문맥 (context)
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 프로브가 석영사파이어로 이루어지는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 프로브가, 석영 또는 사파이어로 이루어지는 코어와, 상기 코어의 주위면을 둘러싸는 클래드갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 프로브가 차광성의 피막갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 12]
제 8 항에 있어서,상기 프로브가, 일체로 묶여진 복수개의 광 화이버와, 그들의 광 화이버 주위를 둘러싸는 내열성의 비금속부재갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 비금속부재가폴리이미드로 이루어지는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 14]
제 8 항에 있어서,상기 절연관이 석영사파이어로 이루어지는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 15]
제 8 항에 있어서,상기 프로브의 선단부에, 소망하는 방향으로부터의 상기 플라즈마 광을 반사하여 상기 프로브의 수광면에 입사시키기 위한 미러마련하는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 16]
제 15 항에 있어서,상기 미러의 반사면이알루미늄으로 이루어지는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 17]
제 15 항에 있어서,상기 프로브의 선단부에 상기 수광면과 상기 미러를 포위하는 차광부재를 부착하고, 상기 차광부재에 상기 소망하는 방향으로부터의 플라즈마 광을 상기 미러를 향하여 통과시키기 위한 창마련하는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 18]
제 17 항에 있어서,상기 프로브의 수광면의 법선이 축방향에 대하여 상기 창측으로 소정의 각도만큼 기울도록, 상기 프로브의 단부를 비스듬하게 컷트하는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 19]
제 8 항에 있어서,상기 챔버의 측벽에 서로 대향하여 마련한 제 1 지지부와 제 2 지지부 사이에상기절연관을실질적걸쳐놓은플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 20]
제 8 항에 있어서,상기 프로브를 축방향으로 이동시키기 위한 엑츄에이터갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 21]
제 8 항에 있어서,상기 프로브의 수광면의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 수단갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 22]
제 8 항에 있어서,상기 계측부가, 상기 프로브의 타 단면으로부터 출사된 광으로부터 소정 파장의 스펙트럼을 취출하기 위한 분광부와, 상기 분광부에 의해 출력된 상기 스펙트럼의 강도를 측정하는 스펙트럼 강도 측정부갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 23]
제 8 항에 있어서,상기 프로브의 타 단면으로부터 방사된 광을 소망하는 개구수로 수광하여 상기 계측부로 유도하는 다발 화이버갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 25]
제 24 항에 있어서,상기 챔버의 직경방향으로 신축 가능하게 마련되고, 상기 개구부의 밖에서 상기 프로브 주위에 밀폐의 공간을 형성하는 벨로우즈와, 상기 밀폐 공간내를 감압하는 배기부갖는플라즈마 모니터링 장치.
[청구항 26]
제 25 항에 있어서,상기 밀폐 공간내에서 상기 프로브를 소정의 온도로 가열하기 위한 가열부갖는플라즈마 모니터링 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 모니터링 장치에서 프로브의 선단부에 마련된 미러를 통해 플라즈마 광을 수광면에 입사시키기 위해 구성되는 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 광을 미러를 통해 수광면에 입사시키기 위해 구성되는 요소들을 청구항 문맥에서 찾아 목록화해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 15항에서 미러의 목적이 플라즈마 광을 반사하여 수광면에 입사시키는 것임을 확인하고, 청구항 17항에서 이와 관련된 추가 구성요소를 추출한다.
- 상기 프로브의 선단부에, 소망하는 방향으로부터의 상기 플라즈마 광을 반사하여 상기 프로브의 수광면에 입사시키기 위한 미러마련
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3근거 선택
evidence_selection미러와 함께 플라즈마 광을 미러로 통과시키기 위해 구성되는 차광부재와 창에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 프로브의 선단부에 상기 수광면과 상기 미러를 포위하는 차광부재를 부착하고, 상기 차광부재에 상기 소망하는 방향으로부터의 플라즈마 광을 상기 미러를 향하여 통과시키기 위한 창마련
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4논리 통합
logical_integration미러를 통해 광을 입사시키기 위해서는 미러 자체뿐만 아니라, 광을 미러로 유도하기 위한 차광부재와 창이 함께 구성됨을 파악한다.
- 상기 프로브의 선단부에 상기 수광면과 상기 미러를 포위하는 차광부재를 부착하고, 상기 차광부재에 상기 소망하는 방향으로부터의 플라즈마 광을 상기 미러를 향하여 통과시키기 위한 창마련
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 구성 요소는 미러, 차광부재, 그리고 창이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
미러, 차광부재, 창
핵심 해석 (core_interpretation)
플라즈마 모니터링 장치의 프로브 선단부에서 미러를 이용해 플라즈마 광을 효율적으로 수광하기 위해, 미러와 더불어 광을 유도하는 창 및 이를 포위하는 차광부재가 결합된 구조를 의미한다.