문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 에어분사유닛은 상기 웨이퍼 척의 내부에 형성되는 에어분사유로와, 상기 에어분사유로와 연통되며 상기 웨이퍼 척의 상면의 가장자리 영역을 통해 노출되는 다수의 에어분사홀과, 상기 에어분사유로와 연결되며 상기 웨이퍼 척의 외부에 배치되는 에어분사라인 및 상기 에어분사라인에 연결되는분사펌프구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 에어분사유닛은 에어의 분사력을 측정하는압력센서더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 에어분사유닛을 통해 상기 웨이퍼의 에지부로 분사되는 에어분사 시기를 제어하기 위한제어부더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 에어분사유닛은 상기 몸체의 내부에 형성되는 에어분사유로와, 상기 에어분사유로와 연통되며 상기 에지링의 상면을 통해 노출되는 다수의 에어분사홀과, 상기 몸체의 외부에 배치되어 상기 에어분사유로와 연결되는 에어분사라인 및 상기 에어분사라인에 연결되는에어분사펌프구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 에어분사유닛은 에어의 분사력을 측정하는압력센서더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 웨이퍼의 안착되는 과정에서 상기 몸체로 안내되는 상기 웨이퍼를 진공흡착하기 위한진공유닛더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 진공유닛은 상기 몸체의 내부에 형성되는 진공유로와, 상기 진공유로에 연통되며 상기 다수의 안착돌기의 상면을 통해 노출되는 다수의 진공홀과, 상기 몸체의 외부에 배치되어 상기 진공유로와 연결되는 진공라인 및 상기 진공라인에 연결되는진공펌프구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 진공유닛은 상기 웨이퍼의 안착 시 상기 진공펌프를 통해 상기 웨이퍼에 인가되는 진공흡착력을 감지하기 위한진공센서더구비하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 11]
제 10항에 있어서,상기 제어부는 상기 웨이퍼의 에지부로 에어분사 시기를 제어하기 위하여상기진공펌프와상기진공센서및상기에어분사펌프와전기적연결된것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 12]
제 5항에 있어서,상기 리프트핀에 의해 상기 웨이퍼의 안착되는 과정에서 상기 웨이퍼의 위치를 감지하는위치감지센서더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 위치감지센서는 상기 리프트핀에 의해 하강되는 상기 웨이퍼 측으로 발광하여 상기 웨이퍼에 의해 반사된 광을 수광하는광센서인것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 14]
제 12항에 있어서,상기 위치감지센서는 상기 리프트핀에 의해 하강되는 상기 웨이퍼를 감지하는근접센서인것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
[청구항 15]
제 12항에 있어서,상기 제어부는 상기 위치감지센서와 전기적으로 연결되어 상기 위치감지센서에서 감지되는 상기 웨이퍼의 위치에 따라 상기 웨이퍼의 에지부로 분사되는에어분사시기제어하는것을특징으로 하는웨이퍼 스테이지.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 스테이지에서 제어부가 웨이퍼의 에지부로 분사되는 에어분사 시기를 제어하기 위해 전기적으로 연결되어 있는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 에지부 에어분사 시기를 제어하는 제어부와 전기적으로 연결된 구성 요소들을 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 11에서 제어부가 에어분사 시기 제어를 위해 전기적으로 연결된 구성 요소들을 명시하고 있다.
- 상기 제어부는 상기 웨이퍼의 에지부로 에어분사 시기를 제어하기 위하여상기진공펌프와상기진공센서및상기에어분사펌프와전기적연결된것을특징으로 하는
-
3근거 선택
evidence_selection제어부와 전기적으로 연결된 대상인 진공펌프, 진공센서, 에어분사펌프를 추출한다.
- 상기진공펌프와상기진공센서및상기에어분사펌프와전기적연결된
-
4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 구성 요소(진공펌프, 진공센서, 에어분사펌프)가 질문에서 요구하는 제어부의 연결 대상임을 확인한다.
- 상기 제어부는 상기 웨이퍼의 에지부로 에어분사 시기를 제어하기 위하여상기진공펌프와상기진공센서및상기에어분사펌프와전기적연결된
-
5결론 도출
conclusion_formulation제어부와 전기적으로 연결된 구성 요소는 진공펌프, 진공센서, 에어분사펌프이다.
- 상기진공펌프와상기진공센서및상기에어분사펌프와전기적연결된
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 리스트 형식을 사용하여 구성 요소들을 나열한다.
- 상기진공펌프와상기진공센서및상기에어분사펌프와전기적연결된
최종 답변 (final_answer)
진공펌프, 진공센서, 에어분사펌프
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼의 에지부 에어분사 시기를 정밀하게 제어하기 위해 제어부가 진공 시스템(진공펌프, 진공센서) 및 에어 분사 시스템(에어분사펌프)과 전기적으로 연동되어 있음을 나타낸다.