문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 금속패턴을 형성하는 공정과 상기 리플로우 공정의 사이에 반도체층의 일부를 에칭하는 공정포함하는포토마스크.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 포토마스크는,상기반투명부와상기차광부이외투명부를가지는포토마스크.
[청구항 4]
제1항에 있어서,반투명부의 면적이,차광부의면적이상인것을특징으로 하는포토마스크.
[청구항 5]
제1항에 있어서,반투명부의 노광 빛에 대한 투과율이, 10％이상이하인것을특징으로 하는포토마스크.
[청구항 6]
제1항에 있어서,반투명부가, 투명기판 위에 형성된 탄탈을 주성분으로 하는 반투명막에 의해 형성되고, 차광부가, 투명기판 위에 성막된 탄탈 반투명막 위에 또한 크롬을 주성분으로 하는 막이 적층된 다층막에 의해형성되는것을특징으로 하는포토마스크.
[청구항 7]
제1항에 있어서,반투명부가, 투명기판 위에 형성된 몰리브덴 실리사이드를 주성분으로 하는 막에 의해 형성되고, 차광부가, 기판 위에 성막된 몰리브덴 실리사이드 반투명막 위에 또한 크롬을 주성분으로 하는 막이 적층된 다층막에 의해형성되는것을특징으로 하는포토마스크.
[청구항 8]
제1항에 있어서,반투명부가, 투명기판 위에 형성된 크롬을 주성분으로 하는 막에 의해 형성되고, 차광부가, 기판 위에 성막된 크롬 반투명막 위에 중간막을 끼우고, 또한 크롬을 주성분으로 하는 막이 적층된 다층막에 의해형성되는것을특징으로 하는포토마스크.
[청구항 9]
제8항에 있어서,중간막이, 산화규소, 질화규소, 질화산화규소, 산화알루미늄, 산화하프늄, 산화지르코늄, 산화탄탈, 산화몰리브덴, 산화탄탈 실리사이드, 산화몰리브덴 실리사이드, 불화크롬, 불화산화크롬, 산화주석, 산화인듐, 산화인듐주석, 산화아연 중 하나로부터 되는 막 또는 다수가 조합된혼합막인것을특징으로 하는포토마스크.
[청구항 10]
제6항에 있어서,반투명막 위에 적층된 크롬을 주성분으로 하는 막이, 질화크롬을 주성분으로 하는 제1막과, 산화크롬 또는 산화질화크롬을 주성분으로 하는제2막으로이루어지는것을특징으로 하는포토마스크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
탄탈을 주성분으로 하는 반투명막을 포함하는 포토마스크에서, 차광부를 형성하기 위해 탄탈 반투명막 위에 적층되는 막의 구성 성분은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation탄탈을 주성분으로 하는 반투명막 위에 적층되어 차광부를 형성하는 막의 구성 성분을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 탄탈을 주성분으로 하는 반투명막과 그 위에 적층되는 막에 대한 정보를 추출한다.
- 반투명부가, 투명기판 위에 형성된 탄탈을 주성분으로 하는 반투명막에 의해 형성되고, 차광부가, 투명기판 위에 성막된 탄탈 반투명막 위에 또한 크롬을 주성분으로 하는 막이 적층된 다층막에 의해형성되는것을특징으로 하는포토마스크
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '탄탈 반투명막 위에 적층되는 막'의 성분이 명시된 구절을 선택한다.
- 탄탈 반투명막 위에 또한 크롬을 주성분으로 하는 막이 적층된
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4논리 통합
logical_integration탄탈 반투명막 위에 적층되어 차광부를 구성하는 막의 주성분이 크롬임을 확인한다.
- 탄탈 반투명막 위에 또한 크롬을 주성분으로 하는 막이 적층된
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5결론 도출
conclusion_formulation적층되는 막의 구성 성분은 크롬임을 결론짓는다.
- 크롬을 주성분으로 하는 막
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6답변 생성
answer_generation추출된 성분인 '크롬'을 최종 답변으로 생성한다.
- 크롬
최종 답변 (final_answer)
크롬
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 탄탈을 주성분으로 하는 반투명막 위에 크롬을 주성분으로 하는 막을 적층하여 차광부를 형성하는 포토마스크 구조에 관한 것이다.