문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 버퍼챔버 내부를 진공상태와 대기압상태로 전환하게 하는 진공펌프 및 가압벤팅펌프더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 적재스테이션은 상기 웨이퍼가 상하로 적재되는 카셋트 타입으로 마련되며, 상기 제1적재부 및 제2적재부는상하분할되는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 웨이퍼 핸들러가 상기 제1적재부 및 제2적재부에 선택적으로 접근가능하도록 상기 적재스테이션을 상하로 승강 가능하게 지지하는승강구동부더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 적재스테이션은 상기 공정챔버에서 공정처리된 웨이퍼가 적재되는 제1적재부와, 상기 제1적재부의 일측에 나란하게 마련되어 미공정처리된 웨이퍼가 적재되는 제2적재부를 포함하며, 상기 제1적재부 및 제2적재부는 각각 2개 이상으로 마련되어 상기 버퍼챔버 내에좌우배치되는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 웨이퍼 핸들러가 상기 제1적재부 및 제2적재부에 선택적으로 접근가능하도록 상기 버퍼챔버를 좌우로 수평이동하게 하는수평구동부더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기제1적재부 및 제2적재부를 상하로 승강가능하게 하는승강구동부더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 적재스테이션을 가열하는 가열부 및 냉각하는냉각부중하나이상더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 가열부 및 냉각부는상기적재스테이션의일부영역을가열냉각하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 12]
제1항 또는 제8항에 있어서,상기제1적재부와 제2적재부 사이에 마련되어, 상기 공정처리된 웨이퍼를 미공정처리된 웨이퍼와 차단시키는차단막더포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
[청구항 13]
제12항에 있어서,상기 차단막nan은절연재질포함하는것을특징으로 하는반도체 공정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 공정장치에서 웨이퍼 핸들러가 제1적재부 및 제2적재부에 선택적으로 접근할 수 있도록 하기 위해, 적재스테이션을 상하로 승강시키는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation웨이퍼 핸들러가 제1적재부 및 제2적재부에 선택적으로 접근할 수 있도록 적재스테이션을 상하로 승강시키는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 6에서 웨이퍼 핸들러의 선택적 접근을 위해 적재스테이션을 상하로 승강 가능하게 지지하는 구성요소가 언급되어 있다.
- 상기 웨이퍼 핸들러가 상기 제1적재부 및 제2적재부에 선택적으로 접근가능하도록 상기 적재스테이션을 상하로 승강 가능하게 지지하는승강구동부
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '적재스테이션을 상하로 승강시키는 구성요소'에 직접적으로 대응하는 '승강구동부'를 선택한다.
- 상기 적재스테이션을 상하로 승강 가능하게 지지하는승강구동부
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4논리 통합
logical_integration청구항 6의 문맥을 통해 핸들러의 접근성을 확보하기 위한 승강 메커니즘의 주체가 승강구동부임을 확인한다.
- 상기 웨이퍼 핸들러가 상기 제1적재부 및 제2적재부에 선택적으로 접근가능하도록 상기 적재스테이션을 상하로 승강 가능하게 지지하는승강구동부
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5결론 도출
conclusion_formulation적재스테이션을 상하로 승강시켜 핸들러의 접근을 돕는 구성요소는 승강구동부이다.
- 승강구동부
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어인 '승강구동부'를 최종 답변으로 생성한다.
- 승강구동부
최종 답변 (final_answer)
승강구동부
핵심 해석 (core_interpretation)
웨이퍼 핸들러가 제1적재부와 제2적재부에 효율적으로 접근할 수 있도록 적재스테이션의 높이를 조절하는 승강구동부의 구성을 나타냄.