문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1의 액처리 장치에 있어서,기판보지부의 회전수의 판단은 각 기판 보지부의 회전수를 검출하는 것에 의해 행해지는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 3]
청구항 1의 액처리 장치에 있어서,상기 배기량 조정부는댐퍼인것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 4]
청구항 1의 액처리 장치에 있어서,복수의 컵체 공통의 프레임체내에서 횡방향으로 일렬로 배열하여 설치되고 처리액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 5]
청구항의 액처리 장치에 있어서.또한 기판에 세정액을 공급하는세정액노즐가지는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 6]
청구항 4의 액처리 장치에 있어서,또한 기판에 세정액을 공급하는 세정액노즐을 갖고 세정액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 7]
청구항 1의 액처리 장치에 있어서,복수의 배기로의 전부가 합류하는 합류 위치로부터 가장 가까운 컵체까지의 배기로의길이내인것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 8]
청구항 4의 액처리 장치에 있어서,복수의 배기로의 전부가 합류하는 합류점은상기공통의프레임체내배치되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 10]
청구항 9의 액처리 장치에 있어서,상기 배기량 조정부는댐퍼인것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 11]
청구항 9의 액처리 장치에 있어서,복수의 컵체는 공통의 프레임체내에서 횡방향으로 일렬로 배열하여 설치되고 처리액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 12]
청구항 9의 액처리 장치에 있어서,또한 기판에 세정액을 공급하는세정액노즐가지는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 13]
청구항 11의 액처리 장치에 있어서,또한 기판에 세정액을 공급하는 세정액노즐을 갖고 세정액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것을특징으로 하는액처리 장치.
[청구항 14]
청구항 9의 액처리 장치에 있어서,복수의 배기로의 전부나 합류하는 합류 위치로부터 가장 가까운 컵체까지의 배기로의길이내인것을특징으로 하는액처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 4 및 청구항 6에 기재된 내용을 바탕으로, 공통의 프레임체 내에 배열된 복수의 컵체와 처리액노즐 및 세정액노즐 간의 구성 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 4와 청구항 6의 내용을 결합하여 프레임체 내의 컵체, 처리액노즐, 세정액노즐 간의 구성 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 복수의 컵체는 프레임체 내에 횡방향으로 일렬 배열되며, 처리액노즐은 각 기판 보지부에 대해 공통화되어 있음을 추출한다.
- 복수의 컵체 공통의 프레임체내에서 횡방향으로 일렬로 배열하여 설치되고 처리액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것
- 세정액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것
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3근거 선택
evidence_selection청구항 6에서 세정액노즐이 존재하며, 이 세정액노즐 또한 각 기판 보지부에 대해 공통화되어 있다는 근거를 선택한다.
- 세정액노즐은 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대해서공통화되어있는것
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4논리 통합
logical_integration프레임체 내에 횡방향으로 일렬 배열된 복수의 컵체가 있고, 처리액노즐과 세정액노즐은 모두 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대하여 공통으로 사용되는 구조임을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation공통의 프레임체 내에 컵체들이 횡방향으로 일렬로 배열되어 있으며, 처리액노즐과 세정액노즐은 각각의 기판 보지부에 보지된 기판들에 대해 공통화된 구성 관계를 가진다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
공통의 프레임체 내에 복수의 컵체가 횡방향으로 일렬로 배열되어 설치되어 있으며, 처리액노즐과 세정액노즐은 각각 각 기판 보지부에 보지된 기판에 대하여 공통화되어 있는 구성 관계를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
복수의 컵체가 프레임체 내에 일렬로 배치된 구조에서, 처리액 및 세정액을 공급하는 노즐들이 개별 기판 보지부가 아닌 기판 전체에 대해 공통으로 적용되는 구성 방식에 관한 것이다.