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탑재대 장치의 부착 구조체, 기판 처리 장치 및 탑재대 장치의 부착 구조체에 있어서의 급전선 사이의 방전 방지 방법 document_id 1020060056572

출원번호
1020060056572
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 탑재대와 상기 레그부는모두세라믹재로이루어지는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 레그부의 하단에는 부착 플랜지부가 설치되어 있고, 상기 금속 시일 부재의 폭은 상기 플랜지부의 폭보다 작게 이루어져있는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 바닥부 부착대에는 상기 부착 플랜지부를 수용하기 위한플랜지용홈부가형성되어있는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 레그부 내 분위기 배기 수단은 가스 배기 통로와, 상기 가스 배기 통로에 개재하여 설치되는오리피스부재갖는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 가스 배기 통로는 상기 처리 용기 내를 진공 배기하는 진공 배기계에 접속되어 있고, 상기 불활성 가스의 유량은 상기 가스 배기 통로 내를 흐르는 가스가 상기 처리 용기 내로 역류하지 않는유량설정되는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 불활성 가스 공급 수단은 가스 공급 통로와, 상기 가스 공급 통로에 개재하여 설치되는유량제어기갖는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되는 동시에, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰유량설정되는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 불활성 가스 공급 수단의 가스 출구는상기바닥부부착대설치되어있는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기 고정 수단은 고온 내구성이 있고,또한니켈합금알루미늄 합금으로이루어지는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 고정 수단은 상기 레그부의 하단부를 누르는 가압판과, 상기 가압판을 고정하는 금속볼트와, 상기 금속볼트에 끼워 넣어지는스프링좌금으로이루어지는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 바닥부 부착대는 상기 금속 시일 부재를 개재하여 상기 레그부의 하단부를 직접 받기 위하여 고온 내구성이 있고, 또한 열전도성이 낮은 금속재료로 이루어지는 링 형상의 하단 지지판과, 상기 링 형상의 하단 지지판의 개구를 기밀하게 막기 위한덮개부재로이루어지는것을특징으로 하는탑재대 장치의 부착 구조체. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 처리 용기 내에서 플라즈마를 발생시키는플라즈마 발생수단설치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
탑재대 장치의 부착 구조체에서 불활성 가스 공급량과 오리피스 부재의 개구 스로틀은 금속 시일 부재의 누출량과 비교하여 각각 어떠한 유량 조건으로 설정되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    탑재대 장치의 부착 구조체에서 불활성 가스 공급량과 오리피스 부재의 개구 스로틀이 금속 시일 부재의 누출량과 비교하여 어떤 유량 조건을 갖는지 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 8에서 불활성 가스 공급량과 오리피스 부재의 개구 스로틀에 관한 유량 조건을 추출한다.

    • 상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되는 동시에, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰유량설정되는것을특징으로 하는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 두 가지 조건(불활성 가스 공급량, 오리피스 부재의 개구 스로틀)에 대한 직접적인 근거 구절을 선택한다.

    • 상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되는 동시에, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰유량설정되는것을특징으로 하는
  4. 4논리 통합logical_integration

    불활성 가스 공급량은 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 크고, 오리피스 부재의 개구 스로틀 또한 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 크다는 점을 결합한다.

    • 상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되는 동시에, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰유량설정되는것을특징으로 하는
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    두 조건 모두 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정된다는 결론을 도출한다.

    • 상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되는 동시에, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰유량설정되는것을특징으로 하는
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되는 동시에, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰유량설정되는것을특징으로 하는
최종 답변 (final_answer)
상기 불활성 가스 공급량은 상기 금속 시일 부재에 있어서의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정되며, 상기 오리피스 부재의 개구 스로틀은 상기 금속 시일 부재의 누출량보다 10배 이상 큰 유량으로 설정된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
금속 시일 부재를 통한 누출량보다 불활성 가스 공급량과 오리피스 개구 스로틀의 유량을 각각 10배 이상 크게 설정함으로써 가스 흐름의 제어 조건을 규정하고 있다.