부품 공급 장치 document_id 1020057009118

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 플레이트 배치 장치는, 상기 배치되는 플레이트를 그 외주부 근방에 있어서의 하면 측에서 지지 가능하고, 또한, 그 지지 높이 위치가 가변하는 탄성 지지 부재(60, 65)와, 상기 탄성 지지 부재에 지지된 상기 플레이트를, 상기 탄성 지지 부재와의 사이에서 끼우도록, 그 상기 외주부 근방에 있어서의 상면 측으로부터 압압(押壓)해서, 상기 플레이트의 유지를 실행하는 플레이트 압압체(押壓體)(61)와, 상기 플레이트 압압체의 승강(昇降)을 실행하는 압압체 승강부(62)를 구비하고, 상기 압압체 승강부는, 상기 탄성 지지 부재에 의해 지지된 상태의 상기 웨이퍼 공급용 플레이트에 의한 상기 각각의 웨이퍼 공급 부품의 공급 높이와, 상기 트레이 공급용 플레이트에 의한 상기 각각의 트레이 공급 부품의 공급 높이가 동일하게 되도록, 상기 플레이트 압압체의 승강을 실행하여, 상기 탄성 지지 부재의 지지 높이 위치가변시키는부품 공급 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 플레이트 배치 장치는, 상기 압압체 승강부에 의한 상기 플레이트 압압체의 하강 위치를 선택적으로 규제하는 규제부(69)를 추가로 구비하고, 상기 플레이트 배치 장치에, 상기 트레이 공급용 플레이트가 배치된 경우에, 상기 각각의 트레이 공급 부품의 공급 높이가, 상기 각각의 웨이퍼 공급 부품의 공급 높이와 동일하게 되도록, 상기 규제부에 의해 상기 플레이트 압압체의 하강 위치규제하는부품 공급 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 웨이퍼 공급용 플레이트는, 다이싱(dicing)이 실시된 상기 웨이퍼가 첩착(貼着)된 웨이퍼 시트(wafer sheet)(8)와, 환상(環狀) 플레이트로서, 그 내측에 상기 웨이퍼가 위치되도록, 상기 웨이퍼 시트를 유지하는 웨이퍼 링(9)을 구비하고, 상기 플레이트 배치 장치는, 상기 웨이퍼 링이 상기 각각의 탄성 지지 부재에 지지된 상태의 상기 웨이퍼 공급용 플레이트에 있어서, 상기 웨이퍼의 외주와 상기 웨이퍼 링의 내주와의 사이에 있어서의 상기 웨이퍼 시트의 하면에 맞닿을 수 있는 환상의 맞닿음부(63a)를 갖는 익스팬드 부재(63)를 추가로 구비하고, 상기 익스팬드 부재에 있어서의 상기 환상의 맞닿음부를 지점(支點)으로 하면서, 상기 압압체 승강부에 의해 상기 플레이트 압압체를 하강시켜서, 상기 웨이퍼 링을 밀어 내려, 상기 웨이퍼 시트를 방사상으로 연신(延伸)시킴으로써, 상기 웨이퍼의 익스팬드가가능한부품 공급 장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 플레이트 이동 장치는, 상기 플레이트를 해제 가능하게 유지하는 유지부(41)와,상기 유지부에 의해 유지된 상기 플레이트를 상기 플레이트 수용부로부터 상기 플레이트 배치 장치에 이동시키도록, 상기 유지부의 이동을 실행하는 유지부 이동부(44)와,상기 플레이트의 유지 부분의 형상에 근거해서, 상기 유지되는 플레이트가, 상기 웨이퍼 공급용 플레이트 또는 상기 트레이 공급용 플레이트 중 어느 쪽인가를 식별하는 플레이트 식별부(41b)를 구비하고, 상기 플레이트 배치 장치에 있어서의 상기 규제부는, 상기 플레이트 식별부의 상기 식별 결과에 근거해서, 상기 플레이트 압압체의 상기 하강 위치규제하는부품 공급 장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 트레이 공급용 플레이트는, 복수의 상기 부품 공급 트레이가 착탈(着脫) 가능하게 탑재되는 트레이 탑재부(58)와,상기 트레이 탑재부의 주위에 형성된 환상 플레이트인 트레이 링(59)을 구비하고, 상기 플레이트 배치 장치에 있어서, 상기 각각의 탄성 지지 부재에 의해 상기 트레이 링이 지지되는 것과 더불어, 상기 플레이트 압압체와 상기 각각의 탄성 지지 부재와의 사이에서, 상기 트레이 링을 끼우도록 압압하여, 상기 트레이 공급용 플레이트의 유지가 가능하며, 상기 규제부는, 상기 트레이 공급용 플레이트의 하면이, 상기 익스팬드 부재에 맞닿지 않도록, 상기 압압체 승강부에 의한 상기 플레이트 압압체의 상기 하강 위치의 규제실행하는부품 공급 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 트레이 탑재부는, 평면적으로 4각형상의 형상을 갖는 상기 부품 공급 트레이에 있어서의 상기 4각형상의 하나의 단부에 맞닿을 수 있는 고정 측 유지 부재(81)와, 상기 고정 측 유지 부재에 상기 하나의 단부가 맞닿아진 상태의 상기 부품 공급 트레이에 있어서의 상기 하나의 단부에 대향하는 단부에 맞닿음 가능하고, 또한, 상기 단부를 상기 고정 측 유지 부재를 향해서 가세(加勢) 가능하게 가동(可動)하는 가동 측 유지 부재(80 및 80a, 80 및 80b)를 구비하고, 상기 고정 측 유지 부재 및 상기 가동 측 유지 부재에 의해 상기 부품 공급 트레이를 끼우도록 해서, 상기 트레이 탑재부에 있어서의 상기 부품 공급 트레이의 탑재 위치유지되는부품 공급 장치. [청구항 9] 제4항에 있어서,상기 복수의 탄성 지지 부재 중의 적어도 1개의 탄성 지지 부재(65)는, 그 선단(先端)에 있어서, 상기 지지되는 플레이트의 단부가 맞닿아져서, 상기 플레이트의 표면을 따르는 방향에 있어서의 지지 위치를 규제하는 경사(傾斜) 단부있는부품 공급 장치. [청구항 10] 제4항에 있어서,상기 규제부는, 상기 플레이트 압압체의 하부(61a)와 맞닿음 가능하며, 상기 맞닿음에 의해 상기 플레이트 압압체의 하강 위치를 규제 가능한 맞닿음부(69a)와,상기 맞닿음부가 상기 플레이트 압압체와 상기 맞닿는 맞닿음 위치와, 상기 맞닿음이 퇴피(退避)되는 퇴피 위치와의 사이에서, 상기 맞닿음부를 이동시키는 맞닿음부 이동 기구구비하는부품 공급 장치. [청구항 11] 제4항에 있어서,상기 플레이트 배치 장치에 있어서의 상기 압압체 승강부는, 압축 공기의 급기(給氣) 또는 배기(排氣)에 의해, 상기 플레이트 압압체를 상승 또는 하강시키는 실린더부(71)와, 상기 실린더부에 상기 압축 공기로서 상기 상승 또는 상기 하강을 실행하는 승강용 압축 공기를 공급 가능한 승강용 압축 공기 공급부(73)와,상기 승강용 압축 공기보다도 낮은 압력을 가지고, 상기 플레이트 압압체의 상기 승강 또는 상기 하강의 정지 때에, 상기 플레이트 압압체의 상기 정지 위치를 유지하는 유지용 압축 공기를, 상기 압축 공기로서 상기 실린더부에 공급 가능한 유지용 압축 공기 공급부(74)와,상기 승강용 압축 공기 또는 상기 유지용 압축 공기를 선택적으로 상기 실린더부에 공급하는 압축 공기 선택 밸브구비하는부품 공급 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 압축 공기 선택 밸브는, 상기 플레이트 압압체와 기계적으로 접촉됨으로써, 상기 플레이트 압압체의 상기 승강의 상단(上端) 위치를 검출 가능하며, 상기 상단 위치의 검출 시에, 상기 승강용 압축 공기에 대신하여 상기 유지용 압축 공기를 선택적으로 상기 실린더부에 공급하는 메커트로닉 로크 밸브인부품 공급 장치. [청구항 13] 제6항에 있어서,상기 플레이트 수용부는,상기 각각의 플레이트를 적층시켜서 수용하는 수용체(50)와,상기 수용체를 승강시켜서, 상기 수용체에 수용되어 있는 각각의 플레이트 중의 1개의 플레이트를, 상기 플레이트 이동 장치의 상기 유지부에 의해 유지 가능한 승강 높이 위치에 위치시키는 수용체 승강부(51)를 구비하고,상기 유지부와 함께 상기 유지된 1개의 플레이트가 통과 가능한 플레이트 취출구부(84a, 86a)를 갖추고, 또한, 상기 1개의 플레이트 이외의 상기 플레이트 수용부의 상기 수용체에 수용되어 있는 상기 각각의 플레이트가 상기 수용체로부터 튀어 나오는 것을 방지 가능한 상기 취출구부의 주위에 형성된 플레이트 규제부를 갖는 튀어 나옴 방지판(84, 86)을개폐이동가능하게구비하고 있는부품 공급 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 플레이트 배치 장치는, 상기 튀어 나옴 방지판에 있어서의 상기 취출구부 내에 위치된 상기 플레이트를 검출 가능한 튀어 나옴 검출부(85)를 추가구비하는부품 공급 장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 플레이트 수용부는,상기 수용체와 상기 수용체 승강부를 지지하는 기대(基臺)(52)와,상기 기대의 배치 위치의 유지가 가능하며, 상기 유지를 해제해서, 상기 기대의 직선적인 이동을 안내하는 직선 이동 안내부(93)와, 상기 기대를 회전시키면서의 이동을 안내하는 회전 이동 안내부(94)를 갖는 기대 유지부(91)를 구비하고,상기 기대는,상기 직선 이동 안내부 및 상기 회전 이동 안내부와 선택적으로 걸림 가능한 걸림부(92)를 갖고, 상기 걸림부가 상기 직선 이동 안내부와 걸려짐으로써, 상기 기대의 직선적인 이동이 가능하며, 상기의 걸림부와 상기 직선 이동 안내부와의 걸림이 해제되고, 또한, 상기 걸림부가 상기 회전 이동 안내부와 걸려짐으로써, 상기 기대의 회전시키면서의 이동가능한부품 공급 장치. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 플레이트 수용부의 상기 수용체는, 상기 각각의 플레이트의 서로 대향하는 각각의 단부를 개별적으로 지지하고, 또한, 상기 각각의 플레이트의 취출에 있어서의 상기 플레이트의 표면을 따르는 방향에의 이동을 안내하는 서로 대향해서 배치된 복수 조(組)의 지지 안내부(250b)를 구비하고,상기 각각의 플레이트에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부와의 접촉 부분(r)이, 활면부(滑面部있는부품 공급 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 각각의 플레이트의 상기 이동 방향(c)과 직교하는 방향에 있어서의 상기 각각의 조의 지지 안내부에의 상기 각각의 플레이트의 삽입 위치와, 상기 각각의 조의 지지 안내부에 의한 지지 위치와의 사이의 위치 편차를 보정 가능하게, 상기 각각의 조의 지지 안내부의 삽입 단부(250d)에, 상기 이동의 방향에 대한 경사부형성되어 있는부품 공급 장치. [청구항 18] 제16항 또는 제17항에 있어서,상기 각각의 플레이트와 상기 각각의 지지 안내부와의 서로의 접촉 표면에 있어서의 각각의 경도(硬度)가, 상기 각각의 플레이트보다도 상기 각각의 지지 안내부가 낮아지도록, 상기 각각의 접촉 표면형성되는부품 공급 장치. [청구항 19] 제16항 또는 제17항에 있어서,상기 각각의 플레이트와 상기 각각의 지지 안내부와의 서로의 접촉 표면에 있어서의 각각의 경도가, 상기 각각의 지지 안내부보다도 상기 각각의 플레이트가 낮아지도록, 상기 각각의 접촉 표면형성되는부품 공급 장치. [청구항 20] 제16항 또는 제17항에 있어서,상기 각각의 지지 안내부는, 상기 각각의 플레이트의 단부를 지지하면서, 상기 단부의 표면을 따라 회전 가능한 롤러부구비하는부품 공급 장치. [청구항 21] 제4항에 있어서,상기 플레이트 압압체는, 그 하면에 있어서,상기 플레이트 배치 장치에 공급된 상기 플레이트를 취출 가능하게 지지하는 복수의 지지 부재(261b)와,상기 압압체 승강부에 의한 상기 플레이트 압압체의 하강 위치에 상관없이, 상기 각각의 지지 부재 또는 상기 각각의 탄성 지지 부재에 상기 플레이트를 상시(常時) 가세하는 복수의 가세 부재(261c)를, 추가구비하는부품 공급 장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 각각의 가세 부재는, 상기 플레이트 이동 장치에 의한 상기 플레이트의 이동을 가능하게, 상기 각각의 지지 부재에 의해 지지된 상기 플레이트를 가세하면서, 상기 플레이트의 표면을 따라 회전 가능한 가세 롤러부구비하는부품 공급 장치. [청구항 23] 제6항에 있어서,상기 각각의 플레이트는, 상기 유지부에 의한 상면 측의 유지 위치에, 상기 유지부와 걸림 가능한 걸림부갖는부품 공급 장치. [청구항 24] 제16항에 있어서,상기 수용체는, 상기 각각의 지지 안내부의 조(組)의 사이에 배치되어, 상기 각각의 플레이트와 걸려짐으로써, 상기 각각의 플레이트의 수평 방향의 지지 자세를 안내하는 복수의 자세 안내부(490, 590)를 추가구비하는부품 공급 장치. [청구항 25] 제24항에 있어서,상기 수용체는, 개폐 가능한 상기 각각의 플레이트의 교환용의 문부(550c)를 갖추고, 상기 각각의 자세 안내부는 상기 문부의 내측구비되어 있는부품 공급 장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,상기 수용체는, 상기 문부의 개폐를 검출하는 개폐 검출 센서구비하는부품 공급 장치. [청구항 27] 제15항에 있어서,상기 수용체는, 상기 기대에의 지지면에 이 지지를 고정하는 복수의 고정부(471)를 갖추고, 적어도 1개의 상기 고정부가, 도전성 재료로 형성되어, 접지 단자부로서의 기능갖는부품 공급 장치.