기판 처리 설비 document_id 1020060062671

[청구항 1] 공정 챔버로의 기판 반송을 위한 기판 반송 장치에 있어서 서로 다른 높이에서 기판을 각각 지지하는 제1,2블레이드 상기 제1,2블레이드와 연결되어 상기 제1,2블레이드를 이동시키는 아암부 상기 제1,2블레이드와 상기 아암부를 구동하는 구동부를 포함하되 상기 제1,2블레이드는 상기 아암부에 동일 축선을 중심으로 한 선회 동작으로 선회하면서 펼쳐지거나 접혀지는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기제1,2블레이드는서로반대방향선회하는것을특징으로 하는기판 반송 장치. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 구동부는 상기 제1,2블레이드와 상기 아암부가 연결되는 연결축을 기준으로 상기 제1블레이드와 상기2블레이드를 서로 반대 방향으로 선회시키는 제1,2블레이드구동부포함하는것을특징으로 하는기판 반송 장치. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 아암부는상기 1,2블레이드의 일단이 연결되는 상부아암과; 상기 상부아암과 연결되어 상기 상부아암 아래에 배치되는하부아암포함하는것을특징으로 하는기판 반송 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 구동부는 상기 제1,2블레이드와 상기 아암부가 연결되는 연결축을 기준으로 상기 제1블레이드와 상기2블레이드를 서로 반대 방향으로 선회시키는 제1,2블레이드 구동부와;상기 상부아암과 상기 하부아암을 수평면상에서 선회시키는 적어도 하나의 아암구동부포함하는것을특징으로 하는기판 반송 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기제1,2블레이드 각각은 일측이 개방된 개구부를 갖으며, 상면에 기판 가장자리가 놓여지는 지지부를 갖는말편자형상으로이루어지는것을특징으로 하는기판 반송 장치. [청구항 7] 기판 처리 설비에 있어서 기판이 놓여지는 서셉터들을 갖는 적어도 하나의 공정 챔버 상기 공정 챔버와 연결되는 반송 챔버 상기 반송 챔버 내에 설치되며, 상기 공정 챔버의 서셉터들 각각으로 기판을 동시에 운반하는 기판 반송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비 [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 공정 챔버는 기판들이 진입하는 출입구를 향해 제1서셉터와 제2서셉터가 나란히 배치되며, 상기 기판 반송 장치는 서로 다른 높이에서 기판을 각각 지지하는 그리고 동일(단일) 축선을 중심으로 한 선회 동작으로 펼쳐지거나 또는 접혀진 상태에서 기판을 반송하는 제1,2블레이드포함하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 9] 제7항 또는 제8항에 있어서,상기 기판 처리 설비는적층되어 배치되는 기판이 놓여지는 적어도 2개의 버퍼 스테이지를 갖는 로드락 챔버를 더 포함하며,상기 기판 반송 장치는 상기 제1블레이드와 상기 제2블레이드가 동일 선상에 겹쳐진(접혀진) 상태에서 상기 로드락 챔버의 버퍼 스테이지들로부터기판을반입반출하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기제1,2블레이드는서로반대방향선회하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 11] 제8항에 있어서,상기 기판 반송 장치는 상기 제1,2블레이드와 연결되어 상기 제1,2블레이드를 이동시키는 아암부;상기 제1,2블레이드와 상기 아암부를 구동하는구동부포함하는특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 구동부는 상기 제1,2블레이드와 상기 아암부가 연결되는 연결축을 기준으로 상기 제1블레이드와 상기 제2블레이드를 서로 반대 방향으로 선회시키는 제1,2블레이드구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 아암부는상기 1,2블레이드의 일단이 연결되는 상부아암과; 상기 상부아암과 연결되어 상기 상부아암 아래에 배치되는하부아암포함하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 구동부는 상기 상부아암과 상기 하부아암을 수평면상에서 선회시키는 적어도 하나의 아암구동부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 15] 기판 처리 설비에 있어서 반송 챔버; 하나의 서셉터를 갖으며, 상기 반송 챔버의 일측면에 나란히 배치되는 한 쌍의 공정 챔버들 상기 반송 챔버 내에 설치되며, 나란히 배치된 한 쌍의 상기 공정 챔버들의 서셉터 각각으로 기판을 동시에 운반하는 기판 반송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비 [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 기판 반송 장치는 서로 다른 높이에서 기판을 각각 지지하는 그리고 동일 축선을 중심으로 한 선회 동작으로 펼쳐지거나 또는 접혀진 상태에서 기판을 반송하는 제1,2블레이드포함하는것을특징으로 하는기판 처리 설비. [청구항 17] 제16항에 있어서,나란히 배치된 한 쌍의 상기 공정 챔버들은동일공정수행되는것을특징으로 하는기판 처리 설비.