FPD를 위한 다중 딕셔너리 압축 방법을 이용한 리소그래피 장치 및 디바이스 제조 방법 document_id 1020060083096

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 제 1 딕셔너리 메모리는 외부 딕셔너리 메모리이고, 상기 리소그래피 장치는 내부 딕셔너리 메모리를 갖는 제 2 딕셔너리 디코더를 더 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 딕셔너리 디코더는 상기 내부 딕셔너리 메모리로부터 상기 압축된 표현에 포함된 상기 내부 딕셔너리 메모리에 대한 참조들에 대응하는 패턴 데이터의 부분들을 추출함으로써 상기 압축된 표현의 전체 또는 일부분을 전체적으로또는부분적해제하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 제 2 딕셔너리 디코더에 의해 해제된 데이터의 전체 또는 일부분을 상기 내부 딕셔너리 메모리로 포워드(forward)하는 제어가능한 링크(controllable link)를 더 포함하여 이루어지고, 상기 제어가능한 링크는 추후에 상기 디코딩 프로세스에서 상기 제 2 딕셔너리 디코더에 의해 추출될 피처들에 대응하는 해제된 데이터의 그부분들포워드하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제어가능한 링크는 상기 압축된 표현 내의 마커들에 기초하여 상기 내부 딕셔너리 메모리로 포워드하도록 상기 해제된 데이터의 부분들을 선택하고, 상기 마커들은 패턴 데이터의 시퀀스들이 추후에 상기 디코딩 프로세스에서 상기 제 2 딕셔너리 디코더에 의해 추출될 것을나타내는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기제 1 및 제 2 딕셔너리 디코더들은 1 이상의 필드 프로그램가능한 게이트 어레이(field programmable gate array)를 이용하여 구현되고; 상기 내부 딕셔너리 메모리는 상기 1 이상의 필드 프로그램가능한 게이트 어레이와 일체로 형성된(integral) 메모리 내에서 구현되며; 상기 외부 딕셔너리 메모리는 상기 1 이상의 필드 프로그램가능한 게이트 어레이와 별도로 형성되고 통신 인터페이스를 통해 연결되는메모리내구현되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 6] 제 2 항에 있어서,상기 요청된 도즈 패턴은 반복 패턴 피처(repeating pattern feature)의 2 개의 그룹을 포함하여 이루어지고;상기 딕셔너리 해제기는:상기 외부 딕셔너리 메모리가 제 1 그룹에 대응하는 패턴 데이터를 저장하고,상기 내부 딕셔너리 메모리가 제 2 그룹에 대응하는 패턴 데이터를 저장하도록 구성되며, 상기 제 1 그룹 내의 상기 반복 패턴 피처는 상기 제 2 그룹 내의 상기 반복 패턴 피처보다 큰 것특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 7] 제 2 항에 있어서,상기 외부 딕셔너리 메모리는 동기식 동적 랜덤 액세스 메모리(synchronous dynamic random access memory)를 사용하여구현되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 8] 제 2 항에 있어서,상기 내부 딕셔너리 메모리는 정적 랜덤 액세스 메모리(static random access memory)를 사용하여구현되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 9] 제 2 항에 있어서,상기 딕셔너리 메모리들 중 1 이상의 콘텐츠(content)는 상기 딕셔너리 해제기에 의해 처리되는 상기 요청된 도즈 패턴의 영역에 따라변하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 딕셔너리 메모리들 중 1 이상은 상기 딕셔너리 디코더들 중 1 이상으로부터의 출력의 후속 부분들을 저장함업데이트되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 제 1 딕셔너리 디코더로부터의 출력은 상기 제 2 딕셔너리 디코더에 대한 입력을 형성하고, 상기 내부 딕셔너리 메모리는 상기 제 2 딕셔너리 디코더로부터의 출력의 후속 부분들을 저장함업데이트되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 12] 제 9 항에 있어서,상기 딕셔너리 메모리들 중 1 이상은 외부 메모리 디바이스로부터 데이터를 이입(import)함업데이트되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 13] 제 9 항에 있어서,상기 딕셔너리 메모리들 중 1 이상의 콘텐츠는 상기 요청된 도즈 패턴의 일부분에 관한 데이터를 포함하고, 상기 일 부분은 가장 최근에 처리된 상기 요청된도즈패턴의영역대응하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 요청된 도즈 패턴의 부분은 상기 요청된 도즈 패턴보다 작은 실질적으로 사전설정된 크기의 윈도우(window)에 의해 한정(delimit)되고, 상기 윈도우는 해제시에 상기 가장 최근에 처리된 패턴의 영역만을 포함하도록이동되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 15] 제 1 항에 있어서,상기 딕셔너리해제기는 부분적으로 압축된 데이터를 다음의 형태들: 런-렝스 인코딩 데이터(run-length encoded data), 허프만 인코딩 데이터(huffman encoded data), 델타 인코딩 데이터(delta encoded data) 및 딕셔너리 기반 인코딩 데이터 중 1 이상으로 출력하고;상기 리소그래피 장치는 런-렝스 디코더, 허프만 디코더, 델타 디코더 및 딕셔너리 기반 디코더 중 1 이상을 더 포함하여 이루어지며, 그 각각은 상기 부분적으로 압축된 데이터를 디코딩하도록 전체적으로또는부분적배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 16] 제 1 항에 있어서,상기 요청된 도즈 패턴은 반복 패턴 피처들의 2 개의 그룹을 포함하여 이루어지고;상기 제 1 딕셔너리 디코더는 제 1의 그룹에 대응하는 상기 압축된 표현의 일부분을 전체적으로 또는 부분적으로 해제하며,상기 리소그래피 장치는: 제 2 딕셔너리 디코더 및 제 2 딕셔너리 메모리를 더 포함하여 이루어지고, 상기 제 2 딕셔너리 디코더는 상기 제 2 딕셔너리 메모리로부터 상기 압축된 표현에 포함된 상기 제 2 딕셔너리 메모리에 대한 참조들에 대응하는 패턴 데이터의 부분들을 추출함으로써 제 2 그룹에 대응하는 상기 압축된 표현의 일부분을 전체적으로 또는 부분적으로 해제하며, 상기 제 1 그룹 내의 상기 반복 패턴 피처들은 상기 제 2 그룹 내의 상기 반복 패턴 피처들보다 큰 것특징으로 하는리소그래피 장치.