문맥 (context)
[청구항 6]
시트의 정면에 점착된 웨이퍼를, 상기 시트의 정면에 점착된 웨이퍼의 표면과 대향하는 웨이퍼의 표면에 격자상으로 형성된 복수의 절단 예정선을 따라 절단하는 웨이퍼 절단 장치로서
상기 시트의 배면과 슬라이딩가능하게 접촉하여 상기 시트를 통해서 상기 웨이퍼를 유지하는 유지면
상기 복수의 절단 예정선 중 최대 절단 예정선 이상이 되도록 그리고 상기 웨이퍼가 상기 시트를 통하여 상기 유지면에 위치될 때 상기 유지면과 시트 사이에 간격을 형성하도록 상기 유지면에 직선상으로 형성된 푸싱 부재; 및
상기 푸싱 부재에 인접하여 상기 유지면에 형성되는 진공 흡인 입구로서, 상기 간격이 진공 흡인에 의해 진공화되어 상기 시트를 통하여 상기 웨이퍼를 국부적으로 진공 흡인하는 진공 흡인 입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 절단 장치
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 유지면은 상부 단차 부분 및 하부 단차 부분으로 이루어지는 단차 부분을 포함하고,상기 푸싱 부재는상기상부단차부분인것을특징으로 하는웨이퍼 절단 장치.
[청구항 8]
제 6 항에 있어서,상기 푸싱 부재는 상기 유지면으로부터 부분적으로 돌출된돌출부재인것을특징으로 하는웨이퍼 절단 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 돌출 부재는 그 양측에상기진공흡인입구가지는것을특징으로 하는웨이퍼 절단 장치.
[청구항 10]
시트의 정면에 점착된 웨이퍼를, 상기 시트의 정면에 점착된 웨이퍼의 표면에 격자상으로 형성된 복수의 절단 예정선을 따라 절단하는 웨이퍼 절단 장치로서
상기 시트의 배면에 슬라이딩가능하게 접촉하여 상기 시트를 통해서 상기 웨이퍼를 유지하고, v자상으로 서로 연속되는 제 1 유지면 및 제 2 유지면; 및
상기 제 1 유지면과 제 2 유지면 사이의 경계에 형성된 진공 흡인 입구로서, 진공 흡인이 그것을 통해서 수행되어 상기 시트를 통해서 상기 웨이퍼를 국부적으로 진공 흡인하는 진공 흡인 입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 절단 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 6항의 웨이퍼 절단 장치에서 푸싱 부재가 형성하는 간격이 진공화됨으로써 발생하는 효과는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 6항에서 푸싱 부재가 형성하는 간격이 진공화될 때 발생하는 효과를 추출하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6항에서 푸싱 부재에 의해 형성된 간격이 진공 흡인에 의해 진공화된다는 내용을 확인한다.
- 상기 간격이 진공 흡인에 의해 진공화되어
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3근거 선택
evidence_selection진공화로 인해 발생하는 직접적인 효과인 '상기 시트를 통하여 상기 웨이퍼를 국부적으로 진공 흡인하는 것'을 근거로 선택한다.
- 상기 시트를 통하여 상기 웨이퍼를 국부적으로 진공 흡인하는
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4논리 통합
logical_integration푸싱 부재가 만든 간격이 진공화되면, 그 결과로 시트를 통해 웨이퍼를 국부적으로 흡인하게 된다는 인과관계를 파악한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '상기 시트를 통하여 상기 웨이퍼를 국부적으로 진공 흡인하는 것'을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 시트를 통하여 상기 웨이퍼를 국부적으로 진공 흡인하는 것
핵심 해석 (core_interpretation)
푸싱 부재를 통해 형성된 간격을 진공화함으로써, 시트를 매개로 웨이퍼를 국부적으로 흡인하여 고정하거나 유지하는 기술적 수단을 의미한다.