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연마패드 제작용 장치 및 그 제조방법 그리고, 이를 이용한반도체 소자의 제조방법 document_id 1020050106562

출원번호
1020050106562
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 회전롤러 하부에 경화부가 더 구비되어 폴리머 기재에 인쇄되는연마슬러리경화하는것을특징으로 하는연마패드 자작용 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 회전롤러의 외부표면에는다수개의진공홀더구비되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 식각형 몰드판은 상기 회전롤러의 진공홀을 통한 진공압의 유무에 따라 상기 회전롤러에부착탈착되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 식각형 몰드판은 금속 에칭 기술을 적용하여제작되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 식각형 몰드판nan은판인것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,상기 식각형 몰드판은 100~2000㎛의두께가지는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 폴리머 기재는 pc(poly carbonate)필름인것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 제 1 프레스판을 하측으로 가압시,고온및진공조건하이루어지는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 18] 제 16 항에 있어서,상기 슬러리 공급부와 프레스 사이에는 폴리머 기재 상에 분사된 연마슬러리를 일정한 두께로 형성하기 위한경화롤러더구비되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 19] 제 16 항에 있어서,상기 프레스 우측에는 프레스의 가온 및 가압에 의해 성형된 연마패드를 냉각하기 위한냉각부더구비되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 냉각부는상온설정되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 21] 제 16 항에 있어서,상기 식각형 금형판nan은판인것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 22] 제 16 항에 있어서,상기 식각형 금형판은 100~2000㎛의두께가지는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치. [청구항 23] 제 16 항에 있어서,상기 폴리머 기재는 pc(poly carbonate)필름인것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
연마패드 제작용 장치에서 식각형 몰드판이 회전롤러에 부착되거나 탈착되는 방식은 무엇에 의해 결정되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    연마패드 제작용 장치에서 식각형 몰드판이 회전롤러에 부착되거나 탈착되는 결정 요인을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5에서 식각형 몰드판의 부착 및 탈착 방식에 관한 기술적 내용을 추출한다.

    • 상기 식각형 몰드판은 상기 회전롤러의 진공홀을 통한 진공압의 유무에 따라 상기 회전롤러에부착탈착되는것을특징으로 하는연마패드 제작용 장치
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에 직접적으로 대응하는 '진공압의 유무' 구절을 근거로 선택한다.

    • 진공홀을 통한 진공압의 유무에 따라 상기 회전롤러에부착탈착되는것
  4. 4논리 통합logical_integration

    회전롤러의 진공홀을 통해 발생하는 진공압의 존재 여부가 몰드판의 부착과 탈착을 결정한다는 논리를 구성한다.

    • 진공홀을 통한 진공압의 유무에 따라 상기 회전롤러에부착탈착되는것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    식각형 몰드판의 부착/탈착 결정 요인은 회전롤러의 진공홀을 통한 진공압의 유무임을 도출한다.

    • 진공홀을 통한 진공압의 유무에 따라 상기 회전롤러에부착탈착되는것
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 진공홀을 통한 진공압의 유무
최종 답변 (final_answer)
회전롤러의 진공홀을 통한 진공압의 유무
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 회전롤러에 구비된 진공홀과 진공압을 이용하여 식각형 몰드판을 용이하게 부착하거나 탈착할 수 있는 연마패드 제작 장치에 관한 것이다.