건식 세정장치 document_id 1020050109920

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 정화장치부는 이산화탄소에 포함된 유분을 흡착하는 흡착제를 이산화탄소에 혼합하는 흡착제 첨가부; 및상기 유분을 흡착한 흡착제를 필터링하는정화부를포함하는건식 세정장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 이온화부는 플라즈마를 이용하여캐리어 가스를이온화하는것을특징으로 하는건식 세정장치. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 이온화부에서 이온화된 캐리어 가스를 분기하여 노즐의 분사구 표면에 흐르도록 하는 분기관더 포함하는건식 세정장치. [청구항 5] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 캐리어 가스의 압력에 따라 정화장치부를 통해 정화된 이산화탄소의 유량을 제어하여 상기 미세조정밸브 측으로 보내는 에어 액츄에이터 밸브더 포함하는건식 세정장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 노즐은 공급되어진 이산화탄소를 단열 팽창시켜 드라이아이스를 생성하고, 그 드라이아이스와 캐리어 가스를 혼합하는 혼합챔버; 상기 혼합챔버에서 캐리어 가스에 의해 운반되는 드라이아이스의 입경을 증가시킴과 아울러 그 드라이아이스의 경도를 증가시켜 분사하는 분사부; 및결로방지가스를 상기 분사부의 표면에 흐르게 하여 분사부의 결로를 방지하는 결로 방지기재포함하는건식 세정장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 혼합챔버는 이산화탄소를 유입받는 유입부;상기 유입부로 유입된 이산화탄소를 단열 팽창시켜 드라이아이스 입자를 생성하는 드라이아이스 생성부; 및캐리어 가스 유입구를 구비하여 상기 드라이아이스 생성부에서 생성된 드라이아이스와 혼합하는 혼합부포함하는건식 세정장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 드라이아이스 생성부는 상기 유입부에 유입된 이산화탄소를 가압하는 다수의 미세 오리피스; 및상기 다수의 미세 오리피스 각각을 통해 가압된 이산화탄소를 단열팽창시키는 다수의 단열팽창관포함하는건식 세정장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 미세 오리피스의 직경은 0.1 내지 0.35mm, 그 길이는 0.2 내지 0.5mm이며, 상기 단열팽창관의 직경은 1.2 내지 1.5mm, 그 길이는40내지인것을특징으로 하는건식 세정장치. [청구항 10] 제7항에 있어서,상기 혼합부는 캐리어가스가 유입되는 부분의 직경에 비하여 상기 드라이아이스 생성부의 출력단측의 직경이 점차 작아지는경사면구비하는것을특징으로하는건식 세정장치. [청구항 11] 제6항에 있어서,상기 분사부는 혼합챔버에서 공급되는 드라이아이스의 균일도를 향상시키는 버퍼부; 및상기 버퍼부에서 균일도가 증가된 드라이아이스를 공급받아 단열팽창시켜 그 드라이아이스의 입경을 증가시킴과 아울러 경도를 증가시키는 최종분사부포함하는건식 세정장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 버퍼부는 혼합챔버의 출력관의 직경에 비해 상대적으로 더 큰 직경의 관이며, 내부 중앙에버퍼핀마련되는것을특징으로 하는건식 세정장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 최종분사부는 버퍼부에서 공급되는 드라이아이스 입자를 가압하는 다수의 오리피스; 및상기 다수의 오리피스에서 가압된 드라이아이스 입자를 단열팽창시켜 세정대상물로 분사하는 분사구포함하는건식 세정장치. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 최종분사부는 버퍼부에서 공급되는 드라이아이스 입자를 가압하고, 외부에서 단열팽창 되도록 하는 슬릿형 분사구포함하는건식 세정장치. [청구항 15] 제6항에 있어서,상기 결로 방지기재는 상기 분사부의 외경과는 유격이 있는 상태로 밀폐되며, 결로방지 가스가 그 유격으로 유입되고, 유입된 결로방지가스가 외부로 유출될 수 있는유입구와유출구구비하는것을특징으로 하는건식 세정장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 결로방지가스는 분기되어 유입되는캐리어가스인것을특징으로 하는건식 세정장치.