평면디스플레이용 화학 기상 증착장치 document_id 1020060045492

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 승강모듈은,승강본체부; 및일단은 상기 승강본체부에 결합되고 타단은 상기 높이조절부에 결합되는 복수의 승강아암을 포함하며,상기 서셉터지지대는 그 하단이상기복수의높이조절부각각결합되는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,셉터는,상기 챔버 내에서 횡방향으로 배치되어 상기 평면디스플레이를 지지하는 기판로딩부; 및상단은 상기 기판로딩부의 중앙에 고정되고 하단은 상기 챔버의 하부벽을 통과하여 상기 챔버의 외부에 배치되며, 상기 승강본체부의 내부를 관통하는센터봉포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 센터봉의 외측에는 상기 서셉터지지대와 함께 상기 기판로딩부를 지지하는세라믹기둥더결합되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 높이조절부는,상기 승강아암의 단부에 결합되고, 내부에 암나사산이 형성되어 있는 보스부; 및상기 보스부의 암나사산에 나사결합되는 수나사산을 가지고 상기 보스부에 나사결합되는 나사축부와, 상기 나사축부의 상단에 마련되어 상기 서셉터지지대에 결합되는 결합부를 갖는높이조절나사포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 높이조절부는,상기 서셉터지지대의 하단에 결합되는 홀더; 및일 영역은 상기 홀더에 회전가능하게 지지되고 타 영역은 상기 승강아암에 나사결합되어 정역방향으로의 회전시, 상기 홀더를 통해 상기 서셉터지지대를 승강시키는레벨포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 레벨러는,소정의 회전간격을 가지고 상기 홀더 내에 형성된 홈부에 수용되는 머리부; 및상기 머리부와 연결되고 외면의 나사산이 상기 승강아암에 나사결합되는 축부를포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 축부의 단부에는 상기 레벨러를 정역방향으로 회전시키는회전조작로드더형성되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 9] 제6항 또는 제7항에 있어서,상기 홀더와 상기 레벨러가 상호 접촉하는 접촉영역에는 상기 레벨러의 회전을 배가시키는베어링개재되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 10] 제6항에 있어서,셉터지지대의 외측에는 상기 챔버와 상기 서셉터지지대 간을 간격을 차폐하는 벨로우즈관이 마련되어 있으며,상기 높이조절부는 상기 레벨러의 회전시, 상기 서셉터지지대가 회전하여 상기 벨로우즈관이 파손되는 것이 저지되도록 상기 서셉터지지대의 회전을 저지하는 회전저지부더포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 회전저지부는,상기 승강아암과 상기 홀더 중 어느 하나에 형성된 키홈; 및상기 승강아암과 상기 홀더 중 다른 하나에 마련되고 상기 키홈에 결합되어 상기 레벨러의 회전시, 상기 홀더의 회전을 저지하는키블록포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 키홈은 상기 홀더에 형성되어 있고, 상기 키블록은상기승강아암마련되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 13] 제3항에 있어서,셉터지지대는 로딩된 상기 평면디스플레이에 의해 상기 서셉터의 기판로딩부가 처지는 것을 저지하도록 상기 기판로딩부의 하부에상호이격되게복수개배치되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 14] 제2항에 있어서,상기 높이조절부는,상기 서셉터지지대의 하단에 결합되고 외면에 나사산이 형성된 레벨러; 및상기 레벨러가 나사결합되도록 상기 승강아암의 내부에 형성되는나사부포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 평면디스플레이는 lcd(liquid crystal display)용대형유리기판인것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,셉터는,상기 챔버 내에서 횡방향으로 배치되어 상기 평면디스플레이를 지지하는 기판로딩부; 및상단은 상기 기판로딩부의 중앙에 고정되고 하단은 상기 챔버의 하부벽을 통과하여 상기 챔버의 외부에 배치되며, 상기 승강모듈에 결합되는센터봉포함하는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.