문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 열처리, 상기 생성 및 수집수단, 상기 처리수단, 상기 판단수단, 및 상기 통신수단은 사전 프로그램된 명령어에 따라 콘트롤러와 응답통신하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 리소그라피 공정 트랙은 상기 패턴화된 레지스트층을 형성하기 위해 마스크를 통해 상기 레지스트층을 복사에너지에 노출시키는 복사에너지 노광부;상기 열처리를 포함하는 노광후 가열부; 및상기 패턴화된 레지스트층을 형성하기 위해 현상공정에 따라 상기 레지스트층을 현상하는현상부를더 포함하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 산란된 광스펙트럼의 생성 및 수집수단은상기 패턴화된 레지스트층의 선택된 면적을 광으로 조사하는 광원; 및산란된 광스펙트럼을 생성하기 위해 상기 패턴화된 레지스트층으로부터 산란된 광을 검출하고 수집하는 복수의 검출기구비하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 선택된 면적은 직경이 약 10 마이크론 이상의 면적갖는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 생성 및 수집수단은 반사계(reflectometer) 및 타원계(ellipsometer)로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 분광계포함하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 패턴화된 레지스트층은 회절 그레이팅(diffraction grating)를 형성하는 교정 레지스트 패턴구비하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 판단수단은 제 1 레지스트 임계치수가 기 설정된 윈도우 밖에 있는 경우 상기 열처리를 포함하는 제조공정을 중단시키고,새로운 모델함수관계를 구하기 위해 교정공정(calibration process)을 트리거링하며,상기 판단단계가 상기 새로운 모델함수관계를 포함하는 상류 공정 웨이퍼를 구비하여 상기 제조공정을 재개하도록 사전 프로그램된 명령어 세트포함하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 9]
제 1 항에 있어서,상기 열판은 컨트롤러와 명령 및 응답 통신하는 복수의 온도센서들과 가열소자들구비하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 복수의 온도 제어가능한 가열구역들 각각은 프로그램된 명령어에 따라 상기 컨트롤러에 의해 선택될 수 있는 2차원 기하학적 형태갖는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 11]
제 9 항에 있어서,상기 컨트롤러는 프로그램된 명령어에 따라 상기 산란된 광스펙트럼을 생성하고 수집하는 수단들통신되는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 산란된 광스펙트럼을 처리하는 수단은 프로그램된 명령어들을 실행하는 하나 이상의 프로세서들구비하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 레지스트 패턴 임계치수를 디스플레이하는 수단더 구비하는 리소그라피 공정 트랙 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그라피 공정 트랙 시스템에서 제 1 레지스트 임계치수가 기 설정된 윈도우를 벗어난 경우, 판단수단에 의해 수행되는 공정 제어 절차는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 1 레지스트 임계치수가 설정된 윈도우를 벗어났을 때 판단수단이 수행하는 공정 제어 절차를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 제 1 레지스트 임계치수가 윈도우 밖에 있는 경우에 대한 판단수단의 동작을 확인한다.
- 제 1 레지스트 임계치수가 기 설정된 윈도우 밖에 있는 경우
- 상기 열처리를 포함하는 제조공정을 중단시키고,새로운 모델함수관계를 구하기 위해 교정공정(calibration process)을 트리거링하며,상기 판단단계가 상기 새로운 모델함수관계를 포함하는 상류 공정 웨이퍼를 구비하여 상기 제조공정을 재개하도록 사전 프로그램된 명령어 세트
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3근거 선택
evidence_selection판단수단이 수행하는 구체적인 단계인 제조공정 중단, 교정공정 트리거링, 새로운 모델함수관계를 포함한 공정 재개 내용을 선택한다.
- 상기 열처리를 포함하는 제조공정을 중단시키고,새로운 모델함수관계를 구하기 위해 교정공정(calibration process)을 트리거링하며,상기 판단단계가 상기 새로운 모델함수관계를 포함하는 상류 공정 웨이퍼를 구비하여 상기 제조공정을 재개하도록 사전 프로그램된 명령어 세트
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4논리 통합
logical_integration임계치수 이탈 시 '공정 중단 -> 교정공정 수행 -> 새로운 모델함수관계 적용 -> 공정 재개'의 순차적 절차를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 추출된 절차를 논리적인 문장으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제 1 레지스트 임계치수가 기 설정된 윈도우를 벗어난 경우, 판단수단은 열처리를 포함하는 제조공정을 중단시키고, 새로운 모델함수관계를 구하기 위해 교정공정(calibration process)을 트리거링한다. 이후, 상기 새로운 모델함수관계를 포함하는 상류 공정 웨이퍼를 구비하여 제조공정을 재개한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
레지스트 임계치수가 허용 범위를 벗어날 경우, 공정을 중단하고 교정공정을 통해 새로운 모델함수관계를 도출함으로써 공정의 정확도를 회복하는 제어 메커니즘을 포함한다.