반도체 장치의 부산물 포집장치 document_id 1020060040700

[청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 트랩모듈은 상기 제1플레이트들이방사상배치되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1플레이트는만곡진것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 제1트랩부의 길이는 상기 제2트랩부의 길이보다 긴 것특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 제2트랩부는 상기 제1트랩부에 비해 상기 가스배출포트에 인접한위치제공되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 7] 제2항에 있어서,상기 제1플레이트는 외측면이 상기 하우징의 내측면과 접하도록 제공되되;상기 하우징의 내측면과 상기 제1플레이트의 외측면 사이로 배기가스가 통과할 수 있도록 상기 제1플레이트의 상기 외측면에는절개부형성되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 8] 제2항에 있어서,상기 제1플레이트에는복수의관통공들형성되어있는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 관통공들의 크기는상기가스유입포트작아지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 10] 제2항에 있어서,상기 트랩모듈은 배기가스가 통과할 수 있는 내부통로를 가지며 외주면에 상기 제1플레이트들 및 상기 제2플레이트들이 고정되는 내부관과; 상기 내부관의 내부통로에 설치되며 상기 내부통로로 통과하는 배기가스의 반응부산물을 포집하는제3트랩부더포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 제3트랩부는 상기 내부관의 내부통로 중앙에 수직하게 위치되는 지지대와;경사지게 제공되도록 상기 지지대에 설치되는 제3플레이트들과;수평방향으로 제공되도록 상기 지지대에 설치되는제4플레이트들포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 12] 제10항에 있어서,상기 포집장치는상기 트랩모듈로부터 떨어져 나간 파우더 덩어리가 상기 가스배출포트를 통해 빠져나가는 것을 방지하는차단부재더포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 차단부재는 상기 가스배출포트가 제공된 상기 하우징의 일면으로부터 상기 하우징의 내부를 향하는 방향으로 돌출되게 형성되는차단턱포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 차단부재는 상기 가스배출포트의 상부에 위치되는차단판더포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 16] 제10항에 있어서,상기 장치는 상기 하우징 내부를 통과하는 배기가스를 냉각시키기 위한냉각부재더포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 냉각부재는 상기 하우징을 냉각시키기 위한 제1냉각부; 및 상기 트랩모듈의 상기 내부관을 냉각시키기 위한 제2냉각부를 포함하며,상기 제1플레이트들 및 상기 제2플레이트들은 상기 냉각부재에 의해 냉각된상기하우징과상기내부관과열교환이루어지는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 제1냉각부는 상기 하우징의 벽에 제공되는 제1냉각라인들을 포함하고,상기 제2냉각부는 상기 내부관의 벽에 제공되는제2냉각라인들포함하는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 제1플레이트들각각은 배기가스의 흐름을 곡선으로 유도하도록 경사지게 형상지어지고, 각각의 상기 제2플레이트는 상기 하우징의 길이방향과 수직하게 배치되며, 상기 제2플레이트들은 서로 마주보도록 일정거리 이격되게 제공되며, 상기 제2플레이트에는 가스의 흐름 방향이 지그재그가 되도록개구들형성되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 22] 제21항에 있어서,상기 제1플레이트들각각은 하우징의 길이방향을 기준으로 50-60도기울기설치되는것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 23] 제20항 또는 제21항에 있어서,상기 제1플레이트는 배기가스가 하우징의 길이방향으로 흐를때수직방향의흐름안내하도록경사진것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 24] 제20항 또는 제21항에 있어서,상기 제1플레이트는 배기가스가 하우징의 길이방향으로 흐를 때 유선형의 흐름으로 안내하도록만곡진것을특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치. [청구항 25] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1플레이트는 경사진 것특징으로 하는반도체 제조 장치의 부산물 포집장치.