문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 고주파 발진기에 의해 발생된 고주파수의 전자기장을 상기 용기로 가이드하는도파관구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 고주파 발진기는 상기 고주파수의 전자기장을 상기 도파관에 출력하는제1안테나구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 기준 발진기는 상기 기준 신호를 상기 도파관에 출력하고 상기 기준 신호는 상기 제 1 안테나를 통해상기고주파발진기도입되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 기준 발진기 측에서 상기 고주파 발진기 측으로 상기 기준 신호를 전송하는소자구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 고주파 발진기는마그네트론구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 기준 발진기는유전체 발진기구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제 2 항에 있어서,상기 도파관에 연결되고 상기 고주파수의 전자기장을 감쇠시키는감쇠기구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 고주파 발진기는 상기 기준 신호가 도입되는 복수의 고주파 발진기를 구비하고,상기 플라즈마 처리장치는 상기 고주파 발진기에 의해 발생된 고주파수의 전자기장을 합성하고 합성된 전자기장을 상기 도파관에 출력하는합성기더구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 10]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 고주파 발진기는 복수의 고주파 발진기를 구비하고, 상기 복수의 고주파 발진기는 출력전력이 증가하는 순으로 캐스케이드 접속(cascade connection)되며, 상기 기준 신호가 제 1 단계의 고주파 발진기에 도입되고, 이전 단계의 고주파 발진기에 의해 발생된 고주파수의 전자기장이 나머지 고주파 발전기 중 각각의 하나에 도입되며, 마지막 단계의 고주파 발전기에 의해 발생된 고주파수의 전자기장이상기도파관출력되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 11]
제 2 항에 있어서,상기 도파관에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 용기 측에서 더미 로드로 고주파수의 전자기장을 전송하는소자구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제 2 항에 있어서,상기 도파관에 형성되고 상기 고주파 발진기 측과 상기 용기 측 사이의 임피던스 정합(impedance matching)을 수행하는부하정합장치구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 13]
제 11 항에 있어서,상기 부하정합장치는 각각이 상기 도파관의 축방향에 수직하게 연결되고, 일단이 상기 도파관에서 개방되며, 타단이 전기기능적으로 단락되는 복수의 분기된 도파관을 구비하고,상기 분기된 도파관은 상기 기준 신호를 기초로 하여 소정의 간격으로상기도파관의축방향배치되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 14]
제 2 항에 있어서,상기 테이블에 마주보도록 배치되고, 상기 도파관에 연결되며, 상기 도파관에 의해 가이드되는 상기 고주파수의 전자기장을 상기 용기로 공급하는제2안테나구비하는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
[청구항 15]
제 1 항에 있어서,상기 용기에 자기장을 발생하는 자기장 발생기를 구비하고, 플라즈마가 전자 싸이클로트론 공명에 의해 가열되는 전자를 사용하여발생되는것을특징으로 하는플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리장치에서 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되어, 고주파 발진기 측으로는 고주파수의 전자기장을 전송하고 기준 발진기 측으로는 기준 신호를 전송하는 소자는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 처리장치 내에서 기준 발진기와 도파관의 연결부에 위치하며, 고주파 전자기장과 기준 신호를 각각 전송하는 특정 소자를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성된 소자의 기능이 명시되어 있다.
- 상기 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 기준 발진기 측에서 상기 고주파 발진기 측으로 상기 기준 신호를 전송하는소자
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 위치(기준 발진기와 도파관의 연결부)와 기능(고주파 전자기장 전송 및 기준 신호 전송)이 일치하는 구절을 선택한다.
- 상기 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 기준 발진기 측에서 상기 고주파 발진기 측으로 상기 기준 신호를 전송하는소자
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4논리 통합
logical_integration청구항 5의 문맥을 분석하면, 해당 위치에 형성되어 두 가지 신호를 서로 다른 방향으로 전달하는 구성 요소가 '소자'임을 알 수 있다.
- 상기 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 기준 발진기 측에서 상기 고주파 발진기 측으로 상기 기준 신호를 전송하는소자
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 묻는 소자의 정체는 청구항 5에 기술된 '소자' 그 자체이다.
- 상기 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 기준 발진기 측에서 상기 고주파 발진기 측으로 상기 기준 신호를 전송하는소자
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '소자'를 최종 답변으로 제시한다.
- 상기 기준 발진기와 도파관의 연결부에 형성되고, 상기 고주파 발진기 측에서 상기 용기 측으로 고주파수의 전자기장을 전송하며, 상기 기준 발진기 측에서 상기 고주파 발진기 측으로 상기 기준 신호를 전송하는소자
최종 답변 (final_answer)
소자
핵심 해석 (core_interpretation)
기준 발진기와 도파관 사이의 연결부에 위치하여 고주파 전자기장과 기준 신호를 상호 교차하여 전송하는 구성 요소에 관한 기술이다.