문맥 (context)
[청구항 1]
외부에서 인가되는 전원전압을 이용하여 회전동력을 생성하는 회전 동력부
상기 회전 동력부의 말단에서 회전되도록 형성된 제 1 풀리
상기 제 1 풀리에서 일정거리에 형성되어 상기 제 1 풀리와 연동되어 회전되도록 형성된 제 2 풀리
상기 제 1 풀리와 상기 제 2 풀리의 외주면을 따라 무한궤도를 갖고 상기 제 2 풀리에 상기 제 1 풀리의 상기 회전동력을 전달하도록 형성된 벨트
상기 벨트의 일부에 고정되어 웨이퍼를 지지하여 일방향으로 전후진하도록 형성된 암 몸체
상기 제 1 풀리와 상기 제 2 풀리사이에 연결되는 상기 벨트의 측면에서 상기 벨트의 텐션을 감지하도록 형성된 벨트 텐션 감지 센서; 및
상기 벨트 텐션 감지 센서에서 출력되는 감지신호를 이용하여 상기 벨트의 텐션 정도를 판단하고, 상기 벨트의 텐션 정도가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부를 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 센서는, 상기 웨이퍼의 전면 또는 복수개의 특정 부분에서상기웨이퍼의거리측정함을특징으로 하는스피너 설비.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 센서는,상기웨이퍼비접촉방식또는접촉방식사용함을특징으로 하는스피너 설비.
[청구항 4]
다수개의 웨이퍼가 탑재된 웨이퍼 카세트를 로딩하는 웨이퍼 카세트 로더
상기 웨이퍼 카세트 로더에 로딩된 상기 웨이퍼 카세트에 탑재된 다수개의 상기 웨이퍼를 취출하는 인덱스 암
상기 인덱스 암에서 취출되는 상기 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포하는 스핀 코터
상기 스핀 코터에서 도포된 상기 포토레지스트를 베이킹하는 베이크 장치; 및
상기 베이크, 스핀 코터, 및 상기 인덱스 암사이에서 상기 웨이퍼를 전송하며, 외부에서 인가되는 전원전압을 이용하여 회전동력을 생성하는 회전 동력부와,상기 회전 동력부의 말단에서 회전되도록 형성된 제 1 풀리와, 상기 제 1 풀리에서 일정거리에 형성되어 상기 제 1 풀리와 연동되어 회전되도록 형성된 제 2 풀리와, 상기 제 1 풀리와 상기 제 2 풀리의 외주면을 따라 무한궤도를 갖고 상기 제 2 풀 리에 상기 제 1 풀리의 상기 회전동력을 전달하도록 형성된 벨트와, 상기 벨트의 일부에 고정되어 웨이퍼를 지지하여 일방향으로 전후진하도록 형성된 암 몸체와, 상기 제 1 풀리와 상기 제 2 풀리사이에 연결되는 상기 벨트의 측면에서 상기 벨트의 텐션을 감지하도록 형성된 벨트 텐션 감지 센서와, 상기 벨트 텐션 감지 센서에서 출력되는 감지신호를 이용하여 상기 벨트의 텐션 정도를 판단하고, 상기 벨트의 텐션 정도가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부를 구비하는 웨이퍼 로딩장치를 포함함을 특징으로 하는 스피너 설비
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
웨이퍼 로딩장치에서 벨트 텐션 감지 센서가 설정된 범위를 벗어나는 텐션을 감지했을 때, 제어부는 어떠한 동작을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation벨트 텐션 감지 센서가 설정 범위를 벗어난 텐션을 감지했을 때 제어부가 수행하는 동작을 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 벨트 텐션 감지 센서와 제어부의 기능에 관한 내용을 추출한다.
- 상기 벨트 텐션 감지 센서에서 출력되는 감지신호를 이용하여 상기 벨트의 텐션 정도를 판단하고, 상기 벨트의 텐션 정도가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부
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3근거 선택
evidence_selection질문 조건(텐션 범위 이탈)과 제어부의 동작(인터락 제어신호 출력)이 명시된 구절을 선택한다.
- 상기 벨트의 텐션 정도가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부
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4논리 통합
logical_integration텐션이 범위를 벗어나면 제어부는 웨이퍼 이송을 중단시키기 위해 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력한다는 인과관계를 파악한다.
- 상기 벨트의 텐션 정도가 설정된 범위를 벗어날 경우 상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 웨이퍼가 더 이상 이송되지 못하도록 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력한다.
- 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력하는 제어부
최종 답변 (final_answer)
상기 웨이퍼가 상기 암 몸체에 의해 더 이상 이송되지 못하도록 상기 회전 동력부에 인터락 제어신호를 출력한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
벨트의 텐션 이상 발생 시 인터락 제어신호를 통해 웨이퍼의 이송을 차단함으로써 장치의 오작동을 방지하는 안전 제어 기술이다.