반도체 제조설비 및 이를 이용한 반도체 제조방법 document_id 1020060005889

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 제1공정진행부에는 상기 제1공정진행부에 의해 상기 제1공정이 진행되도록 각각 단위 단계를 진행하는 적어도 2개 이상의 유닛들과 상기 유닛들로 상기 웨이퍼를 이송시켜주는 로봇이 구비되고, 상기 속도조절장치는 상기 유닛들 중 어느 한 유닛에서 다른 한 유닛으로 이송되기까지의 상기 웨이퍼의 이송시간을 딜레이시키거나 상기 유닛들 중 마지막 단계를 진행하는 어느 한 유닛에서 상기 제2장치로 이송되기까지의 상기 웨이퍼의 이송시간을 딜레이시킴으로상기제1공정의공정진행속도조절하는것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 제1공정을 진행하는데 소요되는 시간이 상기 제2공정을 진행하는데 소요되는 시간과 같도록상기제1공정의공정진행속도조절하는것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 제1공정진행부와 상기 제2장치에 각각 연결되어 상기 제1공정을 진행하는데 소요되는 시간과 상기 제2공정을 진행하는데 소요되는 시간을 실시간으로 감지하는 공정소요시간 검사부와, 상기 제1공정진행부에 연결되고 상기 공정소요시간 검사부에서 감지한 값에 따라 상기 제1공정의 공정 진행속도를 제어하는속도제어부포함한것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 5] 제 1항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 제1공정진행부에 의해 진행된 상기 제1공정의 공정 소요시간 값과 상기 제2장치에 의해 진행된 상기 제2공정의 공정 소요시간 값이 저장되는 공정소요시간 저장부와, 상기 제1공정진행부에 연결되고 상기 공정소요시간 저장부에 저장된 값에 따라 상기 제1공정의 공정 진행속도를 제어하는속도제어부포함한것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 제1공정은 상기 웨이퍼 상에 감광제를 도포하는 공정이고, 상기 제2공정은 상기 감광제가 도포된 웨이퍼 상에 일정 패턴을 형성하기 위하여 광을 조사하는공정인것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 제1장치에는 상기 노광된 웨이퍼를 현상하는 제3공정을 진행하는제2공정진행부가구비된것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 제3공정을 진행하는데 소요되는 시간을 감지하여 상기 제2공정을 진행하는데 소요되는 시간이 상기 제3공정을 진행하는데 소요되는 시간보다 더 빠를 경우 상기 제2공정을 진행하는데 소요되는 시간이 상기 제3공정을 진행하는데 소요되는 시간과 같도록상기제2공정의공정진행속도조절하는것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 장치들에는 상기 장치들에 의해 각 공정들이 진행되도록 각각 단위 단계를 진행하는 적어도 2개 이상의 유닛들과 상기 유닛들로 상기 웨이퍼를 이송시켜주는 로봇이 구비되고, 상기 속도조절장치는 상기 유닛들 중 어느 한 유닛에서 다른 한 유닛으로 이송되기까지의 상기 웨이퍼의 이송시간을 딜레이시키거나 상기 유닛들 중 마지막 단계를 진행하는 어느 한 유닛에서 그 직후에 이어지는 공정을 진행하는 장치로 이송되기까지의 상기 웨이퍼의 이송시간을 딜레이시킴으로 상기 어느 한공정의공정진행속도조절하는것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 11] 제 9항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 어느 한 공정의 공정진행 소요시간이 그 직후에 이어지는 공정의 공정진행 소요시간과 같도록 상기 어느 한공정의공정진행속도조절하는것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 12] 제 9항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 장치들에 각각 연결되어 상기 장치들에 의해 진행되는 각 공정들의 공정진행 소요시간을 실시간으로 검사하는 공정소요시간 검사부와, 상기 공정소요시간 검사부에 연결되며 상기 공정소요시간 검사부에서 검사한 값에 따라 상기 어느 한 공정의 공정 진행속도를 제어하는속도제어부포함한것을특징으로 하는반도체 제조설비. [청구항 13] 제 9항에 있어서,상기 속도조절장치는 상기 장치들에 의해 진행된 각 공정들의 공정진행 소요시간 값이 저장되는 공정소요시간 저장부와, 상기 공정소요시간 저장부에 연결되며 상기 공정소요시간 저장부에 저장된 값에 따라 상기 어느 한 공정의 공정 진행속도를 제어하는속도제어부포함한것을특징으로 하는반도체 제조설비.