기판을 자체 정렬하는 기판이송장치 document_id 1020060014431

[청구항 1] 회전운동을 하는 구동축 상기 구동축에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부 상기 연결부의 단부에 결합하는 암리스트 상기 암리스트의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되어 기판을 안치하는 기판안치부를 포함하는 기판이송장치에 있어서, 상기 기판안치부의 단부에는 상기 기판안치부를 관통하는 결합홈이 형성되고, 상기 결합홈의 내부에는 상기 기판안치부의 외곽방향의 일 단부에 돌출단이 형성되어 ㄴ형상을 가지는 정렬부재가 회전가능하게 결합하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 결합홈의 내부에는 상기 정렬부재의 상기 돌출단이 수평면에 대하여 소정 각도 이상으로 처지는 것을 막아주는 걸림턱형성되는기판이송장치 [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 정렬부재는 상기 돌출단이 형성되는 단부의 반대쪽 단부와 상기 정렬부재의 무게중심과의 사이를 관통하는 회동축에 의해 상기 결합홈의 내부에 결합되며, 기판이 안치되지 않았을 때에는상기돌출단턱에걸리는것을특징으로 하는기판이송장치 [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 기판안치부의 단부에는 상부로 돌출된 슬라이딩 방지턱형성되는기판이송장치 [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 정렬부재의 상기 돌출단은 상기 슬라이딩 방지턱의 경사면과 같은 각도의 경사면가지는기판이송장치 [청구항 6] 회전운동을 하는 구동축 상기 구동축에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부 상기 연결부의 단부에 결합하는 암리스트 상기 암리스트의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되어 기판을 안치하는 기판안치부를 포함하는 기판이송장치에 있어서, 상기 기판안치부는, 기판이 안치되는 상부부재 상기 상부부재의 하부에 위치하며 상기 상부부재와 탄성부재로 연결되는 하부부재 상기 상부부재의 단부에 회전가능하게 결합되며 상기 상부부재에 안치되는 기판을 정위치로 정렬시키는 정렬부재 상기 하부부재에 형성되며, 상기 정렬부재가 결합된 상부부재가 하강할 때 상기 정렬부재를 수직으로 세워주는 걸림턱 을 포함하는 기판이송장치