웨이퍼 결함 검출 시스템 document_id 1020057013165

[청구항 2] 제1항에 있어서,이미저는적어도하나의이차원검출기어레이채용하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,이미저는복수개의이차원검출기어레이채용하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터의 동작과 상기 트랜스포터의 동작을 동기화시키기 위한동기화기더포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 동기화기는 상기 트랜스포터가 상기 오브젝트중의 하나를 상기 이미저와 마주하는 새로운 이미징 위치로 이송할 때 마다 조명 기동 신호를 발생하도록 동작하는조명트리거포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터는레이저포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터는레이저포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 8] 제1항에 있어서,이미저는 이미지를 동시에 획득하는 적어도 두개의이차원검출기어레이포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 9] 제8항에 있어서,개의 이차원 검출기 어레이는 함께 일반적으로 인터럽트되지 않은 평면 검출기 평면을 정의하도록광결합되는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 10] 제9항에 있어서,개의 이차원 검출기 어레이는 논뮤추얼공평면 배열배열되는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 트랜스포터의 동작 속도 및 상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터의 펄스 길이는 일 픽셀 미만의 이미지 손상이 산출되도록선택되는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터는 상기 오브젝트가 상기 운행경로를 따라 운행함에 따라 상기 오브젝트의 암시야및명필드조명제공하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 오브젝트는 복수 개의 동일 영역을 포함하며, 상기 복수 개의 동일 영역중 개별 영역의 이미지를 비교하는이미징비교기포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 14] 제1항에 있어서,상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터는 상기 오브젝트가 상기 운행경로를 따라 운행함에 따라 상기 오브젝트의 흐릿하게된직교암시야조명제공하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 펄싱된 오브젝트 일루미네이터는적어도하나의광섬유번들포함하는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 16] 제15항에 있어서,적어도 하나의 광섬유 번들은 복수의 광섬유를 포함하고, 그들중 적어도 일부는 상이한 광학 길이를 갖고, 상기 복수의 광섬유는 광학 길이를 지나는 광의 코히어런스 길이 보다 작은 그들간의 광 길이에서의차갖는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 펄스 스트레처는, 제1 미러와 제2 미러간에 지향된 조명이 미러들간에 여러번 반사되도록 소정 거리로 이격되어 배치된 상기 제1 미러와 제2 미러를 포함하고, 상기 여러번 반사된 조명의 각각의 입사위치는 상기 제1 미러와 제2 미러에 걸쳐 측면 방향으로 배치되고, 상기 미러들중의 하나는 상기 미러에서의 각각의 반사에서, 상기 조명 입사광의 일부가 상기 펄스 스트레처로부터 출력되도록, 상기 측면 방향에서 점진적으로 절결된프로파일갖는것을특징으로 하는검사 시스템. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 마스크는공간광모듈레이터발생되는것을특징으로 하는마스크. [청구항 30] 제29항에 있어서,상기 공간 광 모듈레이터는 픽셀화된 액정 디바이스이고, 상기 차단 엘리먼트는 불투명하도록 활성화되는상기액정디바이스픽셀인것을특징으로 하는마스크. [청구항 31] 제28항에 있어서,상기 차단 엘리먼트는 상기 마스크내의 상기 차단 엘리먼트의 위치가 상기 후 초점 평면내의 상기 소정 정보에 따라 상기 조정가능한 와이어에 의해 위치될 수 있도록, 조정가능한 얇은와이어지지되는것을특징으로 하는마스크. [청구항 32] 제28항에 있어서,상기 와이어는 이미징되어야 할정보차단하지않는것을특징으로 하는마스크. [청구항 34] 제33항에 있어서,이미징 시스템은 상기 이미징 시스템이 상기 최적 초점 위치에 있을 때, 상기 검출기상의 최적 이미지 선예도의 지점이 공지된위치미리교정되는것을특징으로 하는장치. [청구항 35] 제33항에 있어서,상기 초점 위치 계산기는 상기 최적 이미지 선예도의 지점을 결정하기 위해이미지처리알고리즘이용하는것을특징으로 하는장치. [청구항 36] 제33항에 있어서,최적 초점의 위치를 결정하기 위한 오브젝트의 상기 이미지는상기 오브젝트 검사를 위해 사용된 것과는 상이한 파장의 조명을 이용하여발생되는것을특징으로 하는장치. [청구항 37] 제36항에 있어서,상기 오브젝트 검사는 암 시야 모드에서의 제1 파장의 조명로 수행되고, 상기 이미징 시스템의 최적 초점 위치 결정은 명시야 모드에서의제2파장의조명수행되는것을특징으로 하는장치. [청구항 39] 제38항에 있어서,이미징 시스템은 상기 이미징 시스템이 상기 최적 초점 위치에 있을 때, 상기 검출기상의 최적 이미지 선예도의 지점이 공지된위치미리교정되는것을특징으로 하는장치. [청구항 40] 제38항에 있어서,상기 초점 위치 계산기는 상기 최적 이미지 선예도의 지점을 결정하기 위해이미지처리알고리즘이용하는것을특징으로 하는장치. [청구항 41] 제38항에 있어서,최적 초점의 위치를 결정하기 위한 오브젝트의 상기 이미지는상기 오브젝트 검사를 위해 사용된 것과는 상이한 파장의 조명을 이용하여발생되는것을특징으로 하는장치. [청구항 42] 제41항에 있어서,상기 오브젝트 검사는 암 시야 모드에서의 제1 파장의 조명로 수행되고, 상기 이미징 시스템의 최적 초점 위치 결정은 명시야 모드에서의제2파장의조명수행되는것을특징으로 하는장치. [청구항 43] 제38항에 있어서,상기 조명 소스는 그 단부가 플랫 광섬유 어레이에 수직하지 않은 라인에서 종료되는상기어레이포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 44] 제38항에 있어서,상기 조명 소스는 복수의 조명된 홀을 포함하고, 상기 마스크는 상기 조명축에비수직적경사진것을특징으로 하는장치. [청구항 46] 제45항에 있어서,이미징 시스템은 상기 이미징 시스템이 상기 최적 초점 위치에 있을 때, 상기 검출기상의 최적 이미지 선예도의 지점이 공지된위치미리교정되는것을특징으로 하는장치. [청구항 47] 제45항에 있어서,상기 초점 위치 계산기는 상기 최적 이미지 선예도의 지점을 결정하기 위해이미지처리알고리즘이용하는것을특징으로 하는장치. [청구항 48] 제45항에 있어서,최적 초점의 위치를 결정하기 위한 오브젝트의 상기 이미지는상기 오브젝트 검사를 위해 사용된 것과는 상이한 파장의 조명을 이용하여발생되는것을특징으로 하는장치. [청구항 50] 제49항에 있어서,상기 조명 소스 빔은 상기 조명 소스 빔의 상기 단면을 제공하기 위해, 소정 출력 섹션을 갖는 광섬유 조명 번들에 의해발생되는것을특징으로 하는암시야 조명 시스템. [청구항 51] 제50항에 있어서,상기 광섬유 조명 번들의 상기 소정 출력 섹션은 장방형섹션인것을특징으로 하는암시야 조명 시스템. [청구항 52] 제50항에 있어서,실린더형 포커싱 엘리먼트를 더 포함하는 것을특징으로 하는암시야 조명 시스템. [청구항 55] 제54항에 있어서,상기 모니터 검출기는 상기 레이저의 내부에 위치된상기광학펌프의출력의일부샘플링하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 56] 제53항에 있어서,상기q-스위칭된 레이저는 광학 펌프를 갖고, 상기 광학 펌프의 출력의 일부를 샘플링하고, 광학 펌프 펄스 에너지를 결정하는 모니터 검출기;공지된 광학 펌프 펄스 에너지로 상기 광학 펌프 펄스의 에너지를 결정하는 펌프 펄스 에너지 비교기 회로;상기 공지된 펌프 펄스로부터 펌프 펄스 에너지에서의 변화를 결정하기 위해 상기 비교기 회로로부터의 정보를 이용하는 펌프 펄스 에너지 차이 계산기; 및 상기 펄스 에너지 트렌드 계산기, 및 상기 펌프 펄스 에너지 차이 계산기로부터 정보를 수신하고, 상기 레이저 출력에서 검출된 펄스 에너지에서의 상기 변동을 감소시키기 위해 q-스위치 지연 시간을 조정하는 q-스위치지연발생기포함하는것을특징으로 하는시스템.