문맥 (context)
[청구항 1]
식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크
상기 제1식각액보관탱크 에 연결된 식각액폐기라인
상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치
상기 제1식각액보관탱크 와 연결된 제2식각액보관탱크
상기 제2식각액보관탱크 와 연결된 식각기; 및
상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부
를 포함하는 식각액 관리 시스템
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 식각액분석장치는상기 제1식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 플로우셀;상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 광원부;상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 분광기; 및 상기 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 식각액분석제어부포함하는식각액 관리 시스템.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 플로우셀로 공급하는 플로우셀공급라인; 및상기 플로우셀의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크로 공급하는 제1식각액보관탱크공급라인더 포함하는식각액 관리 시스템.
[청구항 4]
청구항 2에 있어서,상기 제어부는, 상기 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인으로 방출하도록제어하는것을특징으로 하는식각액 관리 시스템.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여 상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 추가의 식각액분석장치; 및상기 제2식각액보관탱크에 연결된 추가의 식각액폐기라인을 더 포함하며,상기 제어부는 상기 추가의 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인과 상기 식각기 중 어느하나이송하도록제어하는식각액 관리 시스템.
[청구항 6]
청구항 5에 있어서,상기 추가의 식각액분석장치는상기 제2식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 추가의 플로우셀;상기 추가의 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 추가의 광원부;상기 추가의 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 추가의 분광기; 및 상기 추가의 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 추가의 식각액분석제어부포함하는식각액 관리 시스템.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 플로우셀로 공급하는 추가의 플로우셀공급라인; 및상기 추가의 플로우셀의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 공급하는 추가의 제2식각액보관탱크공급라인더 포함하는식각액 관리 시스템.
[청구항 8]
청구항 6에 있어서,상기 제어부는, 상기 추가의 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각기로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인으로 방출하도록제어하는것을특징으로 하는식각액 관리 시스템.
[청구항 9]
청구항 1에 있어서,상기 식각액은 과산화수소를 식각주성분으로 하는 것인식각액 관리 시스템.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 식각액은 조성물의 총 중량에 대해 5 내지 15 중량%의 과산화수소, 1 내지 5 중량%의 유기산, 0.5 내지 5 중량% 의 황산염, 0.2 내지 5 중량%의 고리형 아민 화합물, 및 70 내지 93.3 중량%의 물포함하는 것인식각액 관리 시스템.
[청구항 11]
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 식각액 관리 시스템은 구리합금과 몰리브덴합금층의 이중금속막 배선형성 제조공정에 사용되는식각액분석하여관리하는 것인식각액 관리 시스템.
[청구항 23]
식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크
상기 제1식각액보관탱크 에 연결된 식각액폐기라인
상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치
상기 제1식각액보관탱크 와 연결된 제2식각액보관탱크
상기 제2식각액보관탱크 와 연결된 식각기; 및
상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하 는 제어부
를 포함하는 식각 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
식각액 관리 시스템에서 식각액분석장치의 흡광도환산값에 따라 제1식각액보관탱크의 식각액을 각각 어느 경로로 이송하도록 제어하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation식각액분석장치의 흡광도환산값 수치에 따라 제1식각액보관탱크의 식각액이 제2식각액보관탱크 또는 식각액폐기라인 중 어느 경로로 이송되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 흡광도환산값의 기준치(10)와 그에 따른 이송 경로(제2식각액보관탱크, 식각액폐기라인)를 추출한다.
- 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인으로 방출하도록제어하는것
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3근거 선택
evidence_selection흡광도환산값이 10 이상일 때와 10 미만일 때의 제어 조건을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인으로 방출하도록제어하는것
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4논리 통합
logical_integration흡광도환산값이 10 이상이면 제2식각액보관탱크로 이송하고, 10 미만이면 식각액폐기라인으로 방출한다는 논리를 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로, 흡광도환산값의 범위에 따른 이송 경로를 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
흡광도환산값이 10이상인 경우에는 제1식각액보관탱크의 식각액을 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 흡광도환산값이 10미만인 경우에는 제1식각액보관탱크의 식각액을 식각액폐기라인으로 방출하도록 제어한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
식각액의 흡광도 분석 결과(흡광도환산값)를 기준으로 식각액의 상태를 판단하여, 재사용 가능한 식각액은 제2식각액보관탱크로 이송하고 상태가 불량한 식각액은 폐기라인으로 방출하는 제어 기술이다.