전자 소자, 집적 회로 및 그 제조 방법 document_id 1020057022460

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 복수의 전극은 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극으로 이루어지며,전계효과트랜지스터구조구성하고있는것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 전계 효과 트랜지스터 구조가구조인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 전계 효과 트랜지스터 구조가구조인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 카본 나노튜브 구조체층은, 상기 복수의 카본 나노튜브의 가교 부위간을 접속하는 카본 나노튜브가주로단층카본나노튜브인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 6] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 카본 나노튜브 구조체층은, 상기 복수의 카본 나노튜브의 가교 부위간을 접속하는 카본 나노튜브가주로다층카본나노튜브인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 7] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가교 부위를 구성하는 화학 결합이 (-coo(ch2)2oco-), -cooch2chohch2oco-, -cooch2ch(oco-)ch2oh, -cooch2ch(oco-)ch2oco-, 및 -coo-c6h4-coo- 으로 이루어지는 군에서 선택되는적어도1개의화학결합인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 8] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가교 부위를 구성하는 화학 결합이 -cooco-, -o-, -nhco-, -coo-, -nch-, -nh-, -s-, -o-, -nhcoo-, 및, -s-s- 로 이루어지는 군에서 선택되는적어도1개의화학결합인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 카본 나노튜브 구조체가, 관능기가 결합된 복수의 카본 나노튜브를 함유하는 용액을 사용하여, 상기 카본 나노튜브가 접속된 복수의 상기 관능기간을 화학 결합시켜가교부위형성되어이루어지는것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 카본 나노튜브 구조체가 관능기를 가진 카본 나노튜브 및 상기 관능기와 가교 반응을 일으키는 가교제를 함유하는 용액을 경화시킴에 의해, 다른 상기 카본 나노튜브에 결합한 복수의 상기 관능기와 상기 가교제를 가교 반응시켜가교부위형성되는것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 가교제가비자기중합성가교제인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 12] 제10항 또는 제11항에 있어서,상기 관능기가 -oh, -cooh, -coor(r은 치환 또는 미치환의 탄화수소기), -cox(x는 할로겐 원자), -nh2 및 -nco로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개의 기이고, 상기 가교제가 상기 선택된 관능기와 가교 반응을 일으킬 수 있는가교제인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 13] 제10항 또는 제11항에 있어서,상기 가교제가 폴리올, 폴리아민, 폴리카복실산, 폴리카복실산 에스테르, 폴리카복실산 할라이드, 폴리카보디이미드, 폴리이소시아네이트 및 히드로퀴논으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개의 가교제이고, 상기 관능기가 상기 선택된 가교제와 가교 반응을 일으킬 수 있는관능기인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 14] 제10항 또는 제11항에 있어서,상기 관능기가 -oh, -cooh, -coor(r은 치환 또는 미치환의 탄화수소기), -cox(x는 할로겐 원자), -nh2 및 -nco로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개의 기이고,상기 가교제가 폴리올, 폴리아민, 폴리카복실산, 폴리카복실산 에스테르, 폴리카복실산 할라이드, 폴리카보디이미드, 폴리이소시아네이트 및 히드로퀴논으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개의 가교제이고,상기 관능기와 상기 가교제가 서로 가교 반응을 일으킬 수 있는조합각각선택된것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 15] 제9항에 있어서,상기 가교 부위는 복수의 상기 관능기끼리의 화학 결합에 의해형성되어있는것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 화학 결합을 일으키는 반응이 탈수 축합, 치환 반응, 부가 반응 및 산화 반응으로 이루어지는 군에서 선택되는적어도1개인것을특징으로 하는전자 소자. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 수송층이 상기 카본 나노튜브 구조체를 상기 수송층의 형성 영역에 따른 형상으로 패터닝된 것인 것특징으로 하는전자 소자. [청구항 18] 제1항에 있어서,상기 복수의 전극과, 상기 수송층이 형성된플렉시블기판구비하는것을특징으로 하는전자 소자.