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박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 document_id 1020060008708

출원번호
1020060008708
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 하부 기판상에 형성된 게이트 라인과 상기 게이트 라인을 덮는 유기 게이트 절연막과 상기 유기 게이트 절연막을 덮는 무기 보호막과 상기 게이트 라인과 연결된 게이트 패드 하부 전극과 상기 무기 보호막 및 상기 유기 게이트 절연막을 관통하여 상기 게이트 패드 하부 전극을 노출시키는 제1 접촉홀과 상기 제1 접촉홀을 통해 상기 게이트 패드 하부 전극과 접속되는 게이트 패드 상부 전극을 구비하고, 상기 제1 접촉홀은 상기 유기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀 하부와, 상기 무기 보호막을 관통하고 상기 제1 접촉홀 하부의 직경 이상의 직경을 가지는 제1 접촉홀 상부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 어레이 기판 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 유기 게이트 절연막을 사이에 두고 상기 게이트 라인과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 라인과;상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인의 교차부에서 상기 게이트 라인과 연결된 게이트 전극, 상기 게이트 전극과 중첩됨과 아울러 상기 데이터 라인과 연결된 소스 전극, 상기 소스 전극과 채널부를 사이에 두고 형성된 드레인 전극 및 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 중첩된 반도체 패턴을 포함하는 박막 트랜지스터와;상기 화소 영역에 형성된화소 전극더구비하는것을특징으로 하는박막 트랜지스터 어레이 기판. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 게이트 라인과 나란하게 형성된 공통 라인과;상기 공통 라인과 연결된 공통 패드 하부 전극과;상기 무기 보호막 및 상기 유기 게이트 절연막을 관통하여 상기 공통 패드 하부 전극을 노출시키는 제2 접촉홀과;상기 제2 접촉홀을 통해 상기 공통 패드 하부 전극과 접속되는 공통 패드 상부 전극을 구비하고,상기 제2 접촉홀은 상기 유기 게이트 절연막을 관통하는 제2 접촉홀 하부와, 상기 무기 보호막을 관통하고 상기 제2 접촉홀 하부의 직경 이상의 직경을 가지는제1접촉홀상부포함하는것을특징으로 하는박막 트랜지스터 어레이 기판. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 공통라인과 연결되어 화소 영역에 나란하게 형성된 공통 전극과;상기 유기 게이트 절연막을 사이에 두고 상기 게이트 라인과 교차하여 상기 화소 영역을 정의하는 데이터 라인과;상기 게이트 라인 및 상기 데이터 라인의 교차부에서 상기 게이트 라인과 연결된 게이트 전극, 상기 게이트 전극과 중첩됨과 아울러 상기 데이터 라인과 연결된 소스 전극, 상기 소스 전극과 채널부를 사이에 두고 형성된 드레인 전극 및 상기 소스 전극 및 드레인 전극과 중첩된 반도체 패턴을 포함하는 박막 트랜지스터와;상기 화소 영역에 형성되어 상기 공통전극과 나란한화소 전극핑거부더구비하는것을특징으로 하는박막 트랜지스터 어레이 기판.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 트랜지스터 어레이 기판에서 제1 접촉홀의 구조적 특징과, 이와 유사한 방식으로 구성되는 제2 접촉홀의 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제1 접촉홀의 구조적 특징을 파악하고, 이와 유사한 구조를 가진 제2 접촉홀의 구성 요소를 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1에서 제1 접촉홀의 구조를, 청구항 3에서 제2 접촉홀의 구조를 확인한다.

    • 상기 제1 접촉홀은 상기 유기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀 하부와, 상기 무기 보호막을 관통하고 상기 제1 접촉홀 하부의 직경 이상의 직경을 가지는 제1 접촉홀 상부를 포함하는 것을 특징으로 하는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제1 접촉홀의 구성 요소인 '제1 접촉홀 하부'와 '제1 접촉홀 상부' 및 제2 접촉홀의 대응 구절을 선택한다.

    • 상기 제1 접촉홀은 상기 유기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀 하부와, 상기 무기 보호막을 관통하고 상기 제1 접촉홀 하부의 직경 이상의 직경을 가지는 제1 접촉홀 상부를 포함
  4. 4논리 통합logical_integration

    제1 접촉홀은 하부와 상부로 구성되며, 제2 접촉홀 또한 동일한 논리로 제2 접촉홀 하부와 제2 접촉홀 상부로 구성됨을 연결한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제1 접촉홀의 특징은 하부와 상부의 직경 차이이며, 제2 접촉홀의 구성 요소는 제2 접촉홀 하부와 제2 접촉홀 상부이다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 구조적 특징과 구성 요소를 명확히 구분하여 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
제1 접촉홀은 유기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀 하부와, 무기 보호막을 관통하며 제1 접촉홀 하부의 직경 이상의 직경을 가지는 제1 접촉홀 상부로 구성되는 구조적 특징을 가진다. 이와 유사한 방식으로 구성되는 제2 접촉홀의 구성 요소는 제2 접촉홀 하부와 제2 접촉홀 상부이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 접촉홀의 상부 직경을 하부 직경보다 크게 형성하여 상부 전극과의 접속을 용이하게 하는 구조적 특징을 가진 박막 트랜지스터 어레이 기판에 관한 것이다.