반도체 제조설비의 스크러버장치 document_id 1020060020835

[청구항 1] 반도체 제조설비의 스크러버장치에 에 있어서, 공정챔버로부터 상기 배기라인을 통해 배기되도록 펌핑하는 펌프와, 상기 공정챔버에 연결된 배기라인과, 상기 배기라인을 통해 배기되는 가스들과 약제가 화학반응에 의해 유해가스를 제거하는 약제탱크와, 상기 약제탱크의 전단에 설치되어 약제 교체 시 가스의 유동을 차단하는 적어도 하나이상 수동밸브와, 상기 약제 교체 시 상기 공정챔버로부터 배기되는 공정가스를 바이패스시키기 위해 개방되는 자동밸브와, 상기 수동밸브의 열림 또는 닫힘상태를 감지하는 센서부와, 상기 센서부의 열림 또는 닫힘상태 감지신호를 받아 상기 자동밸브의 개,폐구동신호를 출력하는 제어부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 스크러버장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 센서부는,전원전압을 받아 전원공급을 제어하기 위한 스위치구동부와, 상기 스위치 구동부의 제어를 받아 스위칭 온되는 스위칭부와, 상기 스위칭부를 통해 공급되는 전압을 일측으로 입력받아 상기 수동밸브가 닫힘에 의해 스위칭온되는적어도하나이상의스위치포함함을특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 전원전압을 받아 미리 설정된 전압 이상의 과전압이 입력될 시 그 과전압을 제어하는제너다이오드더포함함을특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 수동밸브에는 닫힘상태와 열림상태를 확인하기 위한닫힘표지판과열림표지판설치됨을특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 수동밸브에는 닫힘 또는 열림상태로 조작하기 위한 레버에가이드설치됨을특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 가이드는 상기 수동밸브가 닫힐 때 상기 하나이상의 스위치를 압압하여스위칭오프시킴을특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 7] 반도체 제조설비의 스크러버장치 에 있어서, 공정챔버로부터 상기 배기라인을 통해 배기되도록 펌핑하는 펌프와, 상기 공정챔버에 연결된 배기라인과, 상기 배기라인을 통해 배기되는 가스들과 약제가 화학반응에 의해 유해가스를 제거하는 약제탱크와, 상기 약제탱크의 전단에 설치되어 약제 교체 시 가스의 유동을 차단하는 제1 수동밸브와, 상기 약제탱크의 후단에 설치되어 약제 교체 시 가스의 유동을 차단하는 제2 수동밸브와, 상기 약제 교체 시 상기 공정챔버로부터 배기되는 공정가스를 바이패스시키기 위해 개방되는 자동밸브와, 상기 제1 및 제2 수동밸브의 열림 또는 닫힘상태를 감지하는 센서부와, 상기 센서부의 열림 또는 닫힘상태 감지신호를 받아 상기 자동밸브의 개,폐구동신호를 출력하는 제어부를 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 스크러 버장치 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 센서부는,전원전압을 받아 전원공급을 제어하기 위한 스위치구동부와, 상기 스위치 구동부의 제어를 받아 스위칭 온되는 스위칭부와, 상기 스위칭부를 통해 공급되는 전압을 일측으로 입력받아 상기 수동밸브가 닫힘에 의해 스위칭온되는 제1및제2 스위치포함함을특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 스위칭부는 pnp트랜지스터특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치. [청구항 10] 제8항및 제2 스위치는 푸쉬버튼 스위치특징으로 하는반도체 제조설비의 스크러버장치.