건식식각장치의 상부전극 및 그를 구비한 건식식각장치 document_id 1020060057413

[청구항 1] 공정가스가 통과하는 복수의 제1 가스통과공이 형성되어 있는 상부전극본체; 및 상기 상부전극본체의 하면의 적어도 일부분에 결합되며, 상기 제1 가스통과공을 통과한 공정가스가 통과하는 복수의 제2 가스통과공이 형성되어 있는 세라믹 재질의 세라믹 패널(ceramic panel)을 포함하는 것을 특징으로 하는 건식식각장치의 상부전극 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 상부전극본체의 상기 중앙영역의 하면에는 상기 세라믹 패널이 삽입 결합될 수 있도록 상기 상부전극본체의 두께방향을 따라 소정 깊이 함몰 형성된 패널홈이 마련되며,상기 세라믹 패널은 상기 패널홈에 삽입되어상기상부전극본체접합되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 상부전극본체의 제1 가스통과공들과 상기 세라믹 패널의 제2 가스통과공들은 상호연통되어있는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 세라믹 패널은, 상기 상부전극본체와의 사이에 소정 공간의 이격공간부가 형성되도록상기상부전극본체결합되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 세라믹 패널에 형성된 상기 제2 가스통과공들의 개수는 상기 상부전극본체에 형성된 상기 제1 가스통과공들의 개수보다 많은 것특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 6] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 세라믹 패널과 상기 상부전극본체의 하면의 적어도 일 영역은 세라믹 코팅막 및 이트륨(y2o3) 코팅막 중 적어도 어느 하나의 코팅막으로코팅처리되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 코팅막은, 상기 상부전극본체와 상기 세라믹 패널의 하면의 실질적으로 전체 영역에 걸쳐형성되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 세라믹 패널은 상기 상부전극본체의 하면의 실질적으로 전체 영역을 차단하도록상기상부전극본체의하면접합되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 제1 가스통과공nan은오리피스형상제작되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 상부전극본체는 산화 피막 처리된알루미늄재질제작되는것을특징으로 하는건식식각장치의 상부전극. [청구항 11] 웨이퍼에 대한 식각 공정이 진행되는 공정챔버; 및 상기 공정챔버 내에 설치되는 상부전극을 포함하며, 상기 상부전극은, 공정가스가 통과하는 복수의 제1 가스통과공이 형성되어 있는 상부전극본체; 및 상기 상부전극본체의 하면의 적어도 일부분에 결합되며, 상기 제1 가스통과공을 통과한 공정가스가 통과하는 복수의 제2 가스통과공이 형성되어 있는 세라믹 재질의 세라믹 패널(ceramic panel)을 포함하는 것을 특징으로 하는 건식식각장치 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 상부전극본체의 상기 중앙영역의 하면에는 상기 세라믹 패널이 삽입 결합될 수 있도록 상기 상부전극본체의 두께방향을 따라 소정 깊이 함몰 형성된 패널홈이 마련되며,상기 세라믹 패널은 상기 패널홈에 삽입되어상기상부전극본체접합되는것을특징으로 하는건식식각장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 상부전극본체의 제1 가스통과공들과 상기 세라믹 패널의 제2 가스통과공들은 상호연통되어있는것을특징으로 하는건식식각장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 세라믹 패널과 상기 상부전극본체의 하면의 적어도 일 영역은 세라믹 코팅막 및 이트륨(y2o3) 코팅막 중 적어도 어느 하나의 코팅막으로코팅처리되는것을특징으로 하는건식식각장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 코팅막은, 상기 상부전극본체와 상기 세라믹 패널의 하면의 실질적으로 전체 영역에 걸쳐형성되는것을특징으로 하는건식식각장치. [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 상부전극본체는 산화 피막 처리된알루미늄재질제작되는것을특징으로 하는건식식각장치.