문맥 (context)
[청구항 9]
제 1항에 있어서,정조(30)는 다수개의 반사판(18)이 내측면에서연장돌출되는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 10]
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 초음파장치(41)는 초음파를 확산시키는 확산층(13)과 빔확산용 압전소자(10)가 접합되어구성되는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 11]
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,정조(30)는 내부에 공기, 네온, 수소, 질소, 산소, 헬륨, 아르곤 중 어느하나주입된것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 12]
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,정조(30)는 내부에 다수개의 피세정물(17)을 투입하여 세정할 수있는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 13]
제 10항에 있어서,상기 빔확산용 압전소자(10)는 압전세라믹(14) 일측에 양극부(2)가 증착되고, 타측에는 음극부(3)가 증착되어구성되는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 14]
제 10항에 있어서,상기 확산층(13)은 일측이 상기 음극부(3)에 접합되며 초음파가 직진성을 갖는 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어,초음파의음압편차감소시키는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 15]
제 10항에 있어서,상기 빔확산용 압전소자(10)는 횡과 종으로 일정간격 이격되며 다수개가 형성되되, 수축팽창으로초음파발생시키는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 16]
제 10항에 있어서,상기 확산층(13)은 석영, 스테인리스강, 테플론, 알루미늄, 철 중 어느하나소재로된것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 17]
제 13항에 있어서,상기 양극부(2)는 일정간격 이격되는 다수개의 양극편(1)으로 구성되어 전원이 유입되되, 상기 양극편(1)은 너비가 작아질수록확산각하는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 18]
제 6항에 있어서,상기 초음파 장치(41)는 피세정물(17) 상면의 패턴손상을 방지하도록 상기 세정조(30)의 후면에 부착되어 피세정물(17)의 후면을 통해세정하는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
[청구항 19]
제 8항에 있어서,상기 접합부(16)는 피세정물(17)을 사이에 두고 양면에서 상호 대향 되지않으며내부돌출되는것을특징으로 하는세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
초음파 장치(41)의 확산층(13)은 어떠한 영역들로 구성되며, 이러한 구성을 통해 얻을 수 있는 효과는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation초음파 장치(41)의 확산층(13)의 구성 영역과 그에 따른 효과를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 14에서 확산층(13)의 구성 영역과 효과에 관한 정보를 추출한다.
- 확산층(13)은 일측이 상기 음극부(3)에 접합되며 초음파가 직진성을 갖는 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어,초음파의음압편차감소시키는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection확산층의 구성 요소인 니어필드(11) 영역, 파필드(12) 영역과 효과인 음압편차 감소를 근거로 선택한다.
- 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어,초음파의음압편차감소시키는것
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4논리 통합
logical_integration확산층은 니어필드 영역과 파필드 영역으로 이루어져 있으며, 이러한 구성을 통해 초음파의 음압편차를 감소시키는 효과를 얻는다.
- 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어,초음파의음압편차감소시키는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 구성 영역과 효과를 정리하여 결론을 도출한다.
- 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어,초음파의음압편차감소시키는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어,초음파의음압편차감소시키는것
최종 답변 (final_answer)
초음파 장치(41)의 확산층(13)은 초음파가 직진성을 갖는 니어필드(11) 영역과 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되며, 이러한 구성을 통해 초음파의 음압편차를 감소시키는 효과를 얻을 수 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
확산층을 니어필드와 파필드 영역으로 구분하여 구성함으로써 초음파의 음압 편차를 줄여 균일한 세정을 가능하게 하는 기술이다.