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소잉소터장치 및 그를 이용한 반도체 제조방법 document_id 1020060080466

출원번호
1020060080466
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 3] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 이송부는,상기 반도체 패키지가 안착되는 제1ㆍ제2테이블;상기 제1테이블이 설치되는 제1이송레일;상기 제2테이블이 설치되고, 상기 제1이송레일과 인접되도록 수평상태로 배치되는 제2이송레일;을 포함하되,상기 제1테이블과 상기 제2테이블은 각각 상반된 위치로왕복운동되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 4] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 피커부는,구동모터가 설치되는 몸체;상기 몸체에 수직 방향으로 설치되고, 반도체 패키지를 진공흡착하는 다수개의 흡착부;상기 흡착부에 각각 설치되는 회전안내부재;상기 회전안내부재와 동일한 수평 방향에 설치되고, 상기 구동모터의 회전축에 결합되는 회전체;상기 회전체와 상기 회전안내부재를 연결하는 회전력전달부재;를 포함하되,상기 구동모터의 동작에 따라상기흡착부가정역회전되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 5] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 수납부는,서로 마주보며 설치되고, 상기 수납부의 내측면에 설치되는 한 쌍의 승ㆍ하강부재;상기 승ㆍ하강부재의 동작을 제어하는 승강수단; 및상기 승ㆍ하강부재들의 상단에 각각 설치되고, 반도체패키지가 적재된 트레이를 픽업하는 걸림부;를 포함하되,상기 승강수단의 동작에 따라 상기 트레이를 개별적으로픽업승강시키는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 6] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,정부는,구동부;상기 구동부의 동작에 따라 정ㆍ역회전되고, 다수개의 분사홀이 형성된 샤프트; 및상기 샤프트의 외주면에 구비되고, 상기 반도체 패키지와 밀착되는롤브러쉬포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 구동부의 회전축과 연결된 주동풀리;상기 주동풀리와 벨트로 연결되고, 상기 샤프트에 결합되는종동풀리더포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 8] 제 6항에 있어서,상기 구동부의 회전축과 연결된 주동기어;상기 주동기어와 맞물리고, 상기 샤프트에 결합되는종동기어더포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 9] 제 7항에 있어서,상기 샤프트는,상기 분사홀과 연통되고, 길이 방향으로 형성된 중공부;상기 중공부와 연결되고, 세정액이 공급되는세정액공급부더포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 롤브러쉬는,자체 탄성력이 구비된합성섬유로이루어진것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,정부는,세정된 상기 반도체 패키지를 건조, 또는 추가로 세정하는 2차세정부더구비된것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 2차세정부는,상기 세정부와 이격된 상태에서 평행하게 배치되는 공급관;상기 공급관과 연통되도록 외주면에 구비된다수개의분사노즐포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 2차세정부는,세정액, 또는 공기가상기공급관공급되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 14] 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 공급부는,제1ㆍ제2구동부가 설치된 본체;상기 본체의 하측에 설치되고, 상기 반도체 패키지를 픽업하는 픽업부재;를 포함하되,상기 제1구동부의 동작에 따라 상기 픽업부재가 회동되고, 상기 제2구동부의 동작에 따라 상기 픽업부재가승하강되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 제1구동부는,상기 픽업부재와 연결되어 수직으로 설치되는 샤프트;를 더 포함하되,상기 샤프트 내부에 중공부가 형성되고, 상기 제1구동부와 연결된 전원공급부의 배선이상기중공부위치되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 16] 제 14항에 있어서,상기 본체는,일부분이 외측으로 돌출 형성되고, 내부에는 나사산이 형성된 승ㆍ하강안내부;를 더 포함하고,상기 제2구동부는,상기 승ㆍ하강안내부 내에 위치되면서 수직으로 설치되는회전스크류더포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 본체에 구비된 스토퍼;상기 픽업부재에 구비된 걸림부;를 더 포함하되,상기 제1구동부의 동작에 따라 상기 픽업부재가 회동되면 상기 걸림부가상기스토퍼밀착되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 18] 제 2항에 있어서,상기 리버스테이블은,상ㆍ하면에 각각 홈이 형성되고, 상기 반도체 패키지가 안착되는 안착홈;상기 안착홈과 각각 연결된 진공라인;상기 진공라인과 연결되고, 상기 반도체 패키지를 흡ㆍ이착시키는진공장치더포함하는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치. [청구항 19] 제 18항에 있어서,상기 안착홈은,상기 리버스테이블의 상면과 하면에 서로 대응된 위치에지그재그형태배치되는것을특징으로 하는상기 소잉소터장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
소잉소터장치의 피커부 구성 요소 중, 구동모터의 회전력을 전달하여 흡착부가 정역회전할 수 있도록 하는 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    피커부 구성 요소 중 구동모터의 회전력을 전달하여 흡착부를 정역회전시키는 구성 요소들을 찾는 것이다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 4에서 피커부의 구성 요소와 구동모터의 동작에 따른 흡착부의 정역회전 관계를 추출한다.

    • 상기 피커부는,구동모터가 설치되는 몸체;상기 몸체에 수직 방향으로 설치되고, 반도체 패키지를 진공흡착하는 다수개의 흡착부;상기 흡착부에 각각 설치되는 회전안내부재;상기 회전안내부재와 동일한 수평 방향에 설치되고, 상기 구동모터의 회전축에 결합되는 회전체;상기 회전체와 상기 회전안내부재를 연결하는 회전력전달부재;를 포함하되,상기 구동모터의 동작에 따라상기흡착부가정역회전되는것을특징으로 하는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    구동모터의 회전력을 흡착부로 전달하는 경로에 해당하는 구성 요소들을 선택한다.

    • 상기 구동모터의 회전축에 결합되는 회전체;상기 회전체와 상기 회전안내부재를 연결하는 회전력전달부재;
  4. 4논리 통합logical_integration

    구동모터의 회전축에 결합된 '회전체'가 '회전력전달부재'를 통해 '회전안내부재'를 거쳐 '흡착부'의 회전을 유도함을 논리적으로 연결한다.

    • 상기 구동모터의 회전축에 결합되는 회전체;상기 회전체와 상기 회전안내부재를 연결하는 회전력전달부재;
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    회전력을 전달하여 흡착부를 정역회전시키는 핵심 구성 요소는 회전체와 회전력전달부재임을 도출한다.

    • 상기 구동모터의 동작에 따라상기흡착부가정역회전되는것을특징으로 하는
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 구성 요소들을 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 구동모터의 회전축에 결합되는 회전체;상기 회전체와 상기 회전안내부재를 연결하는 회전력전달부재;
최종 답변 (final_answer)
회전체, 회전력전달부재
핵심 해석 (core_interpretation)
피커부 내에서 구동모터의 회전력을 회전체와 회전력전달부재를 통해 전달함으로써, 진공흡착부인 흡착부가 정역회전할 수 있도록 하는 메커니즘을 포함한다.