문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 노즐 높이 위치 보정부가,상기 노즐을 수직 방향으로 가동으로 지지하는 노즐 지지부와,상기 노즐을 수직 방향으로 소정의 범위내에서 원하는 변위량만큼 변위시키기 위하여 상기 노즐 지지부에 조립된 압전 액츄에이터와,상기 압력 검출부에서 출력되는 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 상기 압전 액츄에이터를 구동하는노즐변위제어부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 노즐 변위 제어부가 상기 제어 신호를 생성하기 위해서 상기 압력 검출 신호로부터 교류 성분을 추출하는 제 1의필터가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 4]
청구항 2 또는 3에 있어서,상기 노즐 변위 제어부가 상기 제어 신호를 생성하기 위해서 상기 압력 검출 신호의 교류 성분으로부터 소정 주파수 이상의 고주파 성분을 제거하는 제 2의필터가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 5]
청구항 2 또는 3에 있어서,상기 노즐 변위 제어부가 상기 제어 신호를 생성하기 위해서 상기 압력 검출 신호의 교류 성분을 소정의 시간 또는 위상만큼 지연시키는지연회로가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 6]
청구항 2 또는 3에 있어서,상기 노즐 변위 제어부가 상기 제어 신호를 생성하기 위해서 상기 압력 검출 신호의 교류 성분을 소정의 이득으로 증폭하는증폭회로가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 7]
청구항 1 내지 3중 어느 한항에 있어서,상기 노즐이 상기 반송 방향과 교차하는 수평 방향으로 연장하는미세지름의토출구가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 8]
청구항 1 내지 3중 어느 한항에 있어서,상기 갭 설정부가 상기 노즐을 승강 이동시키는노즐승강부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 9]
청구항 1 내지 3중 어느 한항에 있어서,상기제 1의 부상 영역을 통과하는 상기 기판에 대해서 상기 분출구에서 더해지는 수직 상향의 압력과 상기 흡인구에서 더해지는 수직 하향의 압력의 밸런스를 제어하는부양제어부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 10]
청구항 1 내지 3중 어느 한항에 있어서,상기 스테이지가 상기 반송 방향에 있어서 상기 제 1의 부상 영역의 상류 측에 상기 기판을 부상시키는 제 2의부상영역가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 11]
청구항 10에 있어서,상기제 2의 부상 영역내에 상기 기판을 반입하기 위한반입부설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 반입부가,상기 스테이지상의 반입 위치에서 상기 기판을 핀선단으로 지지하기 위한 복수 개의 제 1의 리프트 핀과,상기 제 1의 리프트 핀을 상기 스테이지 아래쪽의 원위치와 상기 스테이지 윗쪽의 주행위치의 사이에서 승강 이동시키는 제 1의리프트 핀승강부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 13]
청구항 1 내지 3중 어느 한항에 있어서,상기 스테이지가 상기 반송 방향에 있어서 상기 제 1의 부상 영역의 하류 측에 상기 기판을 부상시키는 제 3의부상영역가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 14]
청구항 13에 있어서,상기제 3의 부상 영역내에 상기 기판을 반출하기 위한반출부설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 15]
청구항 14에 있어서,상기 반출부가 상기 스테이지상의 반입 위치에서 상기 기판을 핀선단으로 지지하기 위한 복수 개의 제 2의 리프트 핀과,상기 제 2의 리프트 핀을 상기 스테이지 아래쪽의 원위치와 상기 스테이지 윗쪽의 주행위치의 사이에 승강 이동시키는 제 2의리프트 핀승강부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 16]
청구항 10에 있어서,상기 스테이지가 상기 2의 영역과 상기 제 1의 영역 사이에 상기 기판을 부상시키는 제 4의 부상 영역을 갖고 상기 제 4의 부상 영역내에 기체를 흡입하는 흡인구를 상기 반송 방향을 향해 점차 증대하는 밀도로다수배치하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 17]
청구항 13에 있어서,상기 스테이지가 상기 제 1의 영역과 상기 제 3의 영역의 사이에 상기 기판을 부상시키는 제 5의 부상 영역을 갖고 상기 제 5의 부상 영역내에 기체를 흡입하는 흡인구를 상기 반송 방향을 향해 점차 감소하는 밀도로다수배치하고있는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
[청구항 18]
청구항 1 내지 3중 어느 한항에 있어서,상기 기판 반송부가,상기 기판이 이동하는 방향과 평행하게 연장하도록 상기 스테이지의 편측 또는 양측으로 배치되는 가이드 레일과,상기 가이드 레일을 따라 이동 가능한 슬라이더와,상기 슬라이더를 상기 가이드 레일을 따라 이동하도록 구동하는 반송 구동부와,상기 슬라이더로부터 상기 스테이지의 중심부로 향하여 연장되고 상기 기판의 측 주변부를 탈착 가능하게 보유 지지하는보유지지부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
노즐 높이 위치 보정부의 구성 요소 중, 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 압전 액츄에이터를 구동하여 노즐을 수직 방향으로 원하는 변위량만큼 변위시키는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation노즐 높이 위치 보정부의 구성 요소 중, 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 압전 액츄에이터를 구동하여 노즐을 수직 방향으로 변위시키는 구성이 무엇인지 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 노즐 높이 위치 보정부의 구성 요소인 노즐 지지부, 압전 액츄에이터, 노즐변위제어부를 확인한다.
- 상기 노즐 높이 위치 보정부가,상기 노즐을 수직 방향으로 가동으로 지지하는 노즐 지지부와,상기 노즐을 수직 방향으로 소정의 범위내에서 원하는 변위량만큼 변위시키기 위하여 상기 노즐 지지부에 조립된 압전 액츄에이터와,상기 압력 검출부에서 출력되는 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 상기 압전 액츄에이터를 구동하는노즐변위제어부가지는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
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3근거 선택
evidence_selection압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 압전 액츄에이터를 구동한다는 설명이 포함된 구절을 선택한다.
- 상기 압력 검출부에서 출력되는 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 상기 압전 액츄에이터를 구동하는노즐변위제어부
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4논리 통합
logical_integration질문에서 요구하는 '압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 압전 액츄에이터를 구동'하는 주체는 '노즐변위제어부'임을 논리적으로 연결한다.
- 상기 압력 검출부에서 출력되는 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 상기 압전 액츄에이터를 구동하는노즐변위제어부
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5결론 도출
conclusion_formulation따라서 질문에 해당하는 구성 요소는 노즐변위제어부이다.
- 상기 압력 검출부에서 출력되는 압력 검출 신호에 따른 제어 신호로 상기 압전 액츄에이터를 구동하는노즐변위제어부
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '노즐변위제어부'를 최종 답변으로 생성한다.
- 노즐변위제어부
최종 답변 (final_answer)
노즐변위제어부
핵심 해석 (core_interpretation)
압력 검출 신호를 기반으로 압전 액츄에이터를 제어하여 노즐의 수직 위치를 정밀하게 보정하는 노즐변위제어부의 기능을 정의하고 있다.