문맥 (context)
[청구항 7]
기판;
상기 기판 표면 상의 제1 영역에 제작된 제1 회로 소자
상기 기판 표면 상의 제2 영역에 제작된 제2 회로 소자
및,
상기 기판 표면 상에서 상기 제1 영역 및 제2 영역을 가로지르며, 양 단이 상기 기판에 의해 폐쇄된 형태로 식각 제조되어, 상기 제1 회로 소자 및 상기 제2 회로 소자를 격리시키는 에어 캐비티
를 포함하며,
상기 제1 회로 소자는 에어갭형 fbar(airgap type film bulk acoustic resonator)이고, 상기 제2 회로 소자는 rfic(radio frequency integrated circuit)인 것을 특징으로 하는 시스템 온 칩 구조물
[청구항 11]
기판;
상기 기판의 일 표면 상의 소정의 제1 영역에 제작된 송신단 필터
상기 기판의 일 표면 상의 소정의 제2 영역에 제작된 수신단 필터
및,
상기 기판 표면 상에서 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역을 가로지르며, 양 단이 상기 기판에 의해 폐쇄된 형태로 식각 제조되어, 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터를 격리시키는 에어 캐비티
를 포함하며,
상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은,
상기 기판 상에 형성된 에어갭, 상기 에어갭 상측에 형성되는 하부전극, 압전층 및 상부전극을 포함하며,
상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 중 하나는,
상부전극 상에 형성된 튜닝층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서
[청구항 12]
기판;
상기 기판의 일 표면 상의 소정의 제1 영역에 제작된 송신단 필터
상기 기판의 일 표면 상의 소정의 제2 영역에 제작된 수신단 필터
및,
상기 기판 표면 상에서 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역을 가로지르며, 양 단이 상기 기판에 의해 폐쇄된 형태로 식각 제조되어, 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터를 격리시키는 에어 캐비티
를 포함하며,
상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은,
복수 개의 에어갭형 직렬 공진기;
상기 복수 개의 에어갭형 직렬 공진기에 각각 연결되는 복수 개의 에어갭형 병렬 공진기
및,
상기 복수 개의 에어갭형 병렬 공진기와 연결된 트리밍 인덕터
를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은, 상기 복수 개의 에어갭형 직렬 공진기 중 최후단 직렬 공진기의 일측 노드에 연결된병렬공진기더포함하는것을특징으로 하는듀플렉서.
[청구항 14]
기판;
상기 기판의 일 표면 상의 제1 영역에 제작된 송신단 필터
상기 기판의 일 표면 상의 제2 영역에 제작된 수신단 필터
및,
상기 기판 표면 상에서 상기 제1 영역 및 제2 영역을 가로지르며, 적어도 하나의 지점에서 상기 제1 영역 및 제2 영역이 연결되는 점선 형태를 이루도록 식각 제조되어, 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터를 격리시키는 에어 캐비티
를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은,상기 기판 상에 형성된 에어갭, 상기 에어갭 상측에 형성되는 하부전극, 압전층 및 상부전극을 포함하며, 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 중 하나는, 상부전극 상에 형성된튜닝층더포함하는것을특징으로 하는듀플렉서.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은, 복수 개의 에어갭형 직렬 공진기;상기 복수 개의 에어갭형 직렬 공진기에 각각 연결되는 복수 개의 에어갭형 병렬 공진기; 및,상기 복수 개의 에어갭형 병렬 공진기와 연결된트리밍인덕터포함하는것을특징으로 하는듀플렉서.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은, 상기 복수 개의 에어갭형 직렬 공진기 중 최후단 직렬 공진기의 일측 노드에 연결된병렬공진기더포함하는것을특징으로 하는듀플렉서.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 11항 및 15항에 기재된 듀플렉서의 구성 요소 중, 송신단 필터와 수신단 필터 중 어느 하나에만 추가적으로 포함될 수 있는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 11항과 15항을 분석하여 송신단 필터와 수신단 필터 중 어느 하나에만 추가될 수 있는 구성 요소를 찾아야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 11항에서 필터의 공통 구성(에어갭, 하부전극, 압전층, 상부전극)과 선택적 구성(튜닝층)을 추출한다.
- 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 각각은, 상기 기판 상에 형성된 에어갭, 상기 에어갭 상측에 형성되는 하부전극, 압전층 및 상부전극을 포함하며, 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 중 하나는, 상부전극 상에 형성된 튜닝층을 더 포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection청구항 15항에서도 동일한 선택적 구성이 명시되어 있는지 확인한다.
- 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 중 하나는, 상부전극 상에 형성된 튜닝층을 더 포함하는
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4논리 통합
logical_integration두 청구항 모두 '송신단 필터 및 수신단 필터 중 하나는, 상부전극 상에 형성된 튜닝층을 더 포함한다'고 기술하고 있다.
- 상기 송신단 필터 및 상기 수신단 필터 중 하나는, 상부전극 상에 형성된 튜닝층을 더 포함하는
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5결론 도출
conclusion_formulation따라서 두 필터 중 하나에만 추가될 수 있는 구성은 '상부전극 상에 형성된 튜닝층'이다.
- 상부전극 상에 형성된 튜닝층
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변으로 튜닝층을 제시한다.
- 상부전극 상에 형성된 튜닝층
최종 답변 (final_answer)
상부전극 상에 형성된 튜닝층
핵심 해석 (core_interpretation)
듀플렉서의 송신단 및 수신단 필터는 기본적으로 동일한 구조를 가지나, 특정 필터 하나에만 상부전극 상의 튜닝층을 추가하여 구성할 수 있다.