고체촬상장치 및 그 제조방법 document_id 1020060064978

[청구항 1] 광을 수광하는 수광부와, 상기 수광부 상에 형성된 마이크로렌즈와, 상기 마이크로렌즈 상에 형성된 불소함유 수지재료층과, 상기 불소함유 수지재료층 위쪽에 배치된 투명기판을 구비하며, 상기 불소함유 수지재료층과 상기 투명기판이 수지층으로 접착되는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 불소함유 수지재료층 상면의 형상은 상기 마이크로렌즈의 표면형상과 다른 것특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 마이크로렌즈의 굴절률을 n1로 하고, 상기 불소함유 수지재료층의 굴절률을 n2로 하며, 상기 수지층의 굴절률을 n3으로 하고, 상기 투명기판의 굴절률을 n4로 했을때인것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 마이크로렌즈의 굴절률을 n1로 하고, 상기 불소함유 수지재료층의 굴절률을 n2로 했을때인것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 수지층의 두께는 2㎛이상인것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 9] 반도체기판 상의 소정 영역에 형성되고, 또 광을 수광하는 복수의 수광부와, 상기 복수의 수광부를 피복하도록 상기 반도체기판 상에 배치된 투명기판을 구비하며, 상기 반도체기판과 상기 투명기판이 수지층으로 접착되고, 상기 수지층 두께는, 상기 소정 영역의 주변에 배치된 스페이서 높이에 의해 규정되는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치 [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 스페이서는수지로이루어지는것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 스페이서는무기물로이루어지는것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 스페이서는상기반도체기판상또는상기반도체기판상의평탄막상형성되는것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 스페이서의 높이를 l0[㎛]로 하고, 상기 반도체기판 상면으로부터 상기 스페이서 하단까지의 두께를 l1[㎛]로 하면, l0>10[㎛]-l1의관계식만족되는것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 14] 제 9 항에 있어서,상기 소정의 영역은 사각형상이며,상기 스페이서는, 상기 소정 영역에서의 적어도 서로 대향하는 2변을 따라형성되는것을특징으로 하는고체촬상장치. [청구항 15] 제 9 항에 있어서,상기 반도체기판 상에서의 상기 소정영역 주변에 배치되며, 또 상기 복수의 수광부로부터 출력된 신호를 증폭시키는 증폭부를 추가로 구비하며,상기 스페이서부는, 적어도 상기 증폭부와 상기 소정 영역과의 사이에 형성되는 동시에, 상기 스페이서에는 상기 증폭부와 대향하지 않도록개구부형성되는것을특징으로 하는고체촬상장치.