문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 패터닝장치는 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이를 포함하고;상기 그레이 스케일 모듈레이터는 상기 투영시스템에서의 오차들의 영향을 보상하기 위하여 상기 어레이의 개별적으로 제어가능한 요소들 중 적어도 몇몇에 의해 투과되는 방사선의 세기를 변화시키도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 투영시스템은 상기 기판의 타겟부상에 이미지 스폿들을 생성시키는마이크로 렌즈 어레이포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 그레이 스케일 모듈레이터는상기마이크로 렌즈 어레이의위치오차보정하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 그레이 스케일 모듈레이터는상기마이크로 렌즈 어레이의배율오차들보정하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 6]
제3항에 있어서,상기 오차 보상기는 상기 마이크로 렌즈 어레이 이미지 스폿들의 위치설정의 오차들을 모니터링하는센서어레이포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 센서 어레이는포토다이오드어레이포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 8]
제3항에 있어서,상기 오차 보상기는, 상기 마이크로 렌즈 어레이의 이미지 스폿들의 위치 및 상기 이미지 스폿들의 위치설정에서의 오차의 함수로서세기보정매트릭스결정하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 패터닝장치는상기조명시스템과상기기판사이의방사선빔의광학경로배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 패터닝된 빔의 상기 기판의 타겟부상으로의 투영시 상기 기판을 지지하는 기판테이블을 이동시키는스캐닝시스템더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 패터닝장치는 팽행한 행들로 배치되는 제어가능한 요소들의 어레이를 포함하고; 상기 스캐닝 시스템은 상기 행들에 대해 경사진 스캐닝 방향으로상기기판테이블이동시키는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 빔은 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이를 사용하여 패터닝되고;상기 투영시스템에서의 오차들의 영향을 보상하기 위하여, 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이 중 적어도 몇개의 제어가능한 요소들에 의해 투과되는방사선의세기변화되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 14]
제12항에 있어서,상기 투영시스템의 마이크로 렌즈 어레이를 사용하여 상기 기판의 타겟부상에 이미지 스폿들을 생성시키는단계더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이의 부분들의 위치 오차들을 보정하는단계더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 16]
제14항에 있어서,상기 마이크로 렌즈 어레이의 부분들의 배율 오차들을 보정하는단계더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 17]
제12항에 있어서,상기 기판의 타겟부상으로의 상기 빔의 투영시 상기 기판을 지지하는 기판테이블을 이동시키는단계더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 18]
제17항에 있어서,상기 패터닝장치는 평행한 행들로 배치되는 제어가능한 요소들의 어레이를 포함하고;상기 기판테이블은, 상기 기판의 타겟부상으로의 상기 빔의 투영시 상기 행들에 대해 경사진스캐닝방향이동되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그래피 장치에서 그레이 스케일 모듈레이터가 투영시스템의 오차를 보상하기 위해 수행하는 구체적인 동작과, 이를 위해 보정의 근거로 사용되는 함수 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation그레이 스케일 모듈레이터의 구체적인 동작 방식과 보정의 근거가 되는 함수 요소를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction모듈레이터는 어레이의 요소들에 의해 투과되는 방사선의 세기를 변화시키며, 보정은 이미지 스폿의 위치 및 위치 설정 오차의 함수로 결정된다.
- 상기 마이크로 렌즈 어레이의 이미지 스폿들의 위치 및 상기 이미지 스폿들의 위치설정에서의 오차의 함수로서세기보정매트릭스결정하는것
-
3근거 선택
evidence_selection동작 방식에 관한 청구항 2와 보정 근거 함수에 관한 청구항 8의 내용을 선택한다.
- 상기 마이크로 렌즈 어레이의 이미지 스폿들의 위치 및 상기 이미지 스폿들의 위치설정에서의 오차의 함수로서세기보정매트릭스결정하는것
-
4논리 통합
logical_integration모듈레이터는 방사선 세기를 조절하여 오차를 보상하며, 이때 세기보정매트릭스는 이미지 스폿의 위치와 위치 설정 오차를 함수 요소로 사용하여 결정된다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 동작 방식(방사선 세기 변화)과 함수 요소(이미지 스폿의 위치 및 위치 설정 오차)를 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
그레이 스케일 모듈레이터는 투영시스템의 오차를 보상하기 위해 어레이의 개별적으로 제어가능한 요소들 중 적어도 몇몇에 의해 투과되는 방사선의 세기를 변화시키는 동작을 수행한다. 이를 위한 보정의 근거로 사용되는 함수 요소는 마이크로 렌즈 어레이 이미지 스폿들의 위치 및 이미지 스폿들의 위치설정에서의 오차이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
그레이 스케일 모듈레이터가 방사선 세기 조절을 통해 투영시스템의 위치 및 배율 오차를 보상하며, 이미지 스폿의 위치 관련 데이터를 기반으로 세기보정매트릭스를 결정하는 기술에 관한 것이다.