연속 ＯＬＥＤ 코팅 장치 document_id 1020060035463

[청구항 1] 진공 공간을 따라 그 전체 또는 일부가 배열되고 그리고 기판용 캐리어를 갖는 수송 장치 및 진공 공간을 구비하여, 유기전계발광재료(oled)를 갖는 기판의 연속적인 제조를 위한 장치에 있어서, 상기 진공 공간은, 제 1 방향(기판 수송 방향)으로 캐리어(40)를 수송하기 위한 수송 장치의 제1섹션이 구비된 제1부분(3, 103) 및 제 2 방향(캐리어 회송 방향)으로 캐리어를 수송하기 위한 수송 장치의 제2섹션이 구비된 제2부분(4, 104)의 적어도 두 개의 부분으로 분리되고, 상기 수송 장치는 캐리어를 운송하기 위한 적어도 하나의 제1 무한루프(140)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 진공 공간은 서로 인접하여 배열되는 다수의 챔버들로 구성되고, 상기 챔버들은 서로 분리되고 그리고 진공 내에서 기판 또는 캐리어들(40) 또는 마스크들(50, 51, 52)의 불간섭적인 수송을 허용하며, 또는 상기 챔버를 잠그는 수단 또는 장치들(20, 120)이 상기 무한루프를 따라제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 진공 공간의 두 개로의 분리는 하나가 다른 하나 뒤에 그 일부 또는 전체가 배열되는 진공 이중 챔버(2, 102)에 의해형성되는것을특징으로 하는장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 진공 공간 내에 마스크(50, 51, 52)를 수송하기 위한 하나 또는 둘 이상의 제2무한루프들(150)이 제공되고, 상기 제2무한루프(150)의 수송 장치의 제1섹션이 상기 진공 공간의 제1부분(3, 103)에 그리고 상기 제2무한루프(150)의 수송 장치의 제2섹션이상기진공공간의제2부분제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 캐리어로부터 기판을 정렬 또는 언로딩하기 위해 적어도 각각 하나 또는 둘 이상의 기판로딩부(7,107) 및 기판언로딩부((8, 108) 또는 마스크-배치부 또는 마스크-제거부 또는 마스크-정렬부제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 진공 공간의 제1부분(3, 103)으로부터 제2부분(4, 104)으로 그리고 그 반대로 캐리어(40) 또는 마스크(50, 51, 52)를 교체하기 위한수송장치들제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,진공 코팅 공정, 화학적 기상 증착법(cvd), 물리적 기상 증착법(pvd), 스퍼터링 공정, 플라즈마 코팅 공정 또는 캐리어 가스를 이용한 또는 배제한 증착 공정 중 적어도 하나를 포함하는 하나 이상의 코팅부들(9, 10, 11, 15; 109, 110, 111, 115)과, 그리고 기판, 또는 캐리어들 또는 마스크들, 또는 기판활성화부(119), 플라즈마활성화부, 또는 uv, 오존, 이온 빔 또는 스파크 방전 처리용 부분들 중 적어도 하나를 포함하는 다른 기판-처리부들을 위한 기판용 세정부들(12, 16; 112, 116, 130 내지 133)이, 이 코팅 공정에 적용되는 마스크를 수송하기 위한 하나 또는 추가의 제2무한루프의 설비와 함께 상기 제1무한루프(140)를 따라제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 코팅부 및 기판처리부들(9, 10, 11, 15; 109, 110, 111, 115, 119)이 상기 진공 공간의 제1부분(3, 103) 내에 또는 제1부분에 수송 장치의 제1섹션을 따라 배치되고 그리고 상기 마스크들 또는 캐리어들을 위한 세정부들((12, 16; 112, 116, 130 내지 133)이 상기 진공 공간에서 상기 제1부분(3, 103) 또는 제2부분(4, 104) 내에서 또는 그 부분에 상기 수송 장치의 제1섹션 또는 제2섹션을 따라배치되는것을특징으로 하는장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,회전 모듈(260)이 회전 영역(262) 및 마스크-교체 영역(261)에 제공되고, 그리고 상기 회전 영역 내에 회전 미캐니즘(263)이 제공되며, 상기 회전 미캐니즘은 수송 섹션들(203, 204) 또는 마스크-교체영역사이의전환가능하게특징으로 하는장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,적어도 하나 또는 둘 이상nan의마스크또는기판캐리어매거진제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 마스크 교체 영역(261)은 두 개의 마스크 교체 위치를 가지며, 제 1 마스크 교체 위치(264) 내에서, 가공하고자 하는 기판 위로 마스크를 배치하기 위해 정확한 마스크 정렬에 의해 마스크가 위치하고, 한편, 다른 마스크 교체 위치(265) 내에서, 캐리어 위 마스크의 회송을 위해 단순한마스크배치실시되는것을특징으로 하는장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,적어도 하나또는 두 개의 대향하는 기판 캐리어 매거진들이 상기 회전 모듈에 제공된 이후에, 상기 기판 캐리어를 기판 캐리어 매거진 또는 인접한 기기 요소로부터 및 그를 향해 수송하기 위한적어도하나의기판캐리어교체유닛제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 회전 모듈(260) 이후에 하나 이상의 마스크또는기판 세정부들제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 14] 제 1 항에 있어서,수송 방향 또는 수송 방향이 적어도 간헐적으로 단일한 수송 배치가 두 개의 평행한 섹션들을 갖는상기장치의적어도하나의수송분기제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 수송 분기는 기판로딩장치 또는 기판언로딩장치의 영역 내에서 평행한수송섹션의적어도하나의간헐적단일방향의수송제공하는것을특징으로 하는장치. [청구항 16] 제 4 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 무한루프들(140, 150) 또는 수송 장치는 단일 연속적인컨베이어 장치또는다수의취급및이송장치포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 17] 제 4 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 제1무한루프(140) 및 제2무한루프(150)는 전체 또는 부분적으로 동일한컨베이어 장치및취급장치사용하는것을특징으로 하는장치. [청구항 18] 제 1 항에 있어서,상기 제1무한루프(140)에서, 상기 수송 장치의 제1섹션의 시작에서 기판공급장치(5, 105)가 제공되고, 그리고 상기 수송 장치의 제1섹션의 종단에서기판배출장치제공되는것을특징으로 하는장치. [청구항 19] 제 1 항에 있어서,상기 장치는 연속적으로 작동하는 선형(인라인, in-line)기계형성되는것을특징으로 하는장치.