문맥 (context)
[청구항 1]
반도체를 제조하기 위한 수직형 확산장비의 보트에 웨이퍼를 반송하기 위해서 카세트가 놓여질 수 있도록 윗면이 평평한 형상을 하고 가장자리를 따라서 단차가 형성된 트랜스퍼 플래이트
상기 트랜스퍼 플래이트 가장자리의 모퉁이에 설치되어 후술되는 트랜스퍼 지붕을 지탱하는 트랜스퍼 기둥
상기 트랜스퍼 기둥과 연결되어 평평한 형상의 트랜스퍼 지붕
상기 트랜스퍼 플래이트에 형성된 구멍을 관통하여 설치된 카세트 센서
상기 트랜스퍼 플래이트에 놓여진 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정하는 카세트 클램프
로 이루어 트랜스퍼 스태이지에 에 있어서
상기 트랜스퍼 플래이트 상부에 설치된 카세트 이탈 감지센서와 정렬기를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 확산장비의 트랜스퍼 스태이지
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 트랜스퍼스태이지 두개를 상하로 적층하여2층구조로이루어진것을특징으로 하는반도체 확산장비의 트랜스퍼 스태이지.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 트랜스퍼스태이지 두개를 상하로 적층하여2층구조로이루어진것을특징으로 하는반도체 확산장비의 트랜스퍼 스태이지.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 확산장비의 트랜스퍼 스태이지에서 카세트를 고정하기 위해 수행되는 동작과 그 대상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation반도체 확산장비의 트랜스퍼 스태이지에서 카세트를 고정하기 위한 동작과 그 대상을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 카세트를 고정하는 구성요소인 카세트 클램프의 동작과 대상을 추출한다.
- 상기 트랜스퍼 플래이트에 놓여진 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정하는 카세트 클램프
-
3근거 선택
evidence_selection카세트 고정 동작(가압)과 대상(카세트의 상부에 형성된 단차)을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 트랜스퍼 플래이트에 놓여진 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정하는 카세트 클램프
-
4논리 통합
logical_integration카세트 클램프가 카세트 상부의 단차와 접촉하여 가압하는 동작을 통해 카세트를 고정함을 파악한다.
- 상기 트랜스퍼 플래이트에 놓여진 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정하는 카세트 클램프
-
5결론 도출
conclusion_formulation동작은 '단차와 접촉하여 가압'하는 것이며, 대상은 '카세트'이다.
- 상기 트랜스퍼 플래이트에 놓여진 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정하는 카세트 클램프
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 답변을 구성한다.
- 상기 트랜스퍼 플래이트에 놓여진 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정하는 카세트 클램프
최종 답변 (final_answer)
카세트 클램프가 카세트의 상부에 형성된 단차와 접촉하여 가압함으로써 카세트를 고정한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
트랜스퍼 스태이지 내에서 카세트 클램프를 이용하여 카세트 상부의 단차를 가압함으로써 카세트를 안정적으로 고정하는 기술적 구성을 나타낸다.