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반도체 소자의 다목적 측정 마크와 그것을 이용한칼리브레이션 방법, 측정 시스템 및 컴퓨터 프로그램 document_id 1020060014680

출원번호
1020060014680
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 다수 개의 쇄선형l-형 패턴들은 다수 개의 제1 쇄선형 l-형 패턴들이고,인접하는 꺾임형 패턴들과 서로 다양한 간격으로 이격된 선분형 가지 패턴들을 가진 다수 개의 제2 쇄선형 l-형 패턴들을 포함하며,상기 제1 및 제2 쇄선형 l-형 패턴들은 이격되어 있고,상기 꺾임형 패턴들과 상기 제1 및 제2 쇄선형 l-형 패턴들의 제1 가지 패턴들은 인접하고 있고,상기 제1 및 제2 쇄선형 l-형 패턴들의 제2 가지 패턴들은 서로 반대방향으로 향하는측정 마크. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 다수 개의 쇄선형l-형 패턴들은 다수 개의 제1 쇄선형 l-형 패턴들이고,인접하는 꺾임형 패턴들과 서로 다양한 간격으로 이격된 선분형 가지 패턴들을 가진 다수 개의 제2, 제3 및 제4 쇄선형 l-형 패턴들을 포함하며,상기 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들은 이격되어 있고,상기 제1 내지 제 4 쇄선형 l-형 패턴들의 꺾임형 패턴들은 서로 인접하고,상기 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들은 각기 상기 꺾임형 패턴들을 둘러 네사분면중하나점유하며서로 인접하고 있는측정 마크. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 다수 개의 제1 내지 제4 쇄선형l-형 패턴들은 반도체 소자의 제1 층 레이어에 형성되고,상기 측정 마크는 각 사분면에서 경계영역을 따라 형성된 네 가지 패턴들을 포함하고 서로 인접하는 상기 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 상기 꺾임형 패턴들의 사이 중앙을 포함하는 실선형 십자 패턴더 포함하는측정 마크. [청구항 5] 제 3항에 있어서,제1 내지 제4 쇄선형l-형 패턴들의 꺾임형 패턴들 사이의 중앙부더 포함하는측정 마크. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 다수 개의 쇄선형l-형 패턴들은 반도체 소자의 제1 층 레이어에 형성되고,상기 측정 마크는 반도체 소자의 제2 층 레이어에 형성된 실선형 l-형 패턴더 포함하는측정 마크. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼형성되는측정 마크. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼의 스크라이브 라인 내포함되는측정 마크. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼를 패터닝하기 위한 포토마스크 또는 레티클 내포함되는측정 마크. [청구항 10] 제 1항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼를 패터닝하기 위한 패터닝 데이터포함되는측정 마크. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼 내포함되는측정 마크. [청구항 13] 제 11항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼의 스크라이브 라인 내포함되는측정 마크. [청구항 14] 제 11항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼를 패터닝하기 위한 포토마스크 또는 레티클 내포함되는측정 마크. [청구항 15] 제 11항에 있어서,상기 측정 마크는 반도체 웨이퍼를 패터닝하기 위한 패터닝 데이터포함되는측정 마크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제3항 및 제4항에 기재된 측정 마크의 구성 요소 중, 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 꺾임형 패턴들 사이 중앙에 포함되는 패턴은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제3항 및 제4항의 내용을 바탕으로 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 꺾임형 패턴들 사이 중앙에 포함되는 패턴이 무엇인지 식별해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 꺾임형 패턴들의 사이 중앙을 포함하는 패턴에 대한 정보를 추출한다.

    • 상기 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 상기 꺾임형 패턴들의 사이 중앙을 포함하는 실선형 십자 패턴
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 '중앙에 포함되는 패턴'을 직접적으로 명시한 청구항 4의 구절을 선택한다.

    • 상기 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 상기 꺾임형 패턴들의 사이 중앙을 포함하는 실선형 십자 패턴
  4. 4논리 통합logical_integration

    청구항 4에 따르면, 꺾임형 패턴들 사이의 중앙에는 실선형 십자 패턴이 포함되어 있음을 확인할 수 있다.

    • 상기 제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 상기 꺾임형 패턴들의 사이 중앙을 포함하는 실선형 십자 패턴
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    따라서 중앙에 포함되는 패턴은 '실선형 십자 패턴'이다.

    • 실선형 십자 패턴
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

    • 실선형 십자 패턴
최종 답변 (final_answer)
실선형 십자 패턴
핵심 해석 (core_interpretation)
제1 내지 제4 쇄선형 l-형 패턴들의 꺾임형 패턴들 사이 중앙에 실선형 십자 패턴을 배치하여 구성된 측정 마크에 관한 기술이다.