기판 지지 리프트 메커니즘 document_id 1020057016866

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 요크와 짐벌 베이스는 정확한매칭표면더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 제 1 나사형 부재는 구부러진매칭표면과방사상정렬되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 짐벌 베이스의 구부러진 매칭 표면은계단형리세스더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 요크는,포스트; 상기 포스트에 결합되는 접속 부재; 및상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 1 플랜지 - 상기 제 1 플랜지의 대향하는 제 2 측면과 상기 짐벌 베이스를 지지하는 제 1 측면 사이에 상기 제 1 슬롯이 형성됨 - ;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 2 플랜지;상기 짐벌 베이스를 지지하는 제 2 플랜지의 제 1 측면과 대향하는 제 2 측면 사이에 형성된 제 2 슬롯; 및상기 제 2 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제2나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 1 측면은 구부러진 것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 1 측면은 약 305 내지 약 304 mm사이의곡률반경가지는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 2 측면은 상기 제 1 측면에동심원적구부러진것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 요크로부터 연장되는 포스트를 수용하는 클램핑 개구부를 가지는클램프블럭더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 클램프 블럭은,상기 클램핑 개구부와 연통되며 적어도 부분적으로 상기 클램프 블럭을 통하여 형성된 슬롯; 및상기 클램핑 개구부의 중심과 방사상 정렬되는 방햐으로 이동가능하며 상기 슬롯에 배치되는플런저더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 플런저는 상기 포스트에 대해 가압되는 경우, 상기 포스트 상에 회전 모멘트 힘이 가해지지 않는콘택표면포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 클램프 블럭은,상기 클램핑 개구부와 마주하게 상기 슬롯 위에 배치된 웨브; 및상기 클램핑 개구부의 중심부와 방사상 정렬되고 상기 웨브를 통하여 배치된 부재 - 상기 부재는 상기 포스트에 대해 상기 플런저를 가압함 -를더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,제 1 캐리지 블럭과 제 2 캐리지 블럭을 가지며 상기 클램프 블럭에 결합되느 베어링 어셈블리; 및적어도 상기 캐리지 블럭중 하나와 결합되며 상기 베어링 어셈블리를 따라 상기 캐리지 블럭들의 선형 위치를 제어하는액추에이터더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 클램프 블럭 내부에는 상기 요크로부터 연장되는 포스트를 수용하도록 형성된클램핑개구부더포함되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 클램프 블럭은,상기 클램핑 개구부와 연통되며 적어도 부분적으로 상기 클램프 블럭을 통하여 형성된 슬롯; 및상기 슬롯내에 배치되며 상기 클램핑 개구부의 중심부와 방사상 정렬된 방향으로 이동가능한플런저더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 플런저는 상기 포스트에 대해 가압되는 경우 상기 포스트 상에 회전 모멘트 힘이 가해지지 않는콘택표면포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 18] 제 16 항에 있어서,상기 클램프 블럭은,상기 클램핑 개구부와 마주하는 상기 슬롯 위에 배치된 웨브; 및상기 웨브를 통하여 배치되며 상기 클램핑 개구부의 중심과 방사상 정렬되며, 상기 포스트에 대해 상기 플런저를 가압하는부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 19] 제 16 항에 있어서,상기 요크는,적어도 하나의 플랜지;상기 플랜지를 통하여 형성된 슬롯;상기 기판 지지체를 지지하는 제 1 표면 및 상기 플랜지에 대해 배치된 대향하는 제 2 표면을 포함하는 짐벌 베이스;상기 제 1 슬롯을 통하여 형성되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 상기 부재의 축을 따라 서로 가압하는부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 20] 제 1 항에 있어서,상기 요크 및 짐벌 베이스의 제 2 표면은 구부러진 표면을 따라접촉되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 부재는 상기 구부러진 표면을 중심으로방사상정렬되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 짐벌 베이스의 제 2 표면 내부에는계단형리세스형성되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 23] 제 14 항에 있어서,상기 요크는,포스트; 상기 포스트에 결합되는 접속 부재;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 1 플랜지 - 상기 제 1 플랜지의 대향하는 제 2 측면과 상기 짐벌 베이스를 지지하는 제 1 측면 사이에 상기 제 1 슬롯이 형성됨 - ;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 2 플랜지;상기 짐벌 베이스를 지지하는 상기 제 2 플랜지의 제 1 측면과 대향하는 제 2 측면 사이에 형성된 제 2 슬롯; 및상기 제 2 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제2나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 1 측면 및 제 2 측면nan은동심원적구부러지는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 25] 제 24 항에 있어서,터드 상에 배치되며 제 1 구부러진 표면을 갖는 스페이서; 및상기 제 1 플랜지의 제 2 측면에 대해 배치된 스페이서의 제 1 구부러진 표면을 가압하며 상기 스터드상에 나사 고정된너트더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 요크 및 짐벌 베이스는 구부러진 표면을 따라접촉되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 28] 제 27 항에 있어서,상기 제 1 나사형 부재는 상기 구부러진 표면을 따라방사상배열되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 29] 제 27 항에 있어서,상기 짐벌 베이스의 제 2 표면 내부에는계단형리세스형성되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 30] 제 26 항에 있어서,상기 요크는,포스트;상기 포스트에 결합되는 접속 부재;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 1 플랜지 - 상기 제 1 플랜지의 대향하는 제 2 측면과 상기 짐벌 베이스를 지지하는 제 1 측면 사이에는 상기 제 1 슬롯이 형성됨 - ;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 2 플랜지;상기 짐벌 베이스를 지지하는 상기 제 2 플랜지의 제 1 측면 및 대향하는 제 2 측면 사이에 형성된 제 2 슬롯; 및상기 제 2 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제2나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 31] 제 30 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 1 측면 및 제 2 측면nan은동심원적구부러지는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 제 1 나사형 부재상에 배치되며 제 1 구부러진 표면을 가지는 스페이서; 및상기 제 1 나사형 부재상에 나사 고정되며 상기 제 1 플랜지의 제 2 측면에 대해 배치된 스페이서의 제 1 구부러진 표면을 가압하는너트더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 33] 제 26 항에 있어서,상기 짐벌 어셈블리는 상기 요크와 결합되는 클램프 블럭을 더 포함하며, 상기 요크는 상기 클램프 블럭을 중심으로 축을 따라 위치되며상기축부근회전하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 35] 제 34 항에 있어서,상기 스파의 하부 표면은 상기 제 2 측방 측면으로부터상기로드의중심라인너머의위치연장되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 36] 제 34 항에 있어서,상기 로드는 상기 플레이트의 매칭 웨지와 번갈아 배치된(interleaved)웨지더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 37] 제 34 항에 있어서,상기 짐벌 어셈블리는,클램프 블럭 ;상기 클램프 블럭에 결합된 요크 - 상기 요크는 상기 클램프 블럭을 중심으로 제 1 축을 따라 위치되며 상기 제 1 축 부근을 회전함 - ;상기 요크에 결합되며 상기 기판 지지체를 지지하고, 상기 제 1 축에 직교하는 제 2 축 부근에서 이동가능한 짐벌 베이스 ; 및상기 요크에 형성된 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제1나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 요크와 짐벌 부재는 구부러진 표면을 따라접촉하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 39] 제 38 항에 있어서,상기 제 1 나사형 부재는 상기 구부러진 표면을 따라방사상정렬되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 40] 제 38 항에 있어서,상기 짐벌 베이스는 상기 요크와 접촉하는 표면에 형성된계단형리세스더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 41] 제 37 항에 있어서,상기 요크는,포스트;상기 포스트에 결합된 접속 부재;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합된 제 1 플랜지 - 상기 제 1 플랜지의 대향하는 제 2 측면과 상기 짐벌 베이스를 지지하는 제 1 측면 사이에 상기 제 1 슬롯이 형성됨 - ;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합된 제 2 플랜지;상기 짐벌 베이스를 지지하는 상기 제 2 플랜지의 제 1 측면과 대향하는 제 2 측면 사이에 형성된 제 2 슬롯; 및상기 제 2 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제2나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 42] 제 41 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 1 측면은 구부러진 것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 43] 제 39 항에 있어서,상기제 1 구부러진 표면은 약 305 내지 약 304 mm사이의곡률반경가지는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 44] 제 43 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 2 측면nan은상기제1측면과동심원적구부러진것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 45] 제 37 항에 있어서,상기 클램프 블럭 내부에는 상기 요크로부터 연장되는 포스트를 수용하도록 형성된클램핑개구부더포함되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 46] 제 45 항에 있어서,상기 클램프 블럭은,적어도 부분적으로 상기 클램프 블럭을 통하여 형성되며 상기 클램핑 개구부와 연통되는 슬롯; 및상기 슬롯에 배치되며 상기 클램핑 개구부의 중심을 따라 방사상 정렬되는 방향으로 이동가능한 플런저 - 상기 플런저는 상기 포스트에 대해 가압될 때, 상기 포스트 상에 모멘트 힘이 가해지지 않는 콘택 표면을 포함함더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 47] 제 46 항에 있어서,상기 클램프 블럭은,상기 클램핑 개구부를 마주하는 상기 슬롯 위에 배치된 웨브 ; 및상기 웨브를 통하여 배치되며 상기 클래핑 개구부의 중심을 따라 방사상 정렬되는 부재 - 상기 부재는 상기 포스트에 대해 상기 플런저를 가압함더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 49] 제 48 항에 있어서,상기 짐벌 어셈블리는,그를 관통하게 형성된 적어도 제 1 슬롯을 가지는 요크;상기 기판 지지체를 지지하는 제 1 표면 및 대향하는 제 2 표면을 가지는 짐벌 베이스; 및상기 제 1 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제1나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 50] 제 49 항에 있어서,상기 요크와 짐벌 베이스는 구부러진 표면을 따라접촉되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 51] 제 50 항에 있어서,상기 제 1 나사형 부재는 상기 구부러진 표면을 따라방사상정렬되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 52] 제 50 항에 있어서,상기 짐벌 베이스의 제 2 표면 내부에는계단형리세스형성되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 53] 제 48 항에 있어서,상기 요크는,포스트 ;상기 포스트에 결합되는 접속 부재 ;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 1 플랜지 - 상기 제 1 플랜지의 대향하는 제 2 측면과 상기 짐벌 베이스를 지지하는 제 1 측면 사이에 상기 제 1 슬롯이 형성됨 - ;상기 접속 부재의 제 1 단부에 결합되는 제 2 플랜지;상기 짐벌 베이스를 지지하는 상기 제 2 플랜지의 제 1 측면과 대향하는 제 2 측면 사이에 형성된 제 2 슬롯 ; 및상기 제 2 슬롯을 통하여 배치되며 상기 요크와 짐벌 베이스를 서로에 대해 축방향으로 가압하는제2나사형부재더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 54] 제 53 항에 있어서,상기 제 1 플랜지의 제 1 측면과 제 2 측면nan은동심원적구부러진것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 55] 제 54 항에 있어서,상기 제 1 나사형 부재상에 배치되며 제 1 구부러진 표면을 가지는 스페이서 ; 및상기 제 1 나사형 부재상에 나사 고정되며 상기 제 1 플랜지의 제 2 측면에 배치된 상기 스페이서의 제 1 구부러진 표면을 가압하는너트더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 56] 제 48 항에 있어서,상기 짐벌 어셈블리는,클램프 블럭;상기 클램프 블럭에 결합된 요크 - 상기 요크는 상기 클램프 블럭을 중심으로 제 1 축을 따라 위치되며 상기 제 1 축 부근을 회전함 - ; 및상기 요크에 결합되며 상기 기판 지지체를 지지하는 짐벌 베이스 - 상기 짐벌 베이스는 상기 제 1 축과 직교하는 제 2 축 부근을 이동가능함더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 57] 제 56 항에 있어서,상기 짐벌 베이스 내부에는 실질적으로 상기 요크를 통하게 형성된 통로를 따라 정렬된 카운터 보어를 가지는다수의홀형성된것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 59] 제 58 항에 있어서,상기 짐벌 어셈블리는,클램프 블럭;상기 클램프 블럭에 결합된 요크 - 상기 요크는 상기 클램프 블럭을 중심으로 축들중 하나를 따라 위치되며 상기 축들중 하나 부근에서 회전함 - ;상기 기판 지지체를 지지하도록 접속되며 상기 요크를 중심으로 축들중 또다른 축 부근에서의 회전을 위해 상기 요크에 이동가능하게 장착된짐벌베이스더포함하는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 60] 제 59 항에 있어서,상기 각각의 축 부근에서의 이동은 상기 축을 통해 적용되는 파스너에 의해 고정된 체결력에 의해방지되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치. [청구항 61] 제 49 항에 있어서,상기 짐벌 베이스 내부에는 실질적으로 상기 요크를 통해 형성된 통로를 따라 정렬되는 카운터보어를 포함하는다수의홀들형성되는것을특징으로 하는기판 지지체의 위치설정 장치.