문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,기판 검사 유니트와의 사이에 기판의 수수를 하는 기판 검사 유니트 전용의 보조 반송 수단과 상기 수수 스테이지군중에 설치되어 보조 반송 수단에 의해 기판의 수수를 하는 수수 스테이지를 구비하고,상하 반송 수단으로부터 상기 수수 스테이지 및 보조 반송 수단을 개재시켜 기판 검사 유니트내에기판반입되는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,보조 반송 수단은 상기 캐리어 블럭의 상부에 있어서 또한 캐리어 블럭용의 반송 수단보다 높은위치설치되는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 상하 반송 수단과 기판 검사 유니트와의 사이의 기판의 수수는 수수 스테이지군중의 수수 스테이지를 개재하지 않고 행해지는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 5]
청구항 1 내지 4중 어느 한 항에 있어서,상기 캐리어 블럭은 기판의 반송 영역에 청정 기체를 하강류로서 공급하는 필터 유니트를 구비하고,상기 기판 검사 유니트는 이 필터 유니트의 윗쪽위치설치되고있는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,기판 검사 유니트는 상기 캐리어 블럭의 상부에 설치되는 대신에선반형상의수수스테이지군중설치되는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 서로 적층된 복수의 도포막 형성용의 블럭은 각각 기판에 레지스트액을 도포하기 위한 블럭 및 레지스트액을 도포하기 전에 기판에 반사 방지막용의 약액을 도포하기 위한 블럭 및 레지스트액을 도포한 후에 기판에 반사 방지막용의 약액을 도포하기 위한블럭인것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 8]
청구항 1에 있어서,수수 스테이지군은 캐리어 블럭과 처리 블럭의 사이에 기판의 수수를 행하기 위한캐리어블럭용수수스테이지포함하는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 수수 스테이지군과 기판 검사 유니트와의 사이에 기판 검사 유니트 전용의 보조 반송 수단을 설치하고 수수 스테이지군중의 수수 스테이지에 놓여진 기판을 이 보조 반송 수단을 개재시켜기판검사유니트내반입하는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 11]
청구항 9에 있어서,상기 서로 적층된 복수의 도포막 형성용의 블럭은 각각 기판에 레지스트액을 도포하기 위한 블럭 및 레지스트액을 도포하기 전에 기판에 반사 방지막용의 약액을 도포하기 위한 블럭 및 레지스트액을 도포한 후에 기판에 반사 방지막용의 약액을 도포하기 위한블럭인것을특징으로 하는도포·현상 장치.
[청구항 12]
청구항 9에 있어서,수수 스테이지군은 캐리어 블럭과 처리 블럭의 사이에 기판의 수수를 행하기 위한캐리어블럭용수수스테이지포함하는것을특징으로 하는도포·현상 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도포·현상 장치에서 기판 검사 유니트 내로 기판이 반입될 때, 상하 반송 수단과 기판 검사 유니트 사이의 기판 수수 과정에 개재되는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation상하 반송 수단과 기판 검사 유니트 사이의 기판 수수 과정에 개재되는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 상하 반송 수단으로부터 기판 검사 유니트 내로 기판이 반입될 때 수수 스테이지 및 보조 반송 수단이 개재된다는 내용을 추출한다.
- 상하 반송 수단으로부터 상기 수수 스테이지 및 보조 반송 수단을 개재시켜 기판 검사 유니트내에기판반입되는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection개재되는 구성 요소로 명시된 '수수 스테이지'와 '보조 반송 수단'을 선택한다.
- 수수 스테이지 및 보조 반송 수단을 개재시켜
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4논리 통합
logical_integration상하 반송 수단과 기판 검사 유니트 사이의 경로에 수수 스테이지와 보조 반송 수단이 위치하여 기판 수수를 수행함을 확인한다.
- 상하 반송 수단으로부터 상기 수수 스테이지 및 보조 반송 수단을 개재시켜 기판 검사 유니트내에기판반입되는것을특징으로 하는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 수수 스테이지와 보조 반송 수단을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
수수 스테이지, 보조 반송 수단
핵심 해석 (core_interpretation)
상하 반송 수단과 기판 검사 유니트 사이의 기판 반입 과정에서 수수 스테이지와 보조 반송 수단을 개재하여 기판 수수를 수행하는 구조를 나타낸다.