문맥 (context)
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 기류 제어 부재에 있어서의 상부 링부의 내측의 저각은24도이상34도이하인것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 4]
청구항 2에 있어서,상기 기류 제어 부재에 있어서의 상부 링부의 높이는 10 mm이상이하인것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 5]
청구항 2에 있어서,상기 기류 제어 부재에 있어서의 하부 링부의 내측의 저각은25도이상35도이하인것을특징으로 하는도포 처리 장치
[청구항 6]
청구항 2에 있어서,상기 상부 링부와 상기 하부 링부는일체인것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 7]
청구항 2에 있어서,상기 제 1 컵의 외주 벽부는 통 형상의 수직벽부 및 상기 수직벽부의 상단으로 연결 설치되고 내측 윗쪽에 경사진경사벽부가지는것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 경사벽부는상기상부링부의외측 경사면평행인것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 제 1 컵의 외주 벽부를 구성하는 상기 경사벽부의 상단부 내측에 상기 배기 유로에 유입한 기류의 역류를 억제하기 위한돌기부설치되어있는것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 10]
청구항 2에 있어서,상기 처리 용기는 상기 피처리 기판의 하측으로부터 경사지는 아래에 바깥쪽으로 향해 확장하는 경사벽부를 구비한 제 2 컵을 더 구비하고, 상기 피처리 기판으로부터 떨어져나온 도포액을 하부로 향하여 배출하는 배액유로가 상기 기류 제어 부재와 상기 제 2 컵의 경사벽부의 사이에 형성되고 상기 기류 제어 부재와 상기 피처리 기판 사이의 간격부가 상기 배액유로에 있어서의 배액 채취구로 이루어져있는것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 11]
청구항 10에 있어서,상기 제 2 컵은 상기 경사벽부의 하단에서 아래쪽으로 늘어나는 통 형상의 수직벽부를 더 갖고, 상기 배기 유로와 상기 배액유로가 상기 제 1 컵의 외주 벽부와 상기 제 2 컵의 수직벽부의 사이에 형성되는 간격부에서 합류 하고 상기 처리 용기의 저부로부터 배기 및 배액이 행해지는것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 12]
청구항 10에 있어서,상기 피처리 기판으로부터 떨어져나온 도포액이 상기 하부 링부의 내측의 경사면에 충돌하는 것에 의해 상기 배액유로에 인도되도록 상기 상부 링부의 내측의 각과 상기 하부 링부의 내측의 각이 합쳐진 정점이 상기 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 있도록상기기류제어부재배치되어있는것을특징으로 하는도포 처리 장치.
[청구항 13]
청구항 10에 있어서,상기 피처리 기판의 주변 근방을 흐르는 기류가 상기 상부 링부의 내측의 경사면을 따라 상승한 후에 상기 환경 채취구로부터 상기 배기 유로에 유입하도록 상기 상부 링부의 내측의 각과 상기 하부 링부의 내측의 각이 합쳐진 정점이 상기 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 있도록상기기류제어부재배치되어있는것을특징으로 하는도포 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도포 처리 장치에서 피처리 기판으로부터 떨어져 나온 도포액이 배액유로로 인도되기 위해 기류 제어 부재가 배치되는 구체적인 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation도포액이 배액유로로 인도되기 위해 기류 제어 부재가 배치되어야 하는 구체적인 기하학적 조건을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 도포액이 하부 링부 내측 경사면에 충돌하여 배액유로로 인도되는 조건에 관한 기술 내용을 추출한다.
- 피처리 기판으로부터 떨어져나온 도포액이 상기 하부 링부의 내측의 경사면에 충돌하는 것에 의해 상기 배액유로에 인도되도록
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3근거 선택
evidence_selection기류 제어 부재의 배치 조건인 상부 링부와 하부 링부의 각도가 합쳐진 정점의 위치에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 상부 링부의 내측의 각과 상기 하부 링부의 내측의 각이 합쳐진 정점이 상기 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 있도록상기기류제어부재배치되어있는것
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4논리 통합
logical_integration도포액이 하부 링부 경사면에 충돌하여 배액유로로 유도되려면, 상부 링부와 하부 링부의 내측 각이 만나는 정점이 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 있어야 함을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation기류 제어 부재의 상부 링부 내측 각과 하부 링부 내측 각이 합쳐진 정점이 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 배치되어야 한다는 결론을 도출한다.
- 상기 상부 링부의 내측의 각과 상기 하부 링부의 내측의 각이 합쳐진 정점이 상기 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 있도록
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6답변 생성
answer_generation추출된 조건을 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
피처리 기판으로부터 떨어져 나온 도포액이 하부 링부의 내측 경사면에 충돌하여 배액유로로 인도될 수 있도록, 상부 링부의 내측 각과 하부 링부의 내측 각이 합쳐진 정점이 피처리 기판의 표면보다 높은 위치에 오도록 기류 제어 부재가 배치되어야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
도포액의 효율적인 배액을 위해 기류 제어 부재의 상·하부 링부 각도가 형성하는 정점의 높이를 피처리 기판의 표면보다 높게 설정하여 도포액이 하부 링부 경사면에 충돌하도록 유도하는 기술이다.