기판 처리장치 document_id 1020050126839

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 기판 처리부는 2개의 영역으로 구분되어, 상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부를 대향시켜 한쪽의 영역에 제1 처리부를 배치하고, 다른쪽의 영역에제2처리부배치시키는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 2개 영역의 사이에 격벽(隔壁더구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 제1 처리부는,수직자세인 복수 매의 기판에 대해서 처리액에 의한 처리를 행하는 처리액 처리부와,상기 처리액 처리부에서 처리된 수직자세인 복수 매의 기판을 건조하는 건조처리부와,상기 반송기구와의 사이에서 기판의 수수(授受)가 가능하고, 복수 매의 기판에 대해서 수평자세와 수직자세와의 사이에서 일괄해서 자세의 변환을 행하는 자세 변환기구와,상기 자세 변환기구와의 사이에서 복수 매의 기판의 수수가 가능하고, 상기 처리액 처리부와 상기 건조처리부와의 사이에서 기판의 반송을 행하는제1처리부용반송기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 제2 처리부는, 기판을 1매씩 처리하는 매엽(枚葉)처리부와, 상기 반송기구와 상기 매엽처리부와의 사이에서 기판의 반송을 행하는제2처리부용반송기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 6] 제 4 항에 있어서,상기 제1 처리부가 구비하는 상기 자세 변환기구는, 제1 자세 변환기구이며,상기 기판 처리부를 사이에 둔 상기 반송기구측과는 반대측에 배치되어, 상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부와의 사이에서 기판의 반송을 행하고, 또 복수 매의 기판에 대해서 수평자세와 수직자세와의 사이에서 일괄해서 자세의 변환을 행하는제2자세변환기구더구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 반송기구는, 상기 제1 처리부에서 처리된기판을상기제2처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 반송기구는, 상기 제2 처리부에서 처리된기판을상기제1처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제2 처리부는, 상기 제1 처리부와 상기 수용부와의 사이에 배치되고,상기 반송부는, 상기 제1 처리부와 상기 수용부와의 사이에서, 상기 제2 처리부에 대향하는위치배치되는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 제1 처리부, 상기 제2 처리부 및 상기 수용부는, 기판 처리장치의 장변(長邊)에 따라순차배치되는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 제2 처리부가 행하는 세정 처리는, 적어도 기판 이면(裏面)의 주연부를세정하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 제2 처리부는, 또 기판 단위로에칭 처리행하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 15] 제 9 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제2 처리부에서상기제1처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 16] 제 9 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제1 처리부에서상기제2처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 17] 제 9 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 수납기에서 상기 제2 처리부로 기판을 반송하고, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제2 처리부에서 상기 제1 처리부로 반송하며, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제1 처리부에서상기수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 18] 제 9 항에 있어서,상기 반송부는 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 반송부용 반송기구를 갖고,상기 제2 처리부는,기판을 1매씩 세정 및 건조하는 매엽처리부와,복수 매의 기판을 재치하는 제2 처리부용 기판재치부와,상기 매엽처리부와 상기 제2 처리부용 기판재치부와의 사이에서 기판을 1매씩 반송하는 제2 처리부용 반송기구를 구비하고,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제2 처리부용 기판재치부에 대해서 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고,또집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 제2 처리부용 기판재치부는,상기 매엽처리부에서 처리가 행하여지기 전의 복수 매의 기판을 재치하는 처리 전(前) 기판재치부와,상기 매엽처리부에서 처리가 행하여진 후의 복수 매의 기판을 재치하는 처리 후(後) 기판재치부를 구비하고,상기 제2 처리부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에서 상기 매엽처리부로 기판을 1매씩 반송하고, 또 상기 매엽처리부에서 상기 처리 후 기판재치부로 기판을 1매씩 반송하며,상기 반송부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고, 또 상기 처리 후 기판재치부에서복수매의기판을일괄집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 반송부용 반송기구로 반송 가능한 기판의 매수가 n매인 경우, 상기 처리 전 기판재치부 및 상기 처리 후 기판재치부는 n의정수배의매수의기판을재치가능한것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 21] 제 19 항에 있어서,엽처리부는, 복수 열(列) 또한 복수 단(段)으로 배치된 복수의 처리유닛을 갖고 있고, 상기 제2 처리부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에서 상기 각 처리유닛으로 기판을 1매씩 반송하며, 또 상기 각 처리유닛에서 상기 처리 후 기판재치부로기판을1매씩반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 22] 제 9 항에 있어서,상기 반송부는, 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 반송부용 반송기구를 갖고,상기 제1 처리부는,복수 매의 기판을 일괄해서 액(液)처리 및 건조 처리를 행하는 복수개의 일괄처리부와,복수 매의 기판을 재치하는 제1 처리부용 기판재치부와,상기 일괄처리부와 상기 제1 처리부용 기판재치부와의 사이에서 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 제1 처리부용 반송기구를 구비하고,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부에 대해서 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고,또집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부와 수평자세로 기판의 수수(授受)를 행하고,상기 제1 처리부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부와 수직자세로 기판의 수수(授受)를 행하며,상기 제1 처리부용 기판재치부는, 상기 반송부용 반송기구와 상기 제1 처리부용 반송기구와의 사이에서, 복수 매의 기판의 자세를 일괄해서 수평자세와 수직자세와의사이변환하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 24] 제 9 항에 있어서,상기 제2 처리부 및 상기 반송부와, 상기 수용부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 수용부에 수용되는 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 통과구가 형성된 격벽과,상기 격벽의 통과구를 개폐하는 셔터부재를 구비하고,상기 반송부는 상기 격벽의 통과구를 통해서, 상기 수용부에 수용되는 수납기에 대해서기판을반입반출하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,수납기는, 일측면에 개구가 형성되는 동시에, 상기 개구를 폐색(閉塞)하는 덮개를 구비하고,상기 셔터부재는 상기 수용부에 수용되는 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는탈착유지기구구비하고있는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 28] 제 26 항에 있어서,상기 제2처리부가 행하는 세정 처리는, 적어도 기판 이면의 주연부(周緣部세정하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 29] 제 26 항에 있어서,상기 제2 처리부는, 또 기판 단위로에칭 처리행하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 30] 제 26 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제2 처리부에서상기제1처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 31] 제 26 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제1 처리부에서상기제2처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 32] 제 26 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 수납기에서 상기 제2 처리부로 기판을 반송하고, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제2 처리부에서 상기 제1 처리부로 반송하며, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제1 처리부에서상기수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 33] 제 26 항에 있어서,상기 반송부는 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 반송부용 반송기구를 갖고,상기 제2 처리부는,기판을 1매씩 세정 및 건조하는 매엽처리부와,복수 매의 기판을 재치하는 제2 처리부용 기판재치부와,상기 매엽처리부와 상기 제2 처리부용 기판재치부와의 사이에서 기판을 1매씩 반송하는 제2 처리부용 반송기구를 구비하고,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제2 처리부용 기판재치부에 대해서 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고,또집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 34] 제 33 항에 있어서,상기 제2 처리부용 기판재치부는,상기 매엽처리부에서 처리가 행하여지기 전의 복수 매의 기판을 재치하는 처리 전 기판재치부와,상기 매엽처리부에서 처리가 행하여진 후의 복수 매의 기판을 재치하는 처리 후 기판재치부를 구비하고,상기 제2 처리부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에서 상기 매엽처리부에 기판을 1매씩 반송하고, 또 상기 매엽처리부에서 상기 처리 후 기판재치부에 기판을 1매씩 반송하며,상기 반송부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고, 또 상기 처리 후 기판재치부에서복수매의기판을일괄집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,상기 반송부용 반송기구로 반송 가능한 기판의 매수가 n매인 경우, 상기 처리 전 기판재치부 및 상기 처리 후 기판재치부는 n의정수배의매수의기판을재치가능한것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 36] 제 34 항에 있어서,엽처리부는, 복수 열 또한 복수 단으로 배치된 복수의 처리유닛을 갖고 있고, 상기 제2 처리부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에서 상기 각 처리유닛에 기판을 1매씩 반송하며, 또 상기 각 처리유닛에서 상기 처리 후 기판재치부로기판을1매씩반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 37] 제 26 항에 있어서,상기 반송부는, 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 반송부용 반송기구를 갖고,상기 제1 처리부는,복수 매의 기판을 일괄해서 액(液)처리 및 건조 처리를 행하는 복수개의 일괄처리부와,복수 매의 기판을 재치하는 제1 처리부용 기판재치부와,상기 일괄처리부와 상기 제1 처리부용 기판재치부와의 사이에서 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 제1 처리부용 반송기구를 구비하고,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부에 대해서 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고,또집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부와 수평자세로 기판의 수수를 행하고,상기 제1 처리부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부와 수직자세로 기판의 수수를 행하며,상기 제1 처리부용 기판재치부는, 상기 반송부용 반송기구와 상기 제1 처리부용 반송기구와의 사이에서, 복수 매의 기판의 자세를 일괄해서 수평자세와 수직자세와의사이변환하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 41] 제 39 항에 있어서,상기 제2 처리부가 행하는 세정 처리는, 적어도 기판 이면의 주연부를세정하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 42] 제 39 항에 있어서,상기 제2 처리부는, 또 기판 단위로에칭 처리행하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 43] 제 39 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제2 처리부에서상기제1처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 44] 제 39 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제1 처리부에서상기제2처리부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 45] 제 39 항에 있어서,상기 반송부는, 상기 수납기에서 상기 제2 처리부로 기판을 반송하고, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제2 처리부에서 상기 제1 처리부로 반송하며, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 상기 제1 처리부에서상기수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 46] 제 39 항에 있어서,상기 반송부는 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 반송부용 반송기구를 갖고,상기 제2 처리부는,기판을 1매씩 세정 및 건조하는 매엽처리부와,복수 매의 기판을 재치하는 제2 처리부용 기판재치부와,상기 매엽처리부와 상기 제2 처리부용 기판재치부와의 사이에서 기판을 1매씩 반송하는 제2 처리부용 반송기구를 구비하고,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제2 처리부용 기판재치부에 대해서 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고,또집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 47] 제 46 항에 있어서,상기 제2 처리부용 기판재치부는,상기 매엽처리부에서 처리가 행하여지기 전의 복수 매의 기판을 재치하는 처리 전 기판재치부와,상기 매엽처리부에서 처리가 행하여진 후의 복수 매의 기판을 재치하는 처리 후 기판재치부를 구비하고,상기 제2 처리부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에서 상기 매엽처리부로 기판을 1매씩 반송하고, 또 상기 매엽처리부에서 상기 처리 후 기판재치부로 기판을 1매씩 반송하며,상기 반송부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고, 또 상기 처리 후 기판재치부로부터복수매의기판을일괄집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 48] 제 47 항에 있어서,상기 반송부용 반송기구로 반송 가능한 기판의 매수가 n매인 경우, 상기 처리 전 기판재치부 및 상기 처리 후 기판재치부는 n의정수배의매수의기판을재치가능한것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 49] 제 47 항에 있어서,엽처리부는, 복수 열 또한 복수 단으로 배치된 복수의 처리유닛을 갖고 있고, 상기 제2 처리부용 반송기구는, 상기 처리 전 기판재치부에서 상기 각 처리유닛에 기판을 1매씩 반송하며, 또 상기 각 처리유닛에서터 상기 처리 후 기판재치부로기판을1매씩반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 50] 제 39 항에 있어서,상기 반송부는, 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 반송부용 반송기구를 갖고,상기 제1 처리부는,복수 매의 기판을 일괄해서 액처리 및 건조 처리를 행하는 복수개의 일괄처리부와,복수 매의 기판을 재치하는 제1 처리부용 기판재치부와,상기 일괄처리부와 상기 제1 처리부용 기판재치부와의 사이에서 복수 매의 기판을 일괄해서 반송하는 제1 처리부용 반송기구를 구비하고,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부에 대해서 복수 매의 기판을 일괄해서 재치하고,또집어내는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 51] 제 50 항에 있어서,상기 반송부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부와 수평자세로 기판의 수수를 행하고,상기 제1 처리부용 반송기구는, 상기 제1 처리부용 기판재치부와 수직자세로 기판의 수수를 행하며,상기 제1 처리부용 기판재치부는, 상기 반송부용 반송기구와 상기 제1 처리부용 반송기구와의 사이에서, 복수 매의 기판의 자세를 일괄해서 수평자세와 수직자세와의사이변환하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 53] 제 52 항에 있어서,상기 수납기 반송부는, 상기 제2 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 수납하는 수납기를, 상기 제2 재치부에서 상기 제1재치부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 54] 제 52 항에 있어서,상기 수납기 반송부는, 상기 제1 처리부에서 처리가 행하여진 기판을 수납하는 수납기를, 상기 제1 재치부에서 상기 제2재치부반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 55] 제 52 항에 있어서,상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부는,상기수용부의한쪽측나란히배치되어있는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 56] 제 52 항에 있어서,상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부는대향배치되어있는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 57] 제 52 항에 있어서,상기 수용부는, 복수개의 수납기를 재치하는 선반을 구비하고,상기 수납기 반송부는, 또 상기 선반에 대해서수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 58] 제 57 항에 있어서,상기 선반은, 상기 제1재치부와상기제2재치부와의사이의수납기의반송경로배치되는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 59] 제 57 항에 있어서,상기 선반은, 상기 수납기 반송부에 의한 수납기의 반송경로에 따라, 복수개의 수납기를 나열하여재치하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 60] 제 57 항에 있어서,상기 수납기 반송부는,상기 제1 재치부와 상기 선반과의 사이에서 수납기를 반송하는 제3 반송기구와,상기 제2 재치부와 상기 선반과의 사이에서 수납기를 반송하는제4반송기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 61] 제 60 항에 있어서,상기 제3 반송기구는, 상기 선반의 한쪽의 측에 따라 이동 가능함과 동시에 상기 선반의 한쪽의 측으로부터 수납기를 반입 및 반출하고,상기 제4 반송기구는, 상기 선반의 다른쪽의 측에 따라 이동 가능함과 동시에 상기 선반의 다른쪽의 측으로부터수납기를반입반출하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 62] 제 61 항에 있어서,상기제2 재치부는 복수개이며, 또 각각 상기 선반의 연장선 상에 배치되고,상기 제4 반송기구는, 상기 선반의 제1 처리부측과는 반대의 측에 따라이동하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 63] 제 52 항에 있어서,상기 수용부와 상기 제1 처리부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 제1 재치부에 재치된 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 제1 통과구가 형성된 제1 격벽과,상기 제1 격벽의 제1 통과구를 개폐하는 제1 셔터부재와,상기 수용부와 상기 제2 처리부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 제2 재치부에 재치된 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 제2 통과구가 형성된 제2 격벽과,상기 제2 격벽의 제2 통과구를 개폐하는 제2 셔터부재를 구비하고,상기 제1 반송기구는, 상기 제1 재치부에 재치된 수납기에 대해서 상기 제1 통과구를 통해서 복수 매의 기판을 반입 및 반출하고,상기 제2 반송기구는, 상기 제2 재치부에 재치된 수납기에 대해서 상기 제2 통과구를 통해서1매씩기판을반입반출하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 64] 제 63 항에 있어서,상기 수납기는, 일측면에 개구가 형성되는 동시에, 상기 개구를 폐색하는 덮개를 구비하고,상기 제1 셔터부재는, 상기 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는 제1 탈착 유지기구를 구비하며, 상기 제2 셔터부재는, 상기 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는제2탈착유지기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 65] 제 52 항에 있어서,상기 제1 처리부는, 복수 매의 기판에 세정 처리 및 건조 처리를 일괄해서 행하고,상기 제2 처리부는, 기판 단위로세정 처리및건조처리행하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 66] 제 65 항에 있어서,상기 제2 처리부가 행하는 세정 처리는, 적어도 기판 이면의 주연부를세정하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 68] 제 67 항에 있어서,상기제1 재치부와 상기 제2 재치부에 재치되는 수납기는, 수납기 중 기판을 출입하는면방향인것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 69] 제 67 항에 있어서,상기 수납기 반송부의 반송경로에 따라, 복수개의 수납기를 나열하여 재치하는 선반을 더 구비하고,상기 수납기 반송부는, 상기 선반에 대해서수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 70] 제 69 항에 있어서,상기 선반은, 상기 제1 처리부와 상기 제3 재치부와의 사이에서, 상기 제2 처리부와 대향하는위치설치되어있는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 71] 제 70 항에 있어서,상기 선반의 측단부의 한쪽측이, 상기 제1재치부기능하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 72] 제 69 항에 있어서,상기제2 재치부는,상기선반의연장선상배치되는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 73] 제 67 항에 있어서,상기제2 재치부는 복수개이며,수직방향배치되어있는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 74] 제 67 항에 있어서,상기 수용부와 상기 제1 처리부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 제1 재치부에 재치된 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 제1 통과구가 형성된 제1 격벽과,상기 제1 격벽의 제1 통과구를 개폐하는 제1 셔터부재와,상기 수용부와 상기 제2 처리부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 제2 재치부에 재치된 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 제2 통과구가 형성된 제2 격벽과,상기 제2 격벽의 제2 통과구를 개폐하는 제2 셔터부재를 구비하고,상기 제1 반송기구는, 상기 제1 재치부에 재치된 수납기에 대해서 상기 제1 통과구를 통해서 복수 매의 기판을 반입 및 반출하며,상기 제2 반송기구는, 상기 제2 재치부에 재치된 수납기에 대해서 상기 제2 통과구를 통해서1매씩기판을반입반출하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 75] 제 74 항에 있어서,상기 수납기는, 일측면에 개구가 형성되는 동시에, 상기 개구를 폐색하는 덮개를 구비하고,상기 제1 셔터부재는, 상기 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는 제1 탈착 유지기구를 구비하며, 상기 제2 셔터부재는, 상기 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는제2탈착유지기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 76] 제 67 항에 있어서,상기 제1 처리부는, 복수 매의 기판에 세정 처리 및 건조 처리를 일괄해서 행하고,상기 제2 처리부는, 기판 단위로세정 처리및건조처리행하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 77] 제 76 항에 있어서,상기 제2 처리부가 행하는 세정 처리는, 적어도 기판 이면의 주연부를세정하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 79] 제 78 항에 있어서,상기제1 재치부와 상기 제2 재치부에 재치되는 수납기는, 수납기 중 기판을 출입하는면방향인것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 80] 제 78 항에 있어서,상기 수납기 반송부의 반송경로에 따라, 복수개의 수납기를 나열하여 재치하는 선반을 구비하고,상기 수납기 반송부는, 상기 선반에 대해서수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 81] 제 80 항에 있어서,상기 선반의 측단부의 한쪽측이, 상기 제1재치부기능하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 82] 제 80 항에 있어서,상기제2 재치부는,상기선반의연장선상배치되는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 83] 제 78 항에 있어서,상기제2 재치부는 복수개이며,수직방향배치되어있는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 84] 제 78 항에 있어서,상기 수용부와 상기 제1 처리부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 제1 재치부에 재치된 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 제1 통과구가 형성된 제1 격벽과,상기 제1 격벽의 제1 통과구를 개폐하는 제1 셔터부재와,상기 수용부와 상기 제2 처리부와의 사이를 간격을 두는 동시에, 상기 제2 재치부에 재치된 수납기에 대향해서 기판을 통과시키는 제2 통과구가 형성된 제2 격벽과,상기 제2 격벽의 제2 통과구를 개폐하는 제2 셔터부재를 구비하고,상기 제1 반송기구는, 상기 제1 재치부에 재치된 수납기에 대해서 상기 제1 통과구를 통해서 복수 매의 기판을 반입 및 반출하며,상기 제2 반송기구는, 상기 제2 재치부에 재치된 수납기에 대해서 상기 제2 통과구를 통해서1매씩기판을반입반출하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 85] 제 84 항에 있어서,상기 수납기는, 일측면에 개구가 형성되는 동시에, 상기 개구를 폐색하는 덮개를 구비하고,상기 제1 셔터부재는, 상기 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는 제1 탈착 유지기구를 구비하며, 상기 제2 셔터부재는, 상기 수납기의 덮개를 탈착ㆍ유지하는제2탈착유지기구구비하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 86] 제 78 항에 있어서,상기 제1 처리부는, 복수 매의 기판에 세정 처리 및 건조 처리를 일괄해서 행하고,상기 제2 처리부는, 기판 단위로세정 처리및건조처리행하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 87] 제 86 항에 있어서,상기 제2 처리부가 행하는 세정 처리는, 적어도 기판 이면의 주연부를세정하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 88] 제1항에 있어서,상기 반송 기구는 상기 수납기 재치부와 상기 제1처리부와 상기 제2처리부와의 사이에서기판반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 89] 제 9 항에 있어서,상기 반송부는 상기 수용부에 수용되는 수납기와 상기 제1처리부와 상기 제2처리부와의 사이에서기판반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 90] 제 26 항에 있어서,상기 반송부는 상기 수납기 재치부에 재치되는 수납기와 상기 제1처리부와 상기 제2 처리부와의 사이에서기판반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 91] 제 39 항에 있어서,상기 반송부는 상기 수납기 재치부에 재치되는 수납기와 상기 제1 처리부와 상기 제2 처리부와의 사이에서기판반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치. [청구항 92] 제 67 항에 있어서,상기 수납기 반송부는 상기 제1 재치부와 상기 제2 재치부와 상기 제3 재치부와의 사이에서수납기반송하는것을특징으로 하는기판 처리장치.