하나 이상의 연마면들을 사용하여 반도체 웨이퍼들을연마하기 위한 장치 및 방법 document_id 1020057019953

[청구항 1] 제1 연마면 위에 위치한 제1 피연마체 캐리어 제2 연마면 위에 위치한 제2 피연마체 캐리어 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들 사이에 위치하며, 제1 로드/언로드 컵 및 제1 피보팅 메커니즘을 포함하며, 상기 제1 피보팅 메커니즘은 피연마체를 제1 피연마체 캐리어로부터 제2 피연마체 캐리어로 전달하기 위하여 제1 피보팅 축 주위에서 상기 제1 로드/언로드 컵을 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로 그리고 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로부터 피봇하도록 구성된, 제1 피연마체 릴레이 디바이스; 및 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들의 하나에 인접하여 위치하며, 제2 로드/언로드 컵 및 제2 피보팅 메커니즘을 포함하며, 상기 제2 피보팅 메커니즘은 상기 피연마체를 제1 피연마체 캐리어로 전달하거나 또는 제2 피연마체 캐리어로부터 전달받기 위하여 제2 피보팅 축 주위에서 상기 제2 로드/언로드 컵을 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들의 하나로 그리고 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들의 하나로부터 피봇하도록 구성된, 제2 피연마체 릴레이 디바이스 를 포함하는 연마 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기제1 및 제2 피연마체 캐리어들이 파킹 위치들에 위치하는 상기 제1 및 제2 로드/언로드 컵들과 기본적으로 평행하게 배치되도록 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들이 제1 직선 방식으로 배치되고, 상기 제1 및 제2 피연마체 릴레이 디바이스들이제2직선방식배치된것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기제1 및 제2 피연마체 캐리어들 사이의 거리가상기파킹위치들사이의거리와기본적동일한것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 피연마체를 세정하기 위한 세정기를 더 포함하며, 상기 피연마체 세정기는 상기 피연마체 세정기의 더 긴 면이 상기 제1 및 제2 연마면들에 의하여 정의되는 영역의 더 긴면인접하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 피연마체를 상기 제1 피연마체 캐리어 또는 상기 제2 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 제2 로드/언로드 컵으로 전달하는 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 피연마체를 상기 제2 피연마체 캐리어 또는 상기 제2 로드/언로드 컵으로부터 전달하는제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 제1 피연마체 캐리어가 상기 제1 및 제2 피연마체 릴레이 디바이스들 사이에 위치하도록 상기 제2 피연마체 릴레이 디바이스가 상기 제1 피연마체 캐리어에 인접하여 위치하며, 상기 제2 피연마체 캐리어가 상기 제1 피연마체 릴레이 디바이스 및 제3 피연마체 릴레이 디바이스 사이에 위치하도록 상기 제2 피연마체 캐리어에 인접하여 위치하는 상기 제3 피연마체 릴레이 디바이스들 더 포함하며, 상기 제3 피연마체 릴레이 디바이스는 제3 로드/언로드 컵 및 상기 피연마체를 제2 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위하여 상기 제3 로드/언로드 컵을 제3 피보팅 축 주위에서 상기 제2 피연마체 캐리어로 그리고 상기 제2 피연마체 캐리어로부터 피봇하도록 구성된 제3 피보팅메커니즘포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 10] 여러 개의 연마면들 위에 위치하는 여러 개의 피연마체 캐리어들; 및 적어도 하나의 피연마체 릴레이 디바이스가 두 개의 인접한 피연마체 캐리어들 사이에 위치하도록 상기 피연마체 캐리어들 사이에 위치하는 여러 개의 피연마체 릴레이 디바이스들을 포함하며, 각 피연마체 릴레이 디바이스는 로드/언로드 컵 및 피보팅 구동 메커니즘을 포함하며, 상기 피보팅 구동 메커니즘은 상기 두 개의 피연마체 캐리어들 사이에서 상기 피연마체들을 전달하도록 상기 로드/언로드 컵을 피보팅 축 주위에서 상기 두 개의 인접한 피연마체 캐리어들로 그리고 상기 두 개의 인접한 피연마체 캐리어들로부터 피봇하도록 구성된, 상기 여러 개의 피연마체 릴레이 디바이스 를 포함하는 연마 장치 [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들이직선방식배치된것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 로드/언로드 컵들의 파킹 위치들이 상기 피연마체 캐리어들이 상기 파킹 위치들에 위치하는 상기 로드/언로드 컵들과 기본적으로 평행하게 위치하도록직선방식배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들 중에서 인접한 피연마체 캐리어들 사이의 거리가 상기 파킹 위치들 중에서 인접한파킹위치들사이의거리와기본적동일한것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 14] 제10항에 있어서,상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 로드/언로드 컵들의 파킹 위치들이 직선 방식배치되는 것을특징으로 연마 장치. [청구항 15] 제10항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제1 끝단 피연마체 캐리어로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 16] 제10항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제1 끝단 피연마체 캐리어로 또는 상기 피연마체 캐리어들의 제1 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위한 추가된피연마체릴레이디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로부터 상기 피연마체들을 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로 전달하기 위하여 놓여진 제2 추가된 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 제2 추가된 피연마체 릴레이 디바이스는 로드/언로드 컵과 피보팅구동메커니즘포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 피연마체들을 상기 추가된 제2 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로부터 전달하기 위한 제2 피연마체 릴레이 디바이스더 포함하는 것을특징으로 연마 장치. [청구항 21] 제10항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들이 인접한 피연마체 캐리어들 사이의 거리가 기본적으로 동일하도록배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 22] 제10항에 있어서,상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 로드/언로드 컵들의 파킹 위치들이 상기 로드/언로드 컵들이 상기 파킹 위치들에 위치할 때 인접한 로드/언로드 컵들 사이의 거리들이 기본적으로 동일하도록배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 23] 제10항에 있어서,상기 피연마체들을 세정하도록 구성된 피연마체 세정기를 더 포함하며, 상기 피연마체 세정기는 상기 피연마체 세정기의 더 긴 면이 상기 연마면들에 의하여 정의되는 영역의 더 긴 면에 인접하도록배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 31] 제1 연마면 위에 위치한 제1 피연마체 캐리어 제2 연마면 위에 위치한 제2 피연마체 캐리어 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들 사이에 위치하며, 로드/언로드 컵을 포함하는 피연마체 릴레이 디바이스; 및 상기 피연마체 릴레이 디바이스에 연결되며, 피연마체들을 상기 제1 피연마체 캐리어로부터 상기 제2 피연마체 캐리어로 전달하기 위하여 기본적으로 직선 왕복 방식으로 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로 그리고 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로부터 상기 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵을 움직이도록 구성된 직선 구동 메커니즘을 포함하는 연마 장치 [청구항 32] 제31항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 제1 피연마체 캐리어로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 피연마체들을 상기 제2 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 33] 제31항에 있어서,상기 제1 연마면 위에 위치한 제1 추가된 피연마체 캐리어;상기 제2 연마면 위에 위치한 제2 추가된 피연마체 캐리어; 및상기 제1 및 제2 추가된 피연마체 캐리어들 사이에 위치하며, 추가된 로드/언로드 컵을 포함하는 추가된 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스는 상기 피연마체들을 상기 제1 추가된 피연마체 캐리어로부터 상기 제2 추가된 피연마체 캐리어로 전달하기 위하여 상기 추가된 로드/언로드 컵을 상당한 정도 직선 왕복 방식으로 상기 제1 및 제2 추가된 피연마체 캐리어들로 그리고 상기 제1 및 제2 추가된피연마체캐리어들구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 34] 제33항에 있어서,상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스는 상기 추가된 로드/언로드 컵이 함께 직선적으로 움직이도록상기피연마체릴레이디바이스연결되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 35] 제31항에 있어서,개의 연마면 위에 위치하며, 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들을 포함하는 여러 개의 피연마체 캐리어들; 및 적어도 하나의 피연마체 릴레이 디바이스가 두 개의 인접한 피연마체 캐리어들 사이에 위치하도록 상기 피연마체 캐리어들 사이에 위치하는 여러 개의 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 피연마체 릴레이 디바이스들은 직선적으로 움직여지기 위하여 상기 직선 구동 메커니즘에 연결되며, 각각의 피연마체 릴레이 디바이스는 로드/언로드 컵을 포함하고, 상기 여러 개의 피연마체 릴레이 디바이스들은상기피연마체릴레이디바이스포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 36] 제35항에 있어서,상기 직선 구동 메커니즘이 기본적으로 직선 동작에 따라 상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 일부를 함께 움직일 수구성된것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 37] 제35항에 있어서,상기 직선 구동 메커니즘이 기본적으로 직선 동작에 따라 상기 피연마체 릴레이 디바이스들 각각을 개별적으로 움직일 수구성된것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 38] 제35항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들이직선방식배치되는것을특징으로 하는연마 장치 [청구항 39] 제38항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들이 상기 로드/언로드 컵들과 기본적으로 평행하게 위치하도록 상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 상기 로드/언로드 컵들이직선방식배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 40] 제39항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들의 인접한 피연마체 캐리어들 사이의 거리가 상기 인접한 릴레이 디바이스들의 로드/언로드컵들사이의거리와기본적동일한것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 41] 제35항에 있어서,상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 상기 로드/언로드 컵들이직선방식배치되는것을특징으로 하는연마 장치 [청구항 42] 제35항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제1 끝단 피연마체 캐리어에 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 43] 제35항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 한 쪽 끝단 피연마체 캐리어로 또는 상기 피연마체 캐리어들의 한 쪽 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위한 추가된 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스는 로드/언로드컵포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 44] 제43항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 추가된 웨이퍼 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 45] 제43항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 46] 제43항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로 전달하기 위한 제2 추가된 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 제2 추가된 피연마체 릴레이 디바이스는 로드/언로드컵포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 47] 제46항에 있어서,상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로 전달하기 위한 제1 피연마체 이송 디바이스; 및 상기 피연마체들을 상기 제2 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵으로부터 전달하기 위한제2피연마체이송디바이스더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 48] 제35항에 있어서,인접한 피연마체 캐리어들 사이의 거리가 기본적으로 동일해지도록상기피연마체캐리어들배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 49] 제35항에 있어서,상기 로드/언로드 컵들이 각각의 파킹 위치에 위치할 때 인접한 로드/언로드 컵들 사이의 거리들이 기본적으로 동일해지도록 상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 상기 로드/언로드컵들배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 50] 제35항에 있어서,상기 피연마체 캐리어들의 적어도 하나 및 상기 추가된 피연마체 캐리어들의 적어도 하나가 상기 연마면들의 각각 위에 위치하도록 상기 여러 개의 연마면들 위에 위치하는 여러 개의 추가된 피연마체 캐리어들; 및적어도 하나의 피연마체 릴레이 디바이스가 두 개의 인접한 추가된 피연마체 캐리어들 사이에 위치하도록 상기 추가된 피연마체 캐리어들 사이에 위치하는 여러 개의 추가된 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하며,상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스들의 각각이 추가된 로드/언로드 컵을 포함하며, 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스들의 각각의 추가된 로드/언로드 컵은 상기 피연마체들을 두 개의 인접한 피연마체 캐리어들 사이에서 전달할 수 있도록 기본적으로직선왕복방식으로움직이는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 51] 제50항에 있어서,상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스들의 상기 적어도 하나의 추가된 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 추가된 로드/언로드 컵과 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스들의 적어도 하나 및 상기 피연마체 릴레이 디바이스들의 상기 적어도 하나의 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵이 함께 직선적으로 움직이도록 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스들의 적어도 하나가상기피연마체릴레이디바이스들의적어도하나연결되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 52] 제31항에 있어서,상기 피연마체들을 세정하도록 구성된 피연마체 세정기를 더 포함하며, 상기 피연마체 캐리어의 더 긴 면이 상기 제1 및 제2 연마면들에 의하여 정의되는 영역의 더 긴 면에 인접하도록 상기 피연마체 세정기위치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 68] 피연마체들을 받아 들이는 입력단과 상기 피연마체들을 출력하는 출력단을 가지며, 여러 개의 연마면들, 상기 연마면들의 두 개의 인접한 연마면들 사이에 위치하는 피연마체 전달 스테이션, 각각의 피연마체 캐리어들이 상기 피연마체들의 하나를 잡도록 구성된 여러 개의 피연마체 캐리어들, 상기 피연마체 캐리어들의 적어도 하나를 상기 피연마체 전달 스테이션과 상기 두 개의 인접한 연마면들의 하나로 그리고 상기 피연마체 전달 스테이션과 상기 두 개의 인접한 연마면들의 하나로부터 이동하도록 구성되며 상기 피연마체 캐리어의 적어도 하나에 연결되어 동작되 는 적어도 하나의 구동 메커니즘을 포함하는 피연마체 스테이션; 및 상기 피연마체 캐리어들 각각이 상기 연마면들 상에서 연마되도록 상기 피연마체 각각이 상기 입력단으로부터 상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 연마면을 통하여 상기 출력단으로 전달되며, 상기 피연마체들을 상기 피연마체 연마 스테이션의 입력단으로 전달하고 상기 피연마체들을 상기 피연마체 연마 스테이션의 출력단으로부터 전달하는 적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스 를 포함하는 연마 장치 [청구항 69] 제68항에 있어서,적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 피연마체 캐리어들의 제1 끝 단 피연마체 캐리어에 상기 피연마체들을 직접 전달하며, 상기 적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어에상기피연마체들직접전달하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 70] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 구동 메커니즘이 상기 피연마체 캐리어들의 일부를 기본적으로 직선 방식에 따라 함께 이동시키도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 71] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 구동 메커니즘이 상기 피연마체 캐리어들 각각을 기본적으로 직선 방식에 따라 개별적으로 이동시키도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 72] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션이 여러 개의 구동 메커니즘을 더 포함하며, 상기 여러 개의 구동 메커니즘들이 상기 구동 메커니즘을 포함하며, 상기 구동 메커니즘 각각이 상기 피연마체 캐리어들 각각을 피보팅 방식에 따라 개별적으로 이동시키도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 73] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 피연마체 캐리어들이직선방식배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 74] 제73항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션이 적어도 하나의 피연마체 전달 스테이션이 두 개의 인접한 피연마면 사이에 위치하도록 상기 피연마면들 사이에 위치하는 여러 개의 피연마체 전달 스테이션들을 포함하며, 상기 여러 개의 피연마체 전달 스테이션들은 상기 피연마체 전달 스테이션을 포함하며, 상기 피연마체 전달 스테이션들은 상기 피연마체 전달 스테이션들이 기본적으로 상기 피연마체 캐리어들과 평행하게 위치되도록 직선 방식에 따라배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 75] 제74항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션의 인접한 피연마체 캐리어들 사이의 거리가 상기 피연마체 연마 스테이션의 인접한 피연마체 전달 스테이션들 사이의 거리와 기본적으로 같은 것특징으로 하는연마 장치. [청구항 76] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션이 적어도 하나의 피연마체 전달 스테이션이 두 개의 인접한 연마면들 사이에 위치하도록 상기 연마면들 사이에 위치하는 여러 개의 피연마체 전달 스테이션들을 더 포함하며, 상기 여러 개의 피연마체 전달 스테이션들이 상기 피연마체 전달 스테이션을 포함하며, 상기 피연마체 전달 스테이션들이 직선 방식에 따라배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 77] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션이 상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 한 쪽 끝단 피연마체 캐리어로 또는 상기 피연마체 캐리어들의 한 쪽 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하도록 위치된 추가된피연마체전달스테이션포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 78] 제77항에 있어서,적어도 하나의 이송 디바이스가 상기 피연마체들을 상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 추가된 피연마체 전달 스테이션으로 전달하도록 구성되며, 이에 더하여 상기 적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체를 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로부터 전달하도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 79] 제78항에 있어서,적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체를 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로 전달하도록 구성되며, 이에 더하여 상기 적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 전달 스테이션으로 전달하도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 80] 제77항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션이 상기 피연마체들을 상기 피연마체 캐리어들의 제2 끝단 피연마체 캐리어로 전달하도록 위치한 제2 추가된피연마체전달스테이션더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 81] 제80항에 있어서,적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 전달 스테이션으로 전달하도록 구성되며, 이에 더하여 상기 적어도 하나의 피연마체 이송 디바이스가 상기 피연마체들을 상기 제2 끝단 피연마체 전달 스테이션으로부터 전달하도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 82] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션의 상기 피연마체 캐리어들이 인접한 피연마체 캐리어들 사이의 거리들이기본적배치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 83] 제68항에 있어서,상기 피연마체 연마 스테이션이 상기 추가된 피연마체 전달 스테이션들의 적어도 하나가 두 개의 인접한 연마면들 사이에 위치하도록 상기 연마면들 사이에 위치하는 여러 개의 추가된 피연마체 전달 스테이션들; 및그 각각이 상기 피연마체들을 상기 추가된 피연마체 전달 스테이션들의 하나와 상기 피연마면들의 하나 사이에서 전달하도록 기본적으로 직선 왕복 방식에 따라 이동되는 여러 개의 추가된피연마체캐리어들포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 84] 제83항에 있어서,상기 추가된 피연마체 캐리어들의 적어도 하나가 상기 추가된 피연마체 캐리어들의 상기 적어도 하나 및 상기 피연마체 캐리어들의 상기 적어도 하나가 함께 이동되도록상기피연마체캐리어들의적어도하나연결되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 85] 제68항에 있어서,상기 피연마체들을 세정하도록 구성되는 피연마체 세정기를 더 포함하며, 상기 피연마체 세정기는 상기 피연마체의 더 긴 면이 상기 피연마면들에 의해서 정의되는 영역의 더 긴 면에 인접하도록위치되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 98] 제1 피연마체 이송 디바이스; 제2 피연마체 이송 디바이스; 및 적어도 하나의 연마면 및 피연마체들을 상기 연마면 상에서 연마하기 위하여 상기 연마면 위에 위치하는 제1 및 제2 피연마체 캐리어들을 포함하며 상기 피연마체들 각각이 상기 제1 피연마체 이송 디바이스로부터 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들의 하나를 거쳐서 상기 제2 피연마체 이송 디바이스로 전달되는 피연마체 연마 유닛을 포함하는 연마 장치 [청구항 99] 제98항에 있어서,상기 피연마체 연마 유닛이 상기 제1 피연마체 캐리어가 상기 피연마체들의 일부를 제1 연마면 상에서 연마하고 상기 제2 피연마체 캐리어가 상기 피연마체들의 일부를 제2 연마면 상에서 연마할 수 있도록 상기 제1및제2연마면들더포함하는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 100] 제98항에 있어서,상기 피연마체 연마 유닛이 상기 제1 및 제2 피연마체 이송 디바이스들 사이에 위치하는 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 피연마체 릴레이 디바이스는 로드/언로드 컵 및 피보팅 구동 메커니즘을 포함하며, 상기 피보팅 구동 메커니즘은 상기 피연마체들을 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로 또는 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로부터 전달하기 위하여 상기 로드/언로드 컵을 피봇팅 축 주위에서 피봇하도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치 [청구항 101] 제100항에 있어서,상기 피연마체 연마 유닛이 상기 피연마체 릴레이 디바이스와 상기 제2 피연마체 이송 디바이스 사이에 위치하는 추가된 피연마체 릴레이 디바이스를 더 포함하며, 상기 추가된 피연마체 릴레이 디바이스가 추가된 로드/언로드 컵 및 추가된 피보팅 구동 메커니즘을 포함하며, 상기 추가된 피보팅 구동 메커니즘은 상기 피연마체들을 상기 제1 및 제2 피연마체 캐리어들로부터 전달하기 위하여 상기 추가된 로드/언로드 컵을 제2 피봇팅 축 주위에서 피봇하도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치 [청구항 102] 제98항에 있어서,상기 피연마체 연마 유닛은 상기 제1 및 제2 피연마체 이송 디바이스들 사이에 위치하는 제1 및 제2 피연마체 릴레이 디바이스들을 더 포함하며, 상기 제1 및 제2 피연마체 릴레이 디바이스들 각각이 로드/언로드 컵 및 피보팅 구동 메커니즘을 포함하며, 상기 제1 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 피보팅 구동 메커니즘은 상기 피연마체의 일부를 상기 제1 피연마체 캐리어로 또는 상기 제1 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위하여 상기 제1 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵을 제1 피보팅 축 주위에서 피봇하도록 구성되며, 상기 제2 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 피보팅 구동 메커니즘은 상기 피연마체의 일부를 상기 제2 피연마체 캐리어로 또는 상기 제2 피연마체 캐리어로부터 전달하기 위하여 상기 제2 피연마체 릴레이 디바이스의 상기 로드/언로드 컵을 제2 피보팅 축 주위에서 피봇하도록구성되는것을특징으로 하는연마 장치. [청구항 108] 로드/언로드 컵 상기 로드/언로드 컵을 수평 방향으로 움직이기 위하여 상기 로드/언로드 컵에 연결되는 아암; 및 상기 로드/언로드 컵을 상기 아암에 대해 상대적으로 상승 및 하강시키도록 구성되며, 상기 로드/언로드 컵과 상기 아암에 연결되는 컵 상승/하강 메커니즘을 포함하는 피연마체 로딩 및 언로딩을 위한 피연마체 릴레이 디바이스 [청구항 109] 제108항에 있어서,상기 로드/언로드 컵이 상기 로드/언로드 컵의 표면에 연결된 중앙 공기 주머니를 포함하며, 상기 중앙 공기 주머니는 유체역학적으로 상기 표면에 대하여 상대적으로 수직 방향으로 팽창하거나 수축되도록 구성되며, 상기 중앙 공기 주머니는 상기 중앙 공기 주머니가 팽창하였을 때 상기 피연마체를 상승시키도록 상기 피연마체를 지지하게끔구성되는것을특징으로 하는피연마체 릴레이 디바이스. [청구항 110] 제108항에 있어서,수직 방향의 힘을 흡수하기 위하여 상기 로드/언로드 컵에 연결되는공기완충메커니즘더포함하는것을특징으로 하는피연마체 릴레이 디바이스. [청구항 111] 제108항에 있어서,상기 로드/언로드 컵이,피연마체 지지 구조;그 각각의 공기 주머니들이 상기 피연마체 지지 구조의 표면에 대하여 유체역학적으로 상대적으로 수직 방향으로 팽창 및 수축하게끔 구성되며, 상기 지지 구조에 연결되는 여러 개의 공기 주머니들; 및 적어도 하나의 공기 주머니가 각각의 얼라이너에 연결되도록 상기 여러 개의 공기 주머니들에 연결된 여러 개의 얼라이너들을 포함하며, 상기 얼라이너들 각각이 상기 공기 주머니들이 팽창하였을 때 상기 피연마체를 지지하는 제1 수평 부분과 피연마체 캐리어의 밑 부분과 접촉하는제2수평부분포함하는것을특징으로 하는피연마체 릴레이 디바이스. [청구항 112] 제111항에 있어서,상기 로드/언로드 컵이 상기 피연마체 지지 구조와 상기 얼라이너들에 연결되는 여러 개의 제2 공기 주머니들을 더 포함하며, 상기 제2 공기 주머니들 각각이 상기 피연마체 지지 구조에 대하여 상대적으로 수평 방향으로 유체역학적으로 팽창되고 수축되도록구성되는것을특징으로 하는피연마체 릴레이 디바이스. [청구항 113] 제112항에 있어서,상기 얼라이너들각각이 상기 제2 공기 주머니들이 팽창되었을 때 상기 피연마체의 옆면을 안쪽으로 움직이는 제1 수직 부분 및 상기 제2 공기 주머니들이 팽창되었을 때 상기 피연마체 캐리어의 바깥 쪽 표면을 접하는 제2 수직 부분을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드언로드 컵 디바이스.