레임과 동일한 높이에 배치되며, 상기 상부커버 이동프레임이 연장되는 방향에서 상기 상부 커버의 수평 이동을 안내하는 제2 수평프레임;상기 제2 수평프레임을 상기 상부커버 이동프레임과 동일한 높이로 지지하는 제2 수직프레임;상기 제2 수평프레임의 챔버 측 일단에 마련되며, 상기 지지프레임을 상기 상부커버 이동프레임에 접근시킬 때 상기 제2 수평프레임과 상부커버 이동프레임 사이의 간극을 메우는 간극 메움수단;을 포함하여구성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 간극메움수단은, 상기 제2 수평프레임에 힌지 결합하여 회동가능한구조가지는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 간극메움수단에는, 상기 간극 메움수단을 상하 방향으로 이동시키는상하구동부더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 18] 제15항에 있어서,상기 제2 수직프레임의 하단에 마련되며, 상기 제2 수직프레임과 바닥면 사이의 마찰력을 감소시켜 제2 수직프레임의 수평이동을 돕는바퀴부더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 제2 수평 프레임 상으로 이동해온 상부커버와 결합하여 회전시키는회전부더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치.