문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼를 베이크하기 위한 스피너 설비의 베이크 장치에 있어서,
상기 웨이퍼가 내부에 장착되는 챔버
상기 챔버 내에 설치되며, 상기 웨이퍼를 가열하여 베이크하기 위한 핫 플래이트
상기 챔버 내부로 일정량의 에어를 주입하기 위한 에어 주입구
상기 에어 주입구에 설치되며, 상기 주입되는 에어량을 제어하는 에어 밸브
상기 챔버의 내부 개스를 외부로 배출하기 위한 배기구
상기 배기구에 설치되며, 상기 배출되는 개스량을 제어하는 배기 밸브; 및
상기 에어 밸브와 상기 배기 밸브에 전기적으로 연결되며, 상기 에어 밸브 및 배기 밸브의 동작을 제어하는 콘트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 스피너 설비의 베이크 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 챔버 내부에 장착되는 웨이퍼의 상부에는 집적 회로를 패터닝하기 위한포토레지스트막형성된것을특징으로 하는스피너 설비의 베이크 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 콘트롤러는 상기 에어 밸브의 동작을 제어하는 에어 밸브 콘트롤러; 및상기 배기 밸브의 동작을 제어하는배기밸브콘트롤러구비하는것을특징으로 하는스피너 설비의 베이크 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 배기구는2개인것을특징으로 하는스피너 설비의 베이크 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 챔버 내부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 개스를 상기 2개의 배기구들을 통해 균일하게 배출되게 하는배기균등부더구비하는것을특징으로 하는스피너 설비의 베이크 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스피너 설비의 베이크 장치에서 2개의 배기구를 통해 챔버 내부의 개스를 균일하게 배출하기 위해 추가로 구비되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스피너 설비의 베이크 장치에서 2개의 배기구를 통해 개스를 균일하게 배출하기 위해 추가되는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 배기구가 2개임을 확인하고, 청구항 5에서 2개의 배기구를 통해 개스를 균일하게 배출하는 구성 요소를 확인한다.
- 상기 배기구는2개인것을특징으로 하는스피너 설비의 베이크 장치
- 상기 챔버 내부의 개스를 상기 2개의 배기구들을 통해 균일하게 배출되게 하는배기균등부
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '2개의 배기구'와 '균일하게 배출'이라는 조건에 부합하는 '배기균등부'를 근거로 선택한다.
- 상기 챔버 내부의 개스를 상기 2개의 배기구들을 통해 균일하게 배출되게 하는배기균등부
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4논리 통합
logical_integration청구항 4의 2개 배기구 조건과 청구항 5의 균일 배출 목적을 결합하면, 그 목적을 달성하기 위한 구성 요소는 배기균등부임을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추가로 구비되는 구성 요소는 배기균등부이다.
- 배기균등부
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어인 '배기균등부'를 최종 답변으로 생성한다.
- 배기균등부
최종 답변 (final_answer)
배기균등부
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 2개의 배기구를 갖는 베이크 장치에서 배기균등부를 통해 챔버 내부의 개스를 균일하게 배출할 수 있도록 하는 기술적 구성을 포함한다.