문맥 (context)
[청구항 12]
제 11 항에 있어서,상기 애싱 챔버의 내부에 배치되어 상기 대상체가 놓여지는 척을더포함하는것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 가스 공급 라인은 상기 척에 연결되고, 상기 척은 상기 가스 공급 라인을 통해 제공된 제 2 반응 가스를 분사하기 위한가스분사공들갖는것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 14]
제 11 항에 있어서,상기 대상체의 상부인 상기 애싱 챔버의 내부에 배치된배플더포함하는것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 15]
제 14 항에 있어서,상기 가스 공급 라인은 상기 제 2 반응 가스가 상기 배플의 상하부로 도입되도록상기애싱 챔버의측벽연결된것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 16]
제 11 항에 있어서,상기 플라즈마 발생기와 상기 애싱 챔버 사이에 연결된애플리케이터더포함하는것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 17]
제 16 항에 있어서,상기 가스 공급 라인nan은상기애플리케이터연결된것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 18]
제 11 항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는마이크로파발생기포함하는것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 19]
제 11 항에 있어서,상기 제 1 반응 가스는 산소 가스와 질소 가스를 포함하고, 상기 제 2 반응 가스는 chf3가스포함하는것을특징으로 하는애싱 장치.
[청구항 20]
제 11 항에 있어서,상기 대상체는 경화된 포토레지스트 패턴,질화막스페이서또는금속폴리머포함하는것을특징으로 하는애싱 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
애싱 장치에서 제 2 반응 가스를 분사하기 위한 가스분사공을 구비하고 있으며, 가스 공급 라인과 연결되는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation애싱 장치에서 제 2 반응 가스를 분사하기 위한 가스분사공을 구비하고, 가스 공급 라인과 연결된 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 13에서 가스 공급 라인, 척, 제 2 반응 가스, 가스분사공에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 척에 연결되고, 상기 척은 상기 가스 공급 라인을 통해 제공된 제 2 반응 가스를 분사하기 위한가스분사공들갖는것을특징으로 하는애싱 장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '가스분사공을 구비'하고 '가스 공급 라인과 연결'된 구성요소에 대한 직접적인 근거를 선택한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 척에 연결되고, 상기 척은 상기 가스 공급 라인을 통해 제공된 제 2 반응 가스를 분사하기 위한가스분사공들갖는것
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4논리 통합
logical_integration가스 공급 라인이 연결된 대상은 '척'이며, 이 '척'이 제 2 반응 가스 분사를 위한 가스분사공을 가지고 있음을 확인한다.
- 상기 가스 공급 라인은 상기 척에 연결되고, 상기 척은 상기 가스 공급 라인을 통해 제공된 제 2 반응 가스를 분사하기 위한가스분사공들갖는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 부합하는 구성요소는 '척'임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '척'을 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
척
핵심 해석 (core_interpretation)
애싱 장치에서 가스 공급 라인과 연결되어 제 2 반응 가스를 분사하기 위한 가스분사공을 포함하는 구성요소인 척의 역할을 정의한다.