기판 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 세정 장치 document_id 1020060002072

[청구항 2] 제1항에 있어서,물질nan은액상물질포함하는것을특징으로 하는기판 이송 로봇. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 센서는,상기 블레이드의 표면 상에 배치된 도전선;상기 도전선에 센싱 전류를 인가하기 위한 파워 소스; 및상기 도전선과 연결되며 상기 센싱 전류를 측정하기 위한전류계포함하는것을특징으로 하는기판 이송 로봇. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 센서는 상기 도전선에 직렬로 연결된전기저항더포함하는것을특징으로 하는기판 이송 로봇. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 도전선nan은지그재그형태배치되어있는것을특징으로 하는기판 이송 로봇. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 센서는 상기 블레이드의 양측 가장자리 부위에 서로 마주하여 배치된발광부와수광부포함하는것을특징으로 하는기판 이송 로봇. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 센서에 의해 발생된 센싱 신호에 따라 상기 구동부의 동작을 제어하기 위한제어부더포함하는것을특징으로 하는기판 이송 로봇. [청구항 9] 제8항에 있어서,물질은 상기 프로세싱 모듈에서 사용되는세정액또는린스액포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 센서는,상기 블레이드의 표면 상에 배치된 도전선;상기 도전선에 직렬로 연결된 전기 저항;상기 도전선에 센싱 전류를 인가하기 위한 파워 소스; 및상기 도전선과 연결되며 상기 센싱 전류를 측정하기 위한전류계포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 센서는 상기 블레이드의 양측 가장자리 부위에 서로 마주하여 배치된발광부와수광부포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 12] 제8항에 있어서,상기 센서에 의해 발생된 센싱 신호에 따라 상기 구동부의 동작을 제어하기 위한제어부더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 13] 제8항에 있어서,상기 기판 이송 로봇은 상기 로드 포트와 상기 프로세싱 모듈 사이에 배치된기판이송챔버내배치되어있는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 14] 제8항에 있어서,상기 프로세싱 모듈은,상기 기판 이송 로봇에 의해 이송된 기판을 지지하며 회전시키기 위한 회전척;상기 회전척에 의해 지지된 기판의 상부면으로 세정액 및 린스액을 제공하기 위한 제1 용액 제공부; 및상기 회전척에 의해 지지된 기판의 하부면으로 세정액 및 린스액을 제공하기 위한제2용액제공부포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 프로세싱 모듈은,초음파 에너지를 제공하기 위한 초음파 변환기; 및상기 초음파 에너지를 상기 기판 상에 공급된 세정액으로 인가하기 위하여 상기 초음파 변환기와 결합되어 상기 기판과 인접하게 배치되는프로브더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 16] 제14항에 있어서,상기 회전척은,상기 기판을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 회전 구동부;상기 회전 구동부와 연결된 회전축;상기 회전척으로부터 방사상으로 연장하는 다수의 스포크들(spokes);상기 스포크들에 의해 지지된 외측 림(rim); 및상기 외측 림 상에 배치되며 상기 기판을 지지하기 위한다수의지지부재들포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 제2 용액 제공부는 상기 스포크들 상에 지지된 기판 아래에 배치되어 상기 기판의 하부면과 평행하게 연장하며 상기 세정액 및 린스액을 상기 기판의 하부면으로 제공하기 위한다수의노즐들갖는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 프로세싱 모듈은 상기 제2 용액 제공부 상에 배치되며, 상기 회전척 상에 지지된 기판을 감지하기 위한제2센서더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치. [청구항 19] 제14항에 있어서,상기 프로세싱 모듈은 상기 린스액에 의해 린스된 기판을 건조시키기 위하여 상기 기판 상으로 건조 가스 제공하기 위한건조가스제공부더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 장치.