인 라인 접속 설정 방법 및 장치 및 그리고 기판 처리 장치및 기판 처리 시스템 document_id 1020057016154

[청구항 9] 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,상기제 1의 처리 장치는 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와는 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고,상기 제 1의 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인복수종류의하드정의파일기억하고있는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 10] 청구항 9의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,선택부는 하드 정의 파일 선택부를 갖고,상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는하드정의파일선택하는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 11] 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,상기제 1의 기억 수단은 피처리체를 처리하기 위한소프트웨어와상기복수종류의하드정의파일과복수종류의인터페이스파일기억하고있는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 12] 청구항 11의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,선택부는 하드 정의 파일 선택부와 인터페이스 파일 선택부를 갖고,상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하고,상기 인터페이스 파일 선택부는 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 사용하는인터페이스파일선택하는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 13] 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,상기 정보 취득부는 lan내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와 직접 통신함으로써상기프로파일정보수취하는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 14] 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,상기 프로 파일 정보는 적어도 상기 제 2의 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 제 2의 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보를 포함하고,상기 인 라인 접속 설정 장치는 수취한 상기 프로 파일 정보를 기억하기 위한 제 2의기억수단더갖추는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 15] 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,상기 프로 파일 정보는 상기 제 2의 처리 장치가 정상 상태에 있는지 아닌지의정보포함하는것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 16] 청구항 8의 인 라인 접속 설정 장치에 있어서,상기제 1의 처리 장치는 레지스트 도포·현상 장치이고 상기 제 2의 처리 장치는노광장치인것을특징으로 하는인 라인 접속 설정 장치. [청구항 18] 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,상기제 2의 통신 인터페이스는 상기 상대측 장치가 대응하는인터페이스접속되는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 19] 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,상기 프로 파일 정보에는 상기 상대측의 기판 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 상대측의 기판 처리 장치에 있어서 사용되는소프트웨어의버젼정보적어도포함되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 20] 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,상기 프로 파일 정보에는 상기 상대측의 기판 처리 장치가 정상 상태인지 아닌지의정보포함되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 21] 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,상기제 1의 통신 인터페이스는 상기 상대측 장치의 대응하는 인터페이스와 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고 상기 소프트웨어 파일 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인 복수종류의 하드 정의 파일을 갖고,상기 파일 선택 수단은 상기 프로 파일 정보에 대응해 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 상기 기판 처리 장치로 사용하는하드정의파일선택하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 22] 청구항 21의 기판 처리 장치에 있어서,상기 소프트웨어 파일 기억 수단은 상기 기판을 처리하기 위한 소프트웨어와 복수종류의 인터페이스 파일을 더 갖고,상기 파일 선택 수단은 상기 선택된 하드 정의 파일에 대응해 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 해당 기판 처리 장치로 사용하는인터페이스파일선택하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 23] 청구항 17의 기판 처리 장치에 있어서,상기 정보 취득 수단은 상기 상대측의 기판 처리 장치에 대해 소정 시간마다 상기 프로 파일 정보의 인수·인도요구하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 26] 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,상기제 1의 처리 장치는 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와는 통신케이블에 의해 1대 1 접속되고,상기 제 1의 기억 수단은 상기 통신케이블의 커넥터 핀 할당 정보인복수종류의하드정의파일기억하고있는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 27] 청구항 26의 기판 처리 시스템에 있어서,선택부는 하드 정의 파일 선택부를 갖고,상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는하드정의파일선택하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 28] 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,상기제 1의 기억 수단은 피처리체를 처리하기 위한소프트웨어와상기복수종류의하드정의파일과복수종류의인터페이스파일기억하고있는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 29] 청구항 28의 기판 처리 시스템에 있어서,선택부는 하드 정의 파일 선택부와 인터페이스 파일 선택부를 갖고,상기 하드 정의 파일 선택부는 상기 복수종류의 하드 정의 파일중에서 사용하는 하드 정의 파일을 선택하고,상기 인터페이스 파일 선택부는 상기 복수종류의 인터페이스 파일중에서 사용하는인터페이스파일선택하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 30] 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,상기 정보 취득부는 lan내에 형성된 통신 경로를 개입시켜 상기 인 라인 접속된 상기 제 2의 처리 장치와 직접 통신함으로써상기프로파일정보수취하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 31] 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,상기 프로 파일 정보는 적어도 상기 제 2의 처리 장치의 메이커 정보와 형식 정보와 상기 제 2의 처리 장치에 있어서 사용되는 소프트웨어의 버젼 정보를 포함하고,상기 접속 설정부는 수취한 상기 프로 파일 정보를 기억하기 위한 제 2의기억수단구비하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 32] 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,상기 프로 파일 정보는 상기 제 2의 처리 장치가 정상 상태에 있는지 아닌지의정보포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 33] 청구항 25의 기판 처리 시스템에 있어서,상기제 1의 처리 장치는 레지스트 도포·현상 장치이고 상기 제 2의 처리장 치는노광장치인것을특징으로 하는기판 처리 시스템.