로드록 및 버퍼를 갖는 워크피스 처리 시스템 document_id 1020057022057

[청구항 2] 제1항에 있어서,하나또는 두 개의 워크-피스를 동시에 고압 영역으로부터 저압 영역으로 그리고 다시 상기 고압 영역으로 전송하는 하나 이상의 부가적인 워크-피스 격리 로드 록을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 워크-피스 격리 로드 록을 통하여 이동된 워크-피스의 정렬을 제어하는 워크-피스 정렬기를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 버퍼는 상기 로봇에 의한 액세스를 위해 일반적으로 평행한 구성으로 다수의 얇은 웨이퍼를 저장하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 격리 로드 록은:대기로 로드 록 하우징 내부를 벤팅하기 위한 제1 관통로 및 로드 록 하우징 내부 내에서 압력을 낮추기 위하여 진공 소스에 결합된 제2 관통로를 포함하는 로드 록 하우징;상기 하우징 내부 내의 지지부 상에 위치된 웨이퍼를 지지하는 받침대 지지부;워크-피스가 로드 록 하우징 내부 내로 삽입되어 받침대 지지부 상으로 위치되도록 개방 및 폐쇄되는 측면 입구; 및상기 받침대 지지부를 상승 및 하강시킴으로써 하우징 내부 내에서 상기 워크피스를 이동시키는 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 로드 록 하우징은 상기 측면 입구를 포함하는 제1 내부 영역 및 로봇에 액세스 가능한 저압 영역과 유체 연통되어 있는 제2 내부 영역을 규정하는 벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 받침대의 표면은 상기 로드 록 내부의 제1과 제2 내부 영역 사이의 압력 격리를 유지하기 위하여 상기 벽의 접촉 영역을 따라 시일을 형성하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 격리 로드 록은:로드 록 하우징 내부를 대기에 노출시키는 제1 밸브 및 로드 록 하우징 내부를 진공 영역에 노출시키는 제2 밸브를 포함하는 로드 록 하우징; 및상기 워크피스가 상기 제1 또는 제2 밸브 중 하나를 통하여 상기 하우징 내부로 이동된 이후에, 상기 하우징 내에서 워크피스를 지지하는 워크피스 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 저압 영역으로부터 워크-피스를 제거함이 없이 다수의 처리 단계를 수행하기 위하여 다수의 워크-피스를 저장하는 저압 여역 내의 워크-피스 버퍼를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 소스 및 상기 목적지는 다수의 워크-피스를 유지할 수 있는 단일 저장 장치인 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스를 처리하는 툴함께 사용하기 위한전송 장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,다수의 암을 갖는 단일 로봇은 워크-피스를 상기 로드 록으로부터 상기 버퍼로, 상기 버퍼 또는 상기 로드록으로부터 상기 워크-피스 처리 스테이션으로, 그리고 상기 처리 스테이션으로부터 상기 버퍼 또는 상기 로드록으로 전송하는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스처리하는공정. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 처리 스테이션은 이온 빔 처리 스테이션을 포함하며, 상기 워크-피스는 방법의 시퀀스로 다수 번 처리되며, 방법들 사이에서 상기 워크 피스는 저압 영역으로부터의 제거 없이 상기 버퍼 내에 저장되는 것을 특징으로 하는 부압에서 워크-피스처리하는공정. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 워크-피스가 부압 영역 내로 이동되도록 하는 상기 제1 로드록 내로의 삽입 이전에 워크-피스 정렬 스테이션에서 처리되지 않은 워크-피스를 정렬시키는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 다수의 워크-피스를 연속적처리하는공정. [청구항 17] 제15항에 있어서,처리되지 않은 워크-피스를 제2 로드록으로 이동시키고 상기 처리되지 않은 워크-피스를 상기 제2 로드록 내측에 위치시키는 단계;상기 제2 로드록 내의 압력을 감소시키기 위하여 상기 제2 로드록을 진공 상태로 하는 단계; 및상기 처리되지 않은 워크-피스를 제2 로드록으로부터 워크-피스 처리 스테이션으로 이동시키는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 다수의 워크-피스를 연속적처리하는공정. [청구항 18] 제17항에 있어서,처리되지 않은 워크피스를 상기 제1 로드록으로 이동시키는 상기 공정은 고압 영역에서 제1 로봇에 의해 수행되며, 처리되지 않은 워크피스를 상기 제2 로드록으로 이동시키는 상기 공정은 상기 고압 영역에서 제2 로봇에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 부압에서 다수의 워크-피스를 연속적처리하는공정. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기제1 및 제2 로드록 중 하나로부터 처리된 워크-피스를 제거한 이후에 버퍼 내에 처리된 워크-피스를 저장하는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 다수의 워크-피스를 연속적처리하는공정. [청구항 20] 제19항에 있어서,처리된 워크피스를 상기 워크피스가 상기 처리 스테이션에서의 처리 이전에 제거되는 저장 유닛으로 다시 이동시키는 단계를 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 부압에서 다수의 워크-피스를 연속적처리하는공정.