문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 비트라인 플러그 및 상기 장벽 절연막 사이와, 상기 비트라인 플러그 및 상기 비트라인 패드 사이에 연속적으로 개재된장벽금속막더포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 비트라인 플러그에 연결되며, 상기 제 1 층간절연막 상에 일방향으로 신장된 비트라인;상기 비트라인의 측벽에 형성된 측벽 절연막; 및상기 비트라인 플러그 및 상기 측벽 절연막 사이에 채워지며, 상기 스토리지 플러그가 채워진 스토리지 콘택 홀을 가지는 제 2 층간절연막을 더 포함하되,상기 스토리지 콘택 홀의 경계는 상기 측벽 절연막 및 상기 장벽 절연막에 의해 제한된(confine) 것특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 4]
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,상기 장벽 절연막은 상기 제 1 층간절연막에 대한 식각 선택성을 가지는물질인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 5]
청구항 3에 있어서,상기 제 1 층간절연막은 상기 제 2 층간절연막보다 식각 속도가 빠르고,상기 장벽 절연막은 상기 제 1 층간절연막에 대한 식각 선택성을 가지는물질인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 장벽 절연막nan은상기스토리지 플러그와상기비트라인플러그의접촉차단하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 반도체 기판에 정의된 활성영역;상기 활성영역의 상부를 가로지르는 복수개의 워드라인;상기 워드라인의 측벽에 형성된 스페이서 패턴; 및상기 워드라인 상에 형성된 캐핑 절연막을 더 포함하되,상기 스토리지 패드 및 상기 비트라인 패드는 상기 스페이서 패턴에 자기정렬되어상기활성영역상형성된것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 제 1 층간절연막은 상기 캐핑절연막 상에 상기 비트라인 콘택 홀의 경계를 제한하고,상기 장벽 절연막은,상기 비트라인 콘택 홀의 경계를 제한하는 제 1 층간 절연막의 측벽 및 상기 캐핑 절연막의 상부, 그리고 상기 비트라인 패드의 상부 측벽에연속적형성된것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 9]
청구항 7에 있어서,상기 비트라인 플러그 및 상기 장벽 절연막 사이와, 상기 비트라인 플러그 및 상기 비트라인 패드 사이에 연속적으로 개재된장벽금속막더포함하는것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 10]
청구항 7에 있어서,상기 비트라인 플러그에 연결되며, 상기 제 1 층간절연막 상에 일방향으로 신장된 비트라인;상기 비트라인의 측벽에 형성된 측벽 절연막; 및상기 비트라인 플러그 및 상기 측벽 절연막 사이에 채워지며, 상기 스토리지 플러그가 채워진 스토리지 콘택 홀을 가지는 제 2 층간절연막을 더 포함하되,상기 스토리지 콘택 홀의 경계는 상기 측벽 절연막 및 상기 장벽 절연막에 의해 제한된(confine) 것특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 11]
청구항 7 또는 청구항 10에 있어서,상기 장벽 절연막은 상기 제 1 층간절연막에 대한 식각 선택성을 가지는물질인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 12]
청구항 10에 있어서,상기 제 1 층간절연막은 상기 제 2 층간절연막보다 식각 속도가 빠르고,상기 장벽 절연막은 상기 제 1 층간절연막에 대한 식각 선택성을 가지는물질인것을특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 13]
청구항 7에 있어서,상기 장벽 절연막nan은상기스토리지 플러그와상기비트라인플러그의접촉차단하는것을특징으로 하는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 3 및 청구항 10에 기재된 반도체 장치에서, 스토리지 콘택 홀의 경계를 제한(confine)하는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 3 및 청구항 10을 참조하여 스토리지 콘택 홀의 경계를 제한하는 구성 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3과 청구항 10에서 '스토리지 콘택 홀의 경계는 ... 에 의해 제한된(confine) 것'이라는 문구를 확인한다.
- 상기 스토리지 콘택 홀의 경계는 상기 측벽 절연막 및 상기 장벽 절연막에 의해 제한된(confine) 것
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3근거 선택
evidence_selection경계를 제한하는 주체로 명시된 '측벽 절연막'과 '장벽 절연막'을 선택한다.
- 상기 측벽 절연막 및 상기 장벽 절연막에 의해 제한된(confine) 것
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4논리 통합
logical_integration청구항 3과 청구항 10의 내용이 동일하므로, 두 청구항 모두 측벽 절연막과 장벽 절연막을 경계 제한 구성 요소로 지목하고 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation스토리지 콘택 홀의 경계를 제한하는 구성 요소는 측벽 절연막 및 장벽 절연막이다.
- 상기 측벽 절연막 및 상기 장벽 절연막에 의해 제한된(confine) 것
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 측벽 절연막 및 상기 장벽 절연막
최종 답변 (final_answer)
측벽 절연막 및 장벽 절연막
핵심 해석 (core_interpretation)
스토리지 콘택 홀의 물리적 경계를 형성하고 제한하기 위해 측벽 절연막과 장벽 절연막을 활용하는 구조에 관한 기술이다.