문맥 (context)
[청구항 1]
상부가 개방되고 내부에 기판 처리 공정을 수행하는 공간을 가지는 하우징, 상기 하우징 내부에 설치되어 공정시 기판을 지지하는 지지부재, 그리고 상기 지지부재를 회전 및 승강시키는 구동부를 가지는 매엽식 기판처리장치에 있어서,
상기 지지부재는,
상기 지지부재의 상부에서 상기 지지부재의 중심을 기준으로 복수개가 환형으로 배치되어 각각이 기판의 가장자리 일부를 고정 및 지지하는 척킹 부재를 구비하되,
상기 척킹 부재는,
기판의 가장자리 하부면 일부와 접촉하는 하부면과,
기판의 측부 일부와 대향하는 내측면과,
상기 내측면의 상단으로부터 안쪽으로 연장되어, 기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 상부면을 포함하는 것을 특징으로 하는 매엽식 기판 처리 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,기판을 척킹하는 척킹 위치 및 기판을 척킹하기 전에 대기하는 언척킹 위치 상호간에 상기 척킹 부재를 직선 왕복 이동시키는이동부재더포함하는것을특징으로 하는매엽식 기판처리장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,기판을 척킹하는 척킹 위치 및 기판을 척킹하기 전에 대기하는 언척킹 위치 상호간에 상기 척킹 부재를 회전 운동에 의해 각각 위치시키는이동부재더포함하는것을특징으로 하는매엽식 기판처리장치.
[청구항 4]
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,상기 척킹 부재에 척킹된 기판의 이탈을 모니터링하는모니터링부재더가지는것을특징으로 하는매엽식 기판처리장치.
[청구항 5]
제 4 항에 있어서,상기 모니터링 부재는,상기 척킹 부재로부터 기판의 이탈을 감지하는 감지 부재와,상기 감지 부재가 기판의 이탈을 감지하면, 설비의 공정 진행을 중단하는제어부포함하는것을특징으로 하는매엽식 기판처리장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 감지 부재는,상기 상부면의 상부에서 수평으로 광신호를 방출하도록 설치되는 발광 센서 및 기판의 척킹이 정상적으로 이루어졌을 때 상기 광신호를 수신하도록 설치되는 수광 센서를 포함하고,상기 제어부는,공정시 상기 수광 센서가 상기 광신호를 수신하지 못하는지여부판단하는것을특징으로 하는매엽식 기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
매엽식 기판처리장치의 척킹 부재 중 상부면은 기판의 어떠한 거동을 방지하기 위한 기능을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation매엽식 기판처리장치의 척킹 부재 중 상부면이 방지하고자 하는 기판의 거동을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 척킹 부재의 구성 요소인 상부면에 대한 설명을 추출한다.
- 상기 내측면의 상단으로부터 안쪽으로 연장되어, 기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 상부면
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3근거 선택
evidence_selection상부면의 기능과 직접적으로 관련된 구절을 선택한다.
- 기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 상부면
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4논리 통합
logical_integration상부면은 기판의 회전 시 발생하는 위 방향으로의 이탈을 막는 역할을 수행함을 확인한다.
- 기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 상부면
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것'을 도출한다.
- 기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 상부면
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 상부면
최종 답변 (final_answer)
기판의 회전시 기판이 위 방향으로 이탈하는 것
핵심 해석 (core_interpretation)
척킹 부재의 상부면 구조를 통해 기판 회전 시 발생할 수 있는 기판의 상방 이탈을 물리적으로 방지하는 기술적 특징을 포함하고 있다.