탑재대 구조체 및 이 탑재대 구조체를 갖는 열처리 장치 document_id 1020057019032

[청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 탑재대의 상면, 측면 및 상기 불투명 이면 커버 부재의 하면에 내열성을 갖는 상면 커버 부재, 측면 커버 부재 및 하면커버부재설치한것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 4] 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 상면 커버 부재는, 상기 탑재대의 직경과 실질적으로 동일한 직경으로 설정되어 있고, 상기 상면 커버 부재의 상면에는 볼록부가 형성되어 있는 동시에, 이 볼록부에는 오목부 형상으로 오목하게 들어가도록 하여 상기 피처리체를 탑재하기 위한수용오목부형성되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 5] 제 1 항, 제 3 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상면 커버 부재의 주연부의 상면은 상기 측면 커버 부재의 일부와 접촉하여 덮여있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재대의 측면에는불투명석영커버부재설치되는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 7] 제 3 항에 있어서,상기 불투명이면 커버 부재와 상기 하면 커버 부재의 사이에는간극형성되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 불투명이면 커버 부재의 하면에는 상기 간극을 형성하기 위한돌기형상의레그부가형성되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 지주를 원통체 형상으로 형성하는 동시에, 상기 가열 수단에 대한 급전선을 상기 탑재대의 중심부로부터 인출하여 상기 원통형의 지주내를 하방을 향해서삽입통과시키도록한것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 탑재대는 상판, 중판 및 하판을 접합하여 이루어지고, 상기 상판의 하면과 상기 중판의 상면중 어느 한쪽에, 상기 가열 수단을 수용하기 위한 배선 홈이 형성되어 있고, 상기 중판의 하면과 상기 하판의 상면중 어느 한쪽에 상기 가열 수단으로부터 연장되는 상기 급전선을 수용하는배선홈형성되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 12] 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재대의 상면에는 불투명한상면커버부재설치되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 13] 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재대에는 상기 탑재대의 상면에 퍼지용의 가스를 공급하는 백사이드용 가스 구멍이 형성되고, 상기 백사이드용 가스 구멍에는 가스를 공급하기 위한석영관접속되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 석영관은 상기 지주의 외측에 배치되어서, 그 상하단이 용착에 의해장착고정되는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 15] 제 9 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 석영 유리는투명 석영유리인것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 16] 제 9 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재대의하면측에 내열성의 불투명 이면커버부재설치한것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 17] 제 9 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재대의 상면, 측면 및 하면에 내열성을 갖는 상면 커버 부재, 측면 커버 부재 및 하면커버부재설치한것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 18] 제 9 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지주의 하단부에는 이 지주의 파손을 방지하기 위한 쿠션 부재가개재설치되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 19] 제 2 항, 제 3 항, 제 7 항, 제 8 항 및 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 불투명이면 커버 부재는불투명석영유리인것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 20] 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지주의 측면에 내열성을 갖는지주커버부재설치한것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 상면 커버 부재, 상기 측면 커버 부재, 상기 하면 커버 부재 및 상기 지주 커버 부재는 커버 부재를 구성하고, 상기 하면 커버 부재와 상기 지주 커버 부재는 일체적으로 성형되어 있고, 상기 커버 부재의 전체는 분해 및 조립이 가능하게있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 22] 제 3 항, 제 7 항, 제 8 항, 제 17 항 및 제 21 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탑재대의 상면에 형성한 상면 커버 부재 및 상기 불투명 이면 커버 부재를 제외한 다른 커버 부재는 각각 투명 석영 유리로 이루어지고, 이 투명 석영 유리의 커버 부재의 표면에는, 이것에 부착되는 막의 박리를 방지하기 위한 표면 거친처리실시되어있는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 23] 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지주의 하단부의 접합부에는 밀봉 부재가 설치되는 동시에, 상기 밀봉 부재의 근방에는 상기 밀봉 부재에 상기 탑재대측으로부터 방출되는 열을 차단하기 위한불투명부재설치되는것을특징으로 하는열처리 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 지주 전체가 불투명 부재로 이루어지고, 또한 상기 지주의 내부에 불투명 부재를 설치하며, 상기 지주 하단부의 밀봉 부재를 상기 탑재대측으로부터 방출되는열보호하는것을특징으로 하는탑재대 구조체. [청구항 26] 제 17 항에 있어서,상기 탑재대의 가열 수단이내측및외측의2개의가열존구성되어있는것을특징으로 하는열처리 장치.