증기 이송 장치, 기화기, 기화기 유닛 및 기화된 소스 물질 이송 방법 document_id 1020057001240

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 내부 구획내에 위치하고, 상기 용기 바닥을 통해 연장되어 있으며, 상기 가스 입구에 상호전달되도록 연결된내부가스운반부재더포함하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 내부가스 운반부재는 상기 용기 바닥의 중심을 통해연장되어있는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 용기 측벽은 그 안에 고체 전구체를 보유하기에 충분한높이가지는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 배출구를 가진 복수개의 돌기는용기측벽위치하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 용기 바닥, 측벽 및 배출구를 가진 복수개의 돌기는 상기 앰플 내부 구획의 표면적과 대략 동등한표면적가지는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 내부 구획내에 위치하고 수직으로 적층된복수개의용기포함하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 8] 제7항에 있어서,용기의 측벽은 그 사이에 가스 보유 공간을 형성하기 위해 덮여지고 수직으로 인접한 용기와 접촉하기에 충분한높이가지는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 배출구를 가진 돌기의 높이는 용기 측벽의 높이보다 낮은 것특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 내부가스 운반부재는 수직으로 적층된 복수개의 용기를 통해연장되어있는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 수직으로 적층된 복수개의 용기의 용기 측벽은상기앰플측벽접촉하고있는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 내부가스 운반부재와 수직으로 적층된 복수개의 용기 각각을 통해 연장되는 지점 사이에 위치한 씰링 o-링더포함하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 가스 입구 및 가스 출구는앰플상단위치하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 가스 입구는대략앰플상단의중심위치하고있는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 내부가스 운반부재는캐리어가스딥튜브인것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 캐리어가스 딥 튜브는 수직으로 적층된 복수개의 용기를 통해내부구획의바닥연장되어있는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 17] 제15항에 있어서,상기 배출구를 가진 돌기는 이차 말단보다 작은 지름을 가진 일차 말단을 가지는깔때기모양인것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 18] 제17항에 있어서,지름을 가진 일차 말단은 용기 공간으로 연장되어 있어서 캐리어가스를 가스 출구로 향하게 하고캐리어가스의역류방지하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 앰플 및 수직으로 적층된 복수개의 용기는열전도성물질제작되는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 20] 제1항에 있어서,상기 앰플을 가열하기 위한수단더포함하는것을특징으로 하는증기 전달 시스템. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 수직으로 적층된 각 용기는적어도하나의인접용기접촉하고있는것을특징으로 하는베이퍼라이저 유닛. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기 돌기는 깔때기 모양이고, 용기 공간으로 연장되는 만큼지는것을특징으로 하는베이퍼라이저 유닛. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기 원료물질은고체 전구체인것을특징으로 하는베이퍼라이저 유닛. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 돌기는 고체 전구체의 유체화를 위하여 고체 전구체를 통한 캐리어가스의 전달을 위하여 그 안에 배출구(vent)를 포함하는측벽가지는것을특징으로 하는베이퍼라이저 유닛.