문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 지지 구조체와 상기 기판 테이블 중 1 이상은 상기 복수의 부-접촉 표면들을 포함하여 이루어지는복수의세타포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 지지 구조체 및 상기 기판 테이블 중 1 이상은 각각 스캐닝 방향으로 이동하도록 배치되며, 상기 복수의 세타는 상기 스캐닝 방향으로 스티프니스(stiffness)를 제공하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 세타는 상기 패터닝 대상물과 상기 기판 중 1 이상이 각각 배치된 평면에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 유연성(flexibility)을 제공하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 세타는 복수의 리프 스프링(leaf spring)으로서 기능하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 6]
제 3 항에 있어서,상기 복수의 세타는 복수의 리프 스프링으로서 기능하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 7]
제 4 항에 있어서,상기 복수의 세타는 복수의 리프 스프링으로서 기능하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 8]
제 5 항에 있어서,상기 복수의 리프 스프링은 제 1 부분, 제 2 부분 및 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분을 결합시키는 중간 부분을 포함하여 이루어지고, 상기 제 2 부분은 부-접촉 영역을 포함하여 이루어지고, 상기 중간 부분은 상기 패터닝 대상물과 상기 기판 중 1 이상이 각각 배치된 평면 밖으로(out of a plane) 연장된 방향으로 탄력성(resilient)이 있는 것특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 제 1 부분은 상기 제 2 부분에 대해 상기 스캐닝 방향에서 벗어나있는것특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 10]
제 2 항에 있어서,상기 지지 구조체는 진공 클램프(vacuum clamp)를 더 포함하여 이루어지고, 상기 진공 클램프는 진공 클램프 영역을 갖는 흡입 컵(suction cup)을 가지며, 상기 복수의 세타는상기진공 클램프영역내제공되는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 11]
제 1 항에 있어서,상기 부-접촉 영역들은 패터닝된표면구조형성하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 12]
제 1 항에 있어서,상기 부-접촉 영역들은 각각 상기 지지 구조체에 상기 패터닝 대상물을 접착시키거나 상기 기판 테이블에 상기 기판을 접착시키거나 또는 둘 모두를 행하기에 충분히 조합된접착 에너지제공하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 13]
제 1 항에 있어서,상기 지지 구조체 및 상기 기판 테이블 중 1 이상을 스캐닝 방향으로 이동시키는 모터를 더 포함하여 이루어지고, 상기 모터는 상기 스캐닝 방향으로 상기 지지 구조체 및 상기 기판 테이블 중 1 이상에 가속력을 가하며, 상기 지지 구조체와 상기 기판이 각각 상기 스캐닝 방향으로 이동하는 경우에, 상기 패터닝 대상물과 상기 지지 구조체 사이 및 상기 기판과 상기 기판 테이블 사이 중 1 이상의 상기 상호 접착은 각각 상기 지지 구조체와 상기 기판 테이블 상에각각상기패터닝대상물과상기기판중1이상유지하는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 14]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 세타는 마이크로단말요소인것을특징으로 하는리소그래피 장치.
[청구항 15]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 부-접촉 표면들은 볼록한커브형접촉부분포함하여이루어지는것을특징으로 하는리소그래피 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
리소그래피 장치에서 복수의 세타가 스캐닝 방향으로 스티프니스(stiffness)를 제공하는 경우, 해당 세타는 어떠한 구성 요소로서 기능하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation리소그래피 장치에서 스캐닝 방향으로 스티프니스(stiffness)를 제공하는 '복수의 세타'가 어떤 구성 요소로 기능하는지 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 복수의 세타가 스캐닝 방향으로 스티프니스를 제공한다고 명시되어 있으며, 청구항 5, 6, 7에서 해당 세타의 기능을 설명한다.
- 상기 복수의 세타는 상기 스캐닝 방향으로 스티프니스(stiffness)를 제공하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치
- 상기 복수의 세타는 복수의 리프 스프링(leaf spring)으로서 기능하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치
-
3근거 선택
evidence_selection복수의 세타가 리프 스프링으로서 기능한다는 청구항 5, 6, 7의 내용을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 복수의 세타는 복수의 리프 스프링(leaf spring)으로서 기능하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치
-
4논리 통합
logical_integration청구항 3에 의해 스티프니스를 제공하는 주체인 '복수의 세타'는 청구항 5, 6, 7에 따라 '복수의 리프 스프링'으로 기능함이 논리적으로 연결된다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation따라서 복수의 세타는 복수의 리프 스프링으로서 기능한다.
- 상기 복수의 세타는 복수의 리프 스프링(leaf spring)으로서 기능하도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치
-
6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '복수의 리프 스프링'을 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
복수의 리프 스프링(leaf spring)
핵심 해석 (core_interpretation)
리소그래피 장치의 지지 구조체 또는 기판 테이블을 구성하는 복수의 세타는 스캐닝 방향의 강성(stiffness)을 제공하는 리프 스프링 역할을 수행한다.